坩堝塗布加熱裝置的製作方法

2024-02-22 12:08:15

專利名稱：坩堝塗布加熱裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型有關一種加熱裝置，尤指一種能夠使電熱板自動調整其與加工對象的 接觸狀態，進而使加工對象獲較佳受熱效果的加熱裝置。
背景技術：
按，於晶圓生長製程中用以盛裝熔融矽原料的坩堝，多屬於熔融矽石或石英的矽 石坩堝，類似的矽石坩堝於盛裝熔融狀態的矽原料時，其熔融的矽原料因直接與坩堝的矽 石原料接觸而反應形成一氧化矽及氧，其中揮發性的一氧化矽與爐內石墨成分反應的後形 成碳化矽及一氧化碳，一氧化碳並與熔化矽原料反應，形成另外的揮發性一氧化碳及碳。為避免矽原料受上述氧及碳產物的汙染，或與於矽石坩堝中的各種雜質(鉬、鐵、 銅、鎳等金屬)反應，多會於坩堝的內層塗布一保護層，以隔絕矽原料與坩堝本體直接接 觸，並對坩堝本體表面所逐出的不純物提供了 一種障蔽。目前於坩鍋塗布保護層前必須先提高坩鍋本身的溫度，以便進行後續塗布保護層 的作業，而提高坩鍋溫度的方法有利用加熱燈加熱、利用烤箱烘烤或利用加熱板直接加熱。其中，利用加熱板直接對坩堝本體加熱的裝置如圖1所示，主要在一基座11上設 有一可被驅動旋轉的載臺12供放置坩堝20，於載臺12上設有複數個推動板13，所有推動 板13配置呈一包圍狀，並可各別朝向載臺12中心處的坩堝20相對位移，以及在各推動板 13的內側板面設有至少一供與坩堝20本體接觸的電熱板14。當坩堝20確實被固定於載臺12中心處的後，即可各別調整坩堝20推動板13的 位置，使相對包圍在坩堝20四周的電熱板14皆能與坩堝20本體接觸，以期在所有電熱板 14運作時，能夠達到使坩堝20均勻受熱的效果；並且，配合驅動載臺12旋轉以增加塗布保 護層的便利性。然而，上揭圖1所示的加熱裝置當中的所有電熱板14直接鎖固在所屬的推動板13 上，因此非常容易受推動板13本身角度偏斜，或是坩堝20放置角度的影響而無法讓同一推 動板13內側的電熱板14皆與坩堝20本體接觸，以致於無法讓坩堝20獲致原本預期的均 勻受熱效果。再者，其載臺12的旋轉採用人力轉動的方式操作，於實際操作時相對較容易 成為操作人員的負擔。
實用新型內容本實用新型所解決的技術問題即在提供一種能夠使電熱板自動調整與加工對象 的接觸狀態，進而使加工對象獲致較佳受熱效果的加熱裝置。本實用新型的技術方案為一種加熱裝置，在一用以放置加工對象的載臺上設有 至少一可調整相對位置的推動板，於各推動板的板面上設有至少一第一電熱板；各第一電 熱板可與所屬的推動板相對位移，以及在各第一電熱板與其所屬的推動板之間襯設有複數 個彈性組件。一種加熱裝置，在一用以放置加工對象的載臺上設有至少一可調整相對位置的推動板，於各推動板的板面上設有至少一第一電熱板；該載臺透過一轉軸安裝於一基座上，另 於該基座上設有一馬達，以及設有一用以構成馬達與轉軸傳動聯結的傳動機構。其中，各第一電熱板分別鎖固在一基板上，另有複數個導柱連接於各基板與推動 板之間；各導柱的一端固定在基板上，各導柱的另端穿設於推動板上。該各第一電熱板分別鎖固在一基板上，另有複數個導柱連接於各基板與推動板之 間；各導柱的一端利用螺絲穿鎖固定在基板上，各導柱的另端分別透過一螺栓穿設於推動 板上。該載臺的檯面上設有至少一第二電熱板供承接加工物件。