基板檢查夾具、夾具底座單元和基板檢查裝置的製作方法
2023-05-27 15:10:36
專利名稱：基板檢查夾具、夾具底座單元和基板檢查裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及安裝在基板檢查裝置上、並用於與設置在被檢查基板上的布線圖案的電氣特性有關的檢查中的基板檢查夾具及其相關技術。
背景技術：
作為現有的基板檢查夾具，有下述基板檢查夾具，即:將設置在電極單元上的電極部的構成設為與探頭的配置方式不同的多種檢查頭對應的通用的構成，能夠與作為檢查對象的被檢查基板的布線圖案等構成對應地更換檢查頭。此外，在使用了上述現有的基板檢查夾具的基板檢查裝置中，對基板檢查夾具的電極單元的電極部和檢查處理部之間的電連接關係進行切換的連接切換單元被配置在基板檢查裝置主體中的基板檢查夾具的電極單元的下側(或上側)。另外，作為與具有通用的電極部的構成的基板檢查夾具相關的在先技術文獻，可舉出例如專利文獻I。專利文獻專利文獻1:日本特許第2598482號公報然而，由於在上述現有的基板檢查夾具中，未設想到電極單元的更換，所以在要設置探頭的配設間距等不同的檢查頭的情況下，需要更換整個基板檢查夾具。因此，隨著變更作為檢查對象的被檢查基板的構成(例如，布線圖案的配設間距等)帶來的變更基板檢查夾具的構成的負擔大。此外，如上所述，在將連接切換單元配置在基板檢查裝置主體中的基板檢查夾具的電極單元的下側(或上側)的構成中，基板檢查裝置中的基板檢查夾具的、配置有電極單元的部分及其周邊的構成變得複雜化，存在難以進行基板檢查夾具的更換等問題。此外，在基板檢查裝置主體中的基板檢查夾具的、配置有電極單元的部分的下側(或上側)配置有進行基板檢查夾具的位置調節的位置調節機構的情況較多。因此，在如上述的構成中，存在連接切換單元成為障礙而難以確保位置調節機構的設置空間的情況。
發明內容
因此，本發明要解決的第I問題是提供一種基板檢查夾具及其相關技術，其能夠減輕隨著變更作為檢查對象的被檢查基板的構成帶來的變更基板檢查夾具的構成的負擔。因此，本發明要解決的第2問題是提供一種基板檢查裝置，其能夠容易地進行基板檢查夾具和電極單元的更換，並容易地確保基板檢查夾具的位置調節機構的設置空間。為了解決上述問題，第I技術方案是一種基板檢查夾具，該基板檢查夾具安裝於基板檢查裝置，並用於與設置在被檢查基板上的布線圖案的電氣特性相關的檢查中，其特徵在於，包括:夾具主體；電極單元，其具有大致矩陣狀地配置的多個電極部，並可更換地安裝於所述夾具主體；以及檢查頭，其具有多個探頭和保持所述多個探頭的探頭保持部件，並可更換地安裝於所述電極單元或所述夾具主體，使得所述各個探頭的後端部與所述電極単元的任ー個所述電極部電連接，其中，所述檢查頭的所述探頭被配置成其前端部與作為檢查對象的所述被檢查基板的所述布線圖案上所設定的檢查點對應，所述電極単元的所述電極部以比所述檢查頭的所述探頭的配設間距小的配設間距大致矩陣狀地被配置，以使其能夠對應於所述探頭的配置方式不同的多種所述檢查頭。此外，第2技術方案是在第I技術方案涉及的基板檢查夾具中，所述電極單元包括:絕緣性的電極基座部件，其具有形成幹與所述探頭単元的對置面的多個電極孔；電極頭部，其具有導電性的大致棒狀的形態，並配置在所述電極基座部件的所述電極孔內而構成所述電極部；導電螺旋彈簧部件，其具有導電性並具有大致螺旋彈簧狀的形態，並被插入到所述電極孔內，其伸縮方向的一側端部與所述電極頭部的後端側抵接；以及中繼連接部件，其具有導電性，且其前端部被插入到所述電極孔內而與所述導電螺旋彈簧部件的所述伸縮方向的另ー側端部抵接。