一種恆溫酸洗槽的製作方法
2024-01-23 20:25:15 1
一種恆溫酸洗槽的製作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種恆溫酸洗槽，包括酸洗槽、加熱模塊和水泵，所述水泵的出水口連接到加熱模塊的進水口，所述加熱模塊的進水口連接到酸洗槽的進水口。與現有技術相比，本實用新型的有益之處在於結構簡單、合理，使用方便，有效保證酸洗液的溫度，達到良好的酸洗效果。
【專利說明】ー種恆溫酸洗槽【技術領域】
[0001]本實用新型涉及ー種半導體的生產裝備，尤其是ー種恆溫酸洗槽。
【背景技術】
[0002]在半導體二級管的製作過程中，需要對二極體酸洗後再進行封裝。因此，二極體清洗是否乾淨，直接影響其性能。在清洗過程中，通常將二極體插裝在酸洗槽的插孔內，先將腐蝕性的含硫酸的酸洗液引入酸洗槽內對二極體浸泡，再將二極體用離子水進行衝洗。只有保持酸洗液為一定的溫度，才能保證清洗效果及其反應充分。酸洗過程的溫度控制，直接影響到二極體的品質。
【發明內容】
[0003]本實用新型針對上述存在的酸洗槽恆溫的問題，提供ー種恆溫酸洗槽，在酸洗槽的進水口處，設置加熱模塊，控制酸洗槽的溫度。
[0004]本實用新型採用如下技術方案:ー種恆溫酸洗槽，包括酸洗槽、加熱模塊和水泵，所述水泵的出水ロ連接到加熱模塊的進水ロ，所述加熱模塊的進水口連接到酸洗槽的進水□。
[0005]優選的，所述加熱模塊包括電熱水器。
[0006]與現有技術相比，本實用新型的有益之處在於，結構簡單、合理，使用方便，有效保證酸洗液的溫度，達到良好的酸洗效果。
【專利附圖】
【附圖說明】
`[0007]圖1為本實用新型的結構示意圖；
[0008]附圖標記:
[0009]1、水泵出水ロ ；2、加熱模塊；3、酸洗槽。
【具體實施方式】
[0010]下面結合附圖對本實用新型的【具體實施方式】作進ー步詳細的說明。
[0011]實施例1，如圖1所示。恆溫酸洗槽，包括酸洗槽3、加熱模塊2和水泵，所述水泵的出水ロ I連接到加熱模塊2的進水口，所述加熱模塊2的進水口連接到酸洗槽3的進水ロ。加熱模塊2包括電熱水器。
[0012]二極體在酸洗時控制腐蝕溫度70攝氏度。根據環境溫度，夏天的溫度控制在70攝氏度左右，冬季要高些，一般在85— 90攝氏度。穩定的溫度才能保證清洗效果及反應充分。工作吋，打開水泵，酸洗液流入電熱水器中，加熱到一定溫度後，流至酸洗槽，對二極體進行清洗。
[0013]儘管結合優選實施方案具體展示和介紹了本實用新型，但所屬領域的技術人員應該明白，在不脫離所附權利要求書所限定的本實用新型的精神和範圍內，在形式上和細節上對本實用新型做出各種變化，均為本實用新型的保護範圍。
【權利要求】
1.ー種恆溫酸洗槽，其特徵在於，包括酸洗槽、加熱模塊和水泵，所述水泵的出水ロ連接到加熱模塊的進水ロ，所述加熱模塊的進水口連接到酸洗槽的進水ロ。
2.如權利要求1所述的ー種恆溫酸洗槽，其特徵在於，所述加熱模塊包括電熱水器。
【文檔編號】H01L21/329GK203386727SQ201320380209
【公開日】2014年1月8日 申請日期:2013年6月28日 優先權日:2013年6月28日
【發明者】鍾仰林 申請人:福建省龍翔半導體製造有限公司