各第一電熱板分別鎖固在一基板上，另有複數個導柱連接於各基板與推動板之 間；各導柱的一端固定在基板上，各導柱的另端穿設於推動板上；載臺的檯面上設有至少 一第二電熱板供承接加工物件。該傳動機構由分別固設於轉軸及馬達出力軸上的皮帶輪，以及連接於皮帶輪之間 的皮帶所組成。本實用新型的有益效果為本實用新型的加熱裝置在一用以放置加工對象的載臺 上設有至少一可調整相對位置的推動板，於各推動板的板面上設有至少一可與推動板相對 位移的第一電熱板，以及在各第一電熱板與推動板之間襯設有複數個彈性組件。而當推對板朝向加工對象壓貼時，可透過彈性組件的收縮及彈力作用，使各第一 電熱板自動調整至與加工對象保持最佳的接觸狀態，進而能夠使加工對象獲致最佳的受熱 效果。再者，該載臺的檯面上設有至少一可與載臺相對位移的第二電熱板供承接加工對 象，以利透過第二電熱板讓加工對象的底部產生受熱效果。上述的載臺可透過一轉軸安裝於一基座上，另於基座上設有一馬達，以及設有一 傳動機構用以構成馬達與轉軸的傳動聯結；使當馬達轉動時，可透過傳動機構帶動轉軸及 載臺作任意角度的旋轉，旋轉角度可達0° 360°並可隨意定位，例如可以正/逆方向旋轉 至45°或90°甚至180°或270°定位，以做為最佳調整角度，以方便載臺上的加工對象執 行其它的加工程序，並減輕相關操作人員的負擔。
圖1為一習用加熱裝置的外觀結構圖。圖2為本實用新型一較佳實施例的正面結構外觀立體圖。圖3為本實用新型一較佳實施例的正面結構圖。圖4為本實用新型第一電熱板與推動板的組裝分解圖。圖5為本實用新型中第一電熱板與推動板的組裝結構剖視圖。圖6為本實用新型中加工對象與推動板的相對位置示意圖。圖7為本實用新型中導柱的動作示意圖。圖8為本實用新型一較佳實施例的背面結構外觀立體圖。圖號說明11基座；12載臺；13推動板；14電熱板；20坩堝；30加工物件；40載臺；41轉軸； 50推動板；51基板；52導柱；53螺絲力4螺栓；61第一電熱板；62第二電熱板；70彈性組件；80基座；91馬達；92傳動機構；921皮帶輪；922皮帶。
具體實施方式
如圖2本實用新型一較佳實施例的正面結構外觀立體圖、圖3所示，本實用新型一 較佳實施例的正面結構圖所示，本實用新型的加熱裝置在一用以放置加工對象30的載臺 40上設有至少一可調整相對位置的推動板50，於各推動板50的板面上設有至少一第一電 熱板61 ；其特徵在於各第一電熱板61可與所屬的推動板50相對位移，以及在各第一電熱 板61與其所屬的推動板50之間襯設有複數個彈性組件70。請同時配合參照圖4及圖5所示，上述各第一電熱板61分別鎖固在一基板51上， 另有複數個導柱52連接於各基板51與推動板50之間；各導柱52的一端可利用螺絲53直 接穿鎖固定在基板51上，各導柱52的另端可分別透過一螺栓M穿設於推動板50上，以構 成基板51與推動板50的連接，並使可基板51連同固定在基板51上的第一電熱板61能夠 與推動板50相對位移(亦即第一電熱板61具浮動效果)，至於各彈性組件70可由套設於 導柱52上的壓縮彈簧所構成。本實用新型的加熱裝置於使用時，即如圖6所示將加工對象30固定在載臺40上， 並配合將推對板50調整至使其板面上的第一電熱板61能夠與加工對象40接觸的位置。而 在將推對板50持續朝向加工對象40方向移動的相對位置調整時，如圖7所示，可透過彈性 組件70的收縮及彈力作用，使各第一電熱板61自動調整至與加工對象40保持最佳的接觸 狀態，進而能夠使加工對象40獲致最佳的受熱效果。