此外，第3技術方案是在第2技術方案涉及的基板檢查夾具中，在所述電極基座部件的所述電極孔內設置有抵接部，所述抵接部與所述電極頭部的一部分抵接而阻擋所述電極頭部向所述檢查頭側的位移，所述導電螺旋彈簧部件在所述電極孔內沿伸縮方向被壓縮的狀態下插裝在所述電極頭部和所述中繼連接部件之間。此外，第4技術方案是在第3技術方案涉及的基板檢查夾具中，所述電極單元的所述電極頭部的朝向所述探頭的後端部側的前端部，在所述檢查頭的所述探頭沒有抵接的狀態下，配置在實質上與所述電極基座部件的與所述檢查頭的對置面對齊的位置上。此外，第5技術方案是在第3技術方案涉及的基板檢查夾具中，所述電極單元的所述電極頭部的朝向所述探頭的後端部側的前端部，在所述檢查頭的所述探頭沒有抵接的狀態下，配置於相對於所述電極基座部件與所述檢查頭的對置面而向著與所述檢查頭背離的方向後退為凹狀的位置。此外，第6技術方案是在第I技術方案涉及的基板檢查夾具中，在所述電極單元上設置有所述電極部的所述配設間距不同的多個電極形成區域。此外，第7技術方案是在第I技術方案涉及的基板檢查夾具中，所述電極單元的所述電極部的朝向所述探頭的所述後端部側的前端部具有其中央部大致凹狀地凹陷的凹陷形狀。此外，第8技術方案是在第I技術方案涉及的基板檢查夾具中，所述電極單元的所述電極部的朝向所述探頭的所述後端部側的前端部的周緣部形成有向所述探頭的所述後端部側突出的多個突起。此外，第9技術方案是在第I技術方案涉及的基板檢查夾具中，所述檢查頭的所述探頭的所述前端部從所述探頭保持部件的朝向所述被檢查基板側的前端側的端面突出，所述檢查頭的所述探頭的所述後端部從所述探頭保持部件的朝向所述電極單元側的後端側的端面突出。 此外，第10技術方案是ー種具備第I技術方案涉及的基板檢查夾具和安裝有所述基板檢查夾具的檢查裝置主體的檢查裝置，所述檢查裝置主體包括:檢查處理部，其經由所述基板檢查夾具來檢查所述被檢查基板的所述布線圖案的電氣特性；以及連接切換單元，其配置於所述基板檢查裝置主體上的、從與所述基板檢查裝置主體上安裝的所述基板檢查夾具的所述電極単元在上下方向上相對置的區域離開的位置上，並切換所述基板檢查夾具的所述電極部和所述檢查處理部之間的電連接關係。此外，第11技術方案是一種夾具底座單元，該夾具底座單元與具備多個探頭的檢查頭一起安裝於基板檢查裝置，並用於與設置在被檢查基板上的布線圖案的電氣特性相關的檢查中，其特徵在於，包括:夾具主體；以及電極單元，其具有大致矩陣狀地被配置的多個電極部，並可更換地安裝於所述夾具主體，其中，隨著所述檢查頭可更換地安裝於所述電極單元或所述夾具主體，所述檢查頭的所述探頭的後端部與所述電極單元的任一個所述電極部電接觸，所述電極單元的所述電極部以比所述檢查頭的所述探頭的配設間距小的配設間距大致矩陣狀地被配置，以使其能夠對應於所述探頭的配置方式不同的多種所述檢查頭。根據上述第I至第9技術方案涉及的基板檢查夾具，由於電極單元能夠更換，所以即使在要設置探頭的配設間距等不同的檢查頭的情況下，也無需更換整個基板檢查夾具，通過更換電極單元即可應對。因此，能夠減輕隨著作為檢查對象的被檢查基板的構成(例如，布線圖案的配設間距等)變更帶來的基板檢查夾具的構成變更的負擔。根據上述第2技術方案涉及的基板檢查夾具，在安裝檢查頭且探頭的後端部與電極頭部電接觸時，利用導電螺旋彈簧部件的作用力，電極頭部被彈性推壓至探頭的後端部而與其接觸，因此能夠使探頭和電極頭部的電接觸狀態穩定。根據上述第3技術方案涉及的基板檢查夾具，在未安裝檢查頭且電極頭部等待與探頭抵接的狀態下，利用在被壓縮的狀態下插入的導電螺旋彈簧部件的作用力，電極頭部被彈性地按壓在電極孔內的上限位置。因此，能夠正確地定位等待狀態下的電極頭部的前端部的位置，由此，在安裝檢查頭時，能夠使探頭的後端部與電極頭部可靠地電接觸。