一種mems壓力傳感器的製造方法
2024-01-23 18:20:15
一種mems壓力傳感器的製造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種MEMS壓力傳感器,包括殼體、MEMS壓力傳感元件、控制器,所述殼體呈長方體形,且殼體內形成一容置腔,該容置腔的底部安裝有MEMS壓力傳感元件和控制器,MEMS壓力傳感元件和控制器相互電連接,所述殼體的六個內壁上都設有至少一個通氣孔,所述各通氣孔的兩埠均呈喇叭口狀。本實用新型結構簡單,採用MEMS壓力傳感元件能極大地提升壓力傳感器的測量精度。通過在殼體上開設多個通氣孔,有效實現MEMS壓力傳感器內外部氣流的及時流通,確保壓力傳感器的性能。另外,喇叭口的通氣孔具有導流作用,能促進空氣的對流。
【專利說明】
一種MEMS壓力傳感器
技術領域
[0001]本實用結構改進的涉及一種檢測裝置,特別是指一種用於檢測壓力的傳感器。【背景技術】
[0002]傳感器(英文名稱:transducer/sensor)是一種檢測裝置,能感受到被監測的信息,並能將感受到的信息,按一定規律變換成為電信號或其他所需形式的信息輸出,以滿足信息的傳輸、處理、存儲、顯示、記錄和控制等要求。
[0003]傳感器的特點包括:微型化、數位化、智能化、多功能化、系統化、網絡化。它是實現自動檢測和自動控制的首要環節。傳感器的存在和發展,讓物體有了觸覺、味覺和嗅覺等感官,讓物體慢慢變得活了起來。通常根據其基本感知功能分為熱敏元件、光敏元件、氣敏元件、力敏元件、磁敏元件、溼敏元件、聲敏元件、放射線敏感元件、色敏元件和味敏元件等十大類。
[0004]隨著科學技術日新月異的飛速發展,智能化的可攜式電子設備逐漸流行起來,例如智慧型手機、智能手環、智能手邊、平板電腦等。用戶在不斷追求可攜式電子設備智能化的同時,更加注重的是需要可攜式電子設備具有豐富多彩的用戶體驗感受。目前越來越多的廠商將壓力傳感器置於可攜式電子設備中,而通常測試壓力的傳感器為應力傳感器,但是應力傳感器的測量精度低。現有技術中提供的MEMS壓力傳感器以提高測量精度,然而,現有的MEMS壓力傳感器的散熱性能不佳,無法實現實時內外部透氣,影響傳感器的性能。【實用新型內容】
[0005]本實用新型的目的是提供一種結構簡單,散熱性能良好的MEMS壓力傳感器。
[0006]本實用結構的技術方案如下:
[0007]一種MEMS壓力傳感器,包括殼體、MEMS壓力傳感元件、控制器,所述殼體呈長方體形,且殼體內形成一容置腔,該容置腔的底部安裝有MEMS壓力傳感元件和控制器,MEMS壓力傳感元件和控制器相互電連接,所述殼體的六個內壁上都設有至少一個通氣孔,所述各通氣孔的兩埠均呈喇叭口狀。
[0008]進一步的,所述殼體的四個側壁上均設有兩個通氣孔;所述殼體的頂壁和底板設有一個通氣孔,且兩相對內壁上的通氣孔兩兩正對。
[0009]由上述對本實用結構改進的的描述可知,和現有技術相比,本實用新型具有如下優點:本實用新型結構簡單,採用MEMS壓力傳感元件能極大地提升壓力傳感器的測量精度。 通過在殼體上開設多個通氣孔,有效實現MEMS壓力傳感器內外部氣流的及時流通,確保壓力傳感器的性能。另外,喇叭口的通氣孔具有導流作用,能促進空氣的對流。【附圖說明】
[0010]圖1為本實用新型的剖面結構示意圖。【具體實施方式】
[0011]下面參照【附圖說明】本實用結構改進的的【具體實施方式】。[0012 ] 參照圖1,一種MEMS壓力傳感器,包括殼體1、MEMS壓力傳感元件2、控制器3,所述殼體1呈長方體形,且殼體1內形成一容置腔4,該容置腔4的底部安裝有MEMS壓力傳感元件2和控制器3,MEMS壓力傳感元件2和控制器3相互電連接,所述殼體1的六個內壁上都設有通氣孔5,所述各通氣孔5的兩埠均呈喇叭口狀。從圖中可看出,所述殼體1的四個側壁11上均設有兩個通氣孔5;所述殼體1的頂壁12和底板13各設有一個通氣孔5,且兩相對內壁上的通氣孔5兩兩正對,這樣有助於空氣的對流。[〇〇13]本實用新型結構簡單,採用MEMS壓力傳感元件2能極大地提升壓力傳感器的測量精度。通過在殼體1上開設多個通氣孔5,有效實現MEMS壓力傳感器內外部氣流的及時流通, 確保壓力傳感器的性能。另外,喇叭口的通氣孔5具有導流作用,能促進空氣的對流。
[0014]上述僅為本實用結構改進的的【具體實施方式】,但本實用結構改進的的設計構思並不局限於此,凡利用此構思對本實用結構改進的進行非實質性的改動,均屬於侵犯本實用結構改進的保護範圍的行為。
【主權項】
1.一種MEMS壓力傳感器,包括殼體、MEMS壓力傳感元件、控制器,其特徵在於:所述殼體 呈長方體形,且殼體內形成一容置腔,該容置腔的底部安裝有MEMS壓力傳感元件和控制器, MEMS壓力傳感元件和控制器相互電連接,所述殼體的六個內壁上都設有至少一個通氣孔, 所述各通氣孔的兩埠均呈喇叭口狀。2.根據權利要求1所述的一種MEMS壓力傳感器,其特徵在於:所述殼體的四個側壁上均 設有兩個通氣孔;所述殼體的頂壁和底板設有一個通氣孔,且兩相對內壁上的通氣孔兩兩 正對。
【文檔編號】G01L19/14GK205719398SQ201620638127
【公開日】2016年11月23日
【申請日】2016年6月24日
【發明人】鄭立新, 鄭正非, 鄭立軍
【申請人】新昌縣科暢科技諮詢有限公司