再者，如圖3所示，本實用新型的加熱裝置可進一步於該載臺40的檯面上設有至 少一第二電熱板62供承接加工對象30，以利透過第二電熱板62讓加工對象40的底部產生 受熱效果。請同時配合參照圖2及圖8所示，本實用新型中的載臺40可透過一轉軸41安裝 於一基座80上，另於該基座80上設有一馬達91，以及設有一傳動機構92用以構成馬達91 與轉軸41的傳動聯結。上述傳動機構92可以由分別固設於轉軸41及馬達91出力軸上的皮帶輪921，以 及連接於皮帶輪921之間的皮帶所組成；使當馬達91轉動時，可透過傳動機構92帶動轉軸 41及載臺40作360°旋轉，以方便載臺40上的加工對象30執行其它的加工程序，並減輕 相關操作人員的負擔。藉由上述結構設計，可獲致一種能夠使電熱板自動調整與加工對象的接觸狀態， 進而使加工對象獲致較佳受熱效果的加熱裝置，尤適合做為坩堝進行保護層塗布作業時， 用以提高坩堝溫度的應用，不但可以確實讓坩堝本體均勻受熱，更可相對減輕操作人員的 負擔。權利要求1.一種坩堝塗布加熱裝置，在一用以放置加工對象的載臺上設有至少一可調整相對位 置的推動板，於各推動板的板面上設有至少一第一電熱板；其特徵在於各第一電熱板可與所屬的推動板相對位移，以及在各第一電熱板與其所屬的推動板之 間襯設有複數個彈性組件。
2.一種坩堝塗布加熱裝置，在一用以放置加工對象的載臺上設有至少一可調整相對位 置的推動板，於各推動板的板面上設有至少一第一電熱板；其特徵在於該載臺透過一轉軸安裝於一基座上，另於該基座上設有一馬達，以及設有一用以構成 馬達與轉軸傳動聯結的傳動機構。
3.如權利要求1或2所述的坩堝塗布加熱裝置，其特徵在於，各第一電熱板分別鎖固在 一基板上，另有複數個導柱連接於各基板與推動板之間；各導柱的一端固定在基板上，各導 柱的另端穿設於推動板上。
4.如權利要求1或2所述的坩堝塗布加熱裝置，其特徵在於，該各第一電熱板分別鎖固 在一基板上，另有複數個導柱連接於各基板與推動板之間；各導柱的一端利用螺絲穿鎖固 定在基板上，各導柱的另端分別透過一螺栓穿設於推動板上。
5.如權利要求1或2所述的坩堝塗布加熱裝置，其特徵在於，該載臺的檯面上設有至少 一第二電熱板供承接加工物件。
6.如權利要求1或2所述的坩堝塗布加熱裝置，其特徵在於，各第一電熱板分別鎖固在 一基板上，另有複數個導柱連接於各基板與推動板之間；各導柱的一端固定在基板上，各導 柱的另端穿設於推動板上；載臺的檯面上設有至少一第二電熱板供承接加工物件。
7.如權利要求2所述的坩堝塗布加熱裝置，其特徵在於，該傳動機構由分別固設於轉 軸及馬達出力軸上的皮帶輪，以及連接於皮帶輪之間的皮帶所組成。
專利摘要本實用新型坩堝塗布加熱裝置主要提供一種能夠使電熱板自動調整與加工對象的接觸狀態，進而使加工對象獲致較佳受熱效果的坩堝塗布加熱裝置。所述的坩堝塗布加熱裝置在一用以放置加工對象的載臺上設有至少一可調整相對位置的推動板，於各推動板的板面上設有至少一可與推動板相對位移的第一電熱板，以及在各第一電熱板與推動板之間襯設有複數個彈性組件。而當推對板朝向加工對象壓貼時，可透過彈性組件的收縮及彈力作用，使各第一電熱板自動調整至與加工對象保持最佳的接觸狀態，進而能夠使加工對象獲致最佳的受熱效果。
文檔編號H05B3/00GK201830472SQ201020575099
公開日2011年5月11日 申請日期2010年10月25日 優先權日2010年10月25日
發明者傅禮勇 申請人:敬聯機械有限公司