根據上述第4技術方案涉及的基板檢查夾具，電極單元的電極頭部的朝向探頭的後端部側的前端部，在沒有與檢查頭的探頭抵接的狀態下，配置在實質上與電極基座部件的與檢查頭的對置面對齊的位置上。因此，利用隨著探頭的後端部與電極頭部抵接而產生的推壓力，電極頭部的前端部相對於電極基座部件的上述對置面而向著與檢查頭背離的方向稍微後退為凹狀，由此，能夠防止探頭的後端部從電極頭部的前端部的位置偏離，能夠使探頭和電極頭部之間的抵接狀態穩定。根據上述第5技術方案涉及的基板檢查夾具，電極單元的電極頭部的朝向探頭的後端部側的前端部，在沒有與檢查頭的探頭抵接的狀態下，被配置於相對於所述電極基座部件的與檢查頭的對置面而向著與所述檢查頭背離的方向後退為凹狀的位置。因此，不僅在探頭的後端部與電極頭部抵接後，而且在抵接時，也能夠使探頭的後端部位置不偏離地與電極頭部的上端部可靠地接觸，且能夠使探頭和電極頭部之間的抵接狀態穩定。根據上述第6技術方案涉及的基板檢查夾具，由於在電極單元上設置有電極部的配設間距不同的多個電極形成區域，所以還能夠應對檢查頭的探頭的配設間距部分不同的情況。其結果，即使對於具有布線圖案的配設間距等不同的多種區域的被檢查基板，也能夠使用一個基板檢查夾具來同時檢查。根據上述第7技術方案涉及的基板檢查夾具，電極單元的電極部的朝向探頭的後端部側的前端部的中央部具有大致凹狀地凹陷的凹陷形狀，因此，探頭的後端部嵌入到電極部的前端部的凹陷處內並與電極部電接觸，所以能夠使探頭和電極部之間的電接觸狀態穩定。
根據上述第8技術方案涉及的基板檢查夾具，電極單元的電極部的朝向所述探頭的後端部側的前端部的周緣部形成有向探頭的後端部側突出的多個突起。因此，探頭的後端部嵌入到電極部的前端部的周緣部上所設置的多個突起的內側而與電極部電接觸，所以能夠使探頭和電極部之間的電接觸狀態穩定。根據上述第10技術方案涉及的基板檢查裝置，連接切換單元配置於基板檢查裝置主體上的、從與安裝在基板檢查裝置主體上的基板檢查夾具的電極單元在上下方向上相對置的區域離開的位置。因此，能夠簡化基板檢查裝置中配置有基板檢查夾具的電極單元的部分和其周邊的構成，使基板檢查夾具和電極單元的更換作業等變得容易。此外，也能夠容易地確保基板檢查夾具的位置調節機構的設置空間。根據上述第11技術方案涉及的夾具底座單元，由於電極單元能夠更換，所以即使在要設置探頭的配設間距等不同的檢查頭的情況下，也無需更換整個基板檢查夾具，而是通過更換電極單元即可應對。因此，能夠減輕隨著作為檢查對象的被檢查基板的構成(例如，布線圖案的配設間距等)變更帶來的基板檢查夾具的構成變更的負擔。
圖1是局部地表示使用了本發明的一個實施方式涉及的基板檢查夾具的基板檢查裝置的構成的圖。圖2是對圖1的基板檢查夾具的剖視圖的局部構成進行放大來表示的圖。圖3是表示檢查頭的構成的剖視圖。圖4是對電極單元的電極頭部及其周邊構成進行放大來表示的剖視圖。圖5是表示圖4的構成的變形例的圖。圖6是示意性地表示與電極單元的電極孔及電極頭部等的配置方式相關的變形例的概要平面圖。圖7是表示與電極單元所具備的電極頭部的前端部的構成相關的第一變形例的首1J視圖。圖8中的(a)、(b)分別是表示與電極單元所具備的電極頭部的前端部的構成相關的第二變形例的剖視圖和平面圖。(附圖標記說明)I基板檢查裝置，2基板檢查夾具，3檢查裝置主體，31檢查處理部，32連接切換單元，6夾具主體，61基座部件，62連接器，7電極單元，71電極基座部件，711電極孔，712對置面，72電極頭部，725前端部，726凹陷，727突起，73導電螺旋彈簧部件，74中繼連接部件，8檢查頭，81探頭，82探頭保持部件，9夾具底座單元。
具體實施例方式參照圖1至圖5，對適用了本發明的一個實施方式涉及的基板檢查夾具的基板檢查裝置進行說明。如圖1所示，該基板檢查裝置I具備基板檢查夾具2和安裝該基板檢查夾具2的檢查裝置主體3，並用於與未圖示的被檢查基板上所設置的布線圖案的電氣特性相關的檢查中。作為具體的檢查，可例舉出例如布線圖案的導通檢查及布線圖案之間的絕緣檢查等。
如圖1所示，基板檢查夾具2具備夾具主體6、電極單元7和檢查頭8。另外，有時也將夾具主體6和電極單元7合起來稱作夾具底座單元9。夾具主體6是構成基板檢查夾具2的基座部分的部件，如圖1所示，具備大致板狀的基座部件61和安裝在該基座部件61的貫通窗部61a上的連接器62。貫通窗部61a和連接器62配置於基座部件61的在基座部件61的延伸設置方向即橫向上從安裝有電極單元7的安裝部61b離開的位置。這樣構成的夾具主體6可拆裝地安裝在檢查裝置主體3的未圖示的夾具安裝部上。在用於固定夾具主體6和檢查裝置主體3的固定結構中，使用例如通過簡單的單觸式操作等就能夠固定和解除固定的結構、或者使用螺釘固定等。如圖1和圖2所示，電極單元7具備電極基座部件71、由該電極基座部件71保持的多組電極頭部72、導電螺旋彈簧部件73和中繼連接部件74而構成。其中，電極頭部72相當於本發明涉及的電極部。如圖2所示，電極基座部件71是將具有絕緣性的多個板狀部件重疊而構成的，並形成有多個電極孔711，該多個電極孔711用於插入電極頭部72、導電螺旋彈簧部件73和中繼連接部件74並進行保持。電極孔711沿基板檢查夾具2的軸向即上下方向貫通電極基座部件71，作為其檢查頭8側的頭側端部711a和與檢查頭8側相反一側的底部側端部711b的部分的內徑小於其中間部711c的內徑。此外，電極孔711的頭側端部711a在電極基座部件71的與檢查頭8的對置面712開口。另外，作為變形例，電極基座部件71也可以由一個板狀體構成。電極頭部72具有導電性(例如金屬制)的大致棒狀的形狀，並具有前端側小徑部721、中間大徑部722和後端側小徑部723。中間大徑部722的外徑大於前端側小徑部721和後端側小徑部723的外徑，並小於電極基座部件71的電極孔711的中間部711c的內徑，而且大於頭側端部711a的內徑。此外，前端側小徑部721的外徑小於電極孔711的頭側端部711a的內徑。這樣的電極頭部72通過將前端側小徑部721從底部側插入到電極孔711的頭側端部711a內而被插入到電極孔711內，並利用後述的導電螺旋彈簧部件73的作用力而被保持於彈性地被推壓於檢查頭8側的狀態。在該狀態下，如圖4所示，通過使電極頭部72的前端側小徑部721和中間大徑部722之間的臺階部724抵接於電極孔711內的頭側端部711a和中間部711c之間的臺階部711d(相當於本發明涉及的抵接部)，阻擋了電極頭部72向檢查頭8側的位移。此時，如圖4所示，電極頭部72的朝向檢查頭8側的前端部(在圖4的例中，前端面)725被設定為位於實質上與電極基座部件71的與檢查頭8的對置面712對齊為同一平面的位置。或者，作為該圖4所示構成的變形例，如圖5所示，也可以將電極頭部72的前端部(在圖4的例中，前端面)725設定成位於相對於電極基座部件71的對置面712而向著與檢查頭8背離的方向後退為凹狀的位置上。導電螺旋彈簧部件73具有由導電材料(例如金屬)形成的大致螺旋彈簧狀的形狀，並且在電極孔711內沿其伸縮方向被壓縮的狀態下，插裝於電極頭部72和後述的中繼連接部件74之間。導電螺旋彈簧部件73的伸縮方向的一側端部抵接於電極頭部72的後端側，另一側端部抵接於中繼連接部件74的前端部，由此，電極頭部72和中繼連接部件74經由導電螺旋彈簧部件73電連接。另外，在本實施方式中，導電螺旋彈簧部件73的上述一側端部在外嵌於電極頭部72的後端側小徑部723上的狀態下，抵接於後端側小徑部723和中間大徑722之間的臺階部，井向檢查頭8側推壓電極頭部72。中繼連接部件74具有導電性，並將電極頭部72與後述的連接切換單元32電連接。中繼連接部件74的前端部從底部側端部711b插入到電極孔711內，並經由導電螺旋彈簧部件73與電極頭部72電連接。作為中繼連接部件74的具體構成，其具備例如導電性的導線741和與該導線741的前端接合併具有導電性的彈簧抵接部742而構成。導線741的線徑被設定為小於電極孔711的底部側端部711b的內徑。彈簧抵接部742的外徑被設定為大於導線741的線徑及電極孔711的底部側端部71 Ib的內徑且小於中間部71 Ic的內徑。因此，在電極孔711內，彈簧抵接部742與底部側端部711b的檢查頭8側的開ロ部卡合，由此中繼連接部件74的被插入到電極孔711內的部分被阻擋在電極孔711中。從電極孔711引出的導線741與連接器62電連接。另外，導線741優選由樹脂等的絕緣材料覆蓋導體芯部的周圍。此外，導線741也可以是從電極孔711至連接器62連續的導線，也可以在中途與其他中繼導線電連接，並經由該中繼導線與連接器62電連接。此外，作為彈簧抵接部742，可以使用例如焊錫球等金屬制的球。該電極単元7的電極孔711和電極頭部72以比檢查頭8的探頭81的配設間距小的配設間距大致矩陣狀地配置，以使其能夠對應於探頭81的配置方式不同的後述的多種檢查頭8。隨著檢查頭8被安裝在電極單元7上，檢查頭8的探頭81的後端部81b與電極単元7的大致矩陣狀地被配置的任ー個電極頭部72電連接。此時，電極頭部72通過隨著與探頭81抵接帶來的來自探頭81的推壓力，而變為克服導電性螺旋彈簧部件73的作用力向電極孔711的內側稍微被壓入的狀態。隨之，電極頭部72的前端部725變為相對於電極基座部件71的對置面712而向著與檢查頭8背離的方向稍微後退為凹狀的狀態，由此，防止探頭81的後端部81a從電極頭部72的前端部725的位置偏離，使探頭81和電極頭部72之間的抵接狀態穩定。這樣的電極單元7可更換地安裝在夾具主體6的基座部件61的安裝部61b上。在用於固定電極單元7和夾具主體6的基座部件61的固定構造中，可以使用通過例如簡單的單觸式操作等就能夠固定和解除固定的構造、或者使用螺釘固定等。如圖3所示，檢查頭8具備具有導電性且具有大致細長針狀形態的多個探頭81、和保持所述多個探頭81的探頭保持部件82而構成。探頭保持部件82具備位於作為檢查對象的未圖示的被檢查基板側的前端側保持部件821、配置在電極單元7側的後端側保持部件822、以及連接並固定前端側保持部件821和後端側保持部件822的連接部件823。前端側保持部件821和後端側保持部件822在上下方向上隔開間隔的狀態下通過連接部件823而被連接。此外，在如端側保持部件821和後端側保持部件822上形成有能夠摘入並保持探頭81的多個保持孔，在如端側保持部件821的保持孔中摘入並保持探頭81的如端側，在後端側保持部件822的保持孔中摘入並保持探頭81的後端側。在該探頭81的保持狀態下，探頭81的前端部81a和後端部81b分別從前端側保持部件821的朝向被檢查基板側的前端側的端面821a、和後端側保持部件822的朝向電極單元7側的後端側的端面822a突出。探頭81的前端部81a與設置在作為檢查對象的被檢查基板的布線圖案上的檢查點電接觸，後端部81b與電極單元7的電極頭部72電接觸。
另外，在圖3的圖示例中，前端側保持部件821和後端側保持部件822是分別重疊了具有絕緣性的多個板狀部件而構成的，但也可以由單一的板狀部件構成。這樣的檢查頭8可更換地安裝在電極單元7上。在用於固定檢查頭8和電極單元7的固定構造中，可以使用例如通過簡單的單觸式操作等就能夠固定和解除固定的構造、或者使用螺釘固定等。作為變形例，也可以不將檢查頭8安裝在電極單元7上，而將檢查頭8直接安裝在夾具主體6的基座部件61的安裝部61b上。檢查頭8的探頭81被配置成使其前端部81a與作為檢查對象的被檢查基板的布線圖案上所設定的檢查點相對應。即，針對每種作為檢查對象的被檢查基板，準備有多種檢查頭8，並隨著變更作為檢查對象的被檢查基板的種類而適當地更換檢查頭8。與此相對，將電極單元7的電極孔711和電極頭部722等的構成設定為，使其能夠與探頭81的配置方式不同的多種檢查頭8相對應的方式。因此，在作為檢查對象的被檢查基板的種類被變更時，如果檢查頭8的探頭81的配置方式的變更程度在電極單元7的可對應範圍(例如，探頭81的配設間距沒有大的變更的情況等)內，則只需更換檢查頭8，而不用更換電極單元7。此外，由於本實施方式涉及的電極單元7能夠容易地更換，所以假設即使隨著變更被檢查基板的種類帶來的檢查頭8的探頭81的配置方式的變更程度在電極單元7的可對應範圍外(例如，探頭81的配設間距發生大的變更的情況等)，也只需更換電極單元7，而不用更換夾具主體6。接下來，對檢查裝置主體3的構成進行說明。如圖1所示，檢查裝置主體3具備檢查處理部31和連接切換單元32。檢查處理部31經由基板檢查夾具2來檢查被檢查基板的布線圖案的電氣特性。連接切換單元32具備多個開關元件(例如，半導體開關元件)而構成，並被插裝在對基板檢查夾具2的電極頭部72和檢查處理部31之間進行電連接的布線中，由此來切換電極頭部72和檢查處理部31的電連接關係。這樣的連接切換單元32被配置於檢查裝置主體3上的、在橫向上從與檢查裝置主體3上安裝的基板檢查夾具2的電極單元7在上下方向上相對置的區域離開的位置。在本實施方式中，連接切換單元32被配置在基板檢查夾具2的夾具主體6的基座部件61的與電極單元7相反的一側。另外，在連接切換單元32的朝向基板檢查夾具2側的面上設置有連接器部321。通過將該連接器部321連接到連接器62上，連接切換單元32經由連接器62和包含導線741的中繼連接部件74而與電極頭部72電連接。即，在本實施方式中，關於電極頭部72和連接切換單元32之間的電連接，首先在夾具主體6的基座部件61的電極單元7側，在電極頭部72和連接器62之間經由導電螺旋彈簧部件73等並利用導線741來進行。接著，該導線741和連接切換單元32經由連接器62電連接，該連接切換單元32配置在基座部件61的與電極單元7相反的一側。在這樣的由基板檢查裝置I進行的檢查中，首先基板檢查夾具2的各個探頭81的前端部81a與被檢查基板的布線圖案的各個檢查點電連接。利用連接切換單元32，在探頭81的後端部8 Ib所電接觸的電極頭部72之中，與成為檢查對象的布線圖案的組合相對應的電極頭部72選擇性地與檢查處理部31電連接。檢查處理部31的檢查用的電力經由所述選擇出的電極頭部72和探頭81而向檢查對象的布線圖案供給。隨之，從檢查對象的布線圖案中，經由探頭81和所述選擇出的電極頭部72並利用檢查處理部31檢測出用於進行與導通性或絕緣性等相關的檢查的信號，井根據該檢測結果，判斷檢查對象的布線圖案的導通性或絕緣性等是否良好。當針對ー個布線圖案的組合的檢查結束時，進行關於下ー個布線圖案的組合的檢查。如上所述，根據本實施方式涉及的基板檢查夾具2和使用該夾具的基板檢查裝置1，由於能夠更換電極單元7，因此即使在要設置探頭81的配設間距等不同的檢查頭8的情況下，也無需更換整個基板檢查夾具2，而是通過更換電極單元7就能夠應對。因此，能夠減輕隨著作為檢查對象的被檢查基板的構成(例如，布線圖案的配設間距等)變更帶來的基板檢查夾具2的構成變更的負擔。此外，在檢查頭8安裝在電極單元7上、且探頭81的後端部81b與電極頭部72電接觸時，利用導電螺旋彈簧部件73的作用力，電極頭部72被弾性推壓到探頭81的後端部81b上並與探頭81的後端部81b接觸，因此能夠使探頭81和電極頭部72的電接觸狀態穩定。此外，在未安裝檢查頭8且電極頭部72等待與探頭81抵接的狀態下，利用在壓縮狀態下被插入的導電螺旋彈簧部件73的作用力，電極頭部72被弾性地按壓到電極孔711內的上限位置。因此，能夠正確定位等待狀態下的電極頭部72的前端部725的位置，由此，在安裝檢查頭8吋，能夠使探頭81的後端部81b與電極頭部72可靠地電接觸。此外，如圖4所示，電極頭部72的前端部725在等待與檢查頭8的探頭81抵接的狀態下，被配置在與電極基座部件71的對置面712實質上對齊的位置上。因此，利用探頭81的後端部81b與電極頭部72抵接的推壓力，電極頭部72的前端部725相對於電極基座部件71的對置面712而向著與檢查頭8背離的方向稍微後退為凹狀，由此，能夠防止探頭81的後端部81b從電極頭部72的前端部725位置偏離，能夠使探頭81和電極頭部72之間的抵接狀態穩定。此外，在圖5所示的變形例涉及的構成中，電極頭部72的前端部725在等待與探頭81抵接的狀態下，被配置在相對於電極基座部件71的對置面712而向著與檢查頭8背離的方向後退為凹狀的位置上。因此，不僅在探頭81的後端部81b與電極頭部72抵接後，而且在抵接時，也能夠使探頭81的後端部81b不偏離位置地與電極頭部72的上端部725可靠地抵接，能夠使探頭81和電極頭部72之間的抵接狀態更穩定。根據本實施方式涉及的基板檢查裝置1，如圖1所示，連接切換單元32被配置於檢查裝置主體3上的、在橫向上從與檢查裝置主體3上安裝的基板檢查夾具2的電極單元7在上下方向上相對置的區域離開的位置。因此，能夠簡化基板檢查裝置I中配置基板檢查夾具2的電極單元7的部分及其周邊的構成，使基板檢查夾具2和電極單元7的更換作業等變得容易。此外，也能夠容易地確保基板檢查夾具2的未圖示的位置調節機構的設置空間。以下，對上述實施方式涉及的構成的變形例進行說明。在上述實施方式涉及的電極單元7中，設想在對置面712的大致整個面上以相等的配設間距來設置電極單元7的電極基座部件71的對置面712上所設置的電極孔711和電極頭部72等。作為與這一點相關的變形例，如圖6所示，也可以在對置面712上設置電極孔711和電極頭部72等的配設間距不同的多個電極形成區域712a、712b。由此，也能夠應對檢查頭8的探頭81的配設間距部分不同的情況，即使針對具有布線圖案的配設間距等不同的多個區域的被檢查基板，也能夠使用一個基板檢查夾具2同時檢查。此外，作為與電極頭部72的前端部725的構成相關的變形例，可例舉圖7所示的構成和圖8 (a)、圖8 (b)所示的構成。在圖7所示的構成中，電極頭部72的前端部725具有其中央部大致凹狀地凹陷的凹陷形狀。根據該圖7的構成，由於探頭81的後端部81b嵌入到電極部72的前端部725的凹陷726內並與電極頭部72電接觸，所以能夠使探頭81和電極頭部72之間的電接觸狀態穩定。此外，在圖8 (a)和圖8 (b)所示的構成中，在電極頭部72的前端部725的周緣部上，形成有向探頭81的後端部81b側突出的多個突起727。因此，探頭81的後端部81b嵌入到電極頭部72的前端部725的周緣部上所設置的多個突起727的內側而與電極頭部72電接觸，所以能夠使探頭81和電極頭部72之間的電接觸狀態穩定。
權利要求
1.一種基板檢查夾具，安裝於基板檢查裝置，並用於與設置在被檢查基板上的布線圖案的電氣特性相關的檢查中，其特徵在於，包括: 夾具主體； 電極單元，其具有 矩陣狀地配置的多個電極部，並可更換地安裝於所述夾具主體；以及檢查頭，其具有多個探頭和保持所述多個探頭的探頭保持部件，並可更換地安裝於所述電極単元或所述夾具主體，以使所述各個探頭的後端部與所述電極単元的任ー個所述電極部電連接，其中， 所述檢查頭的所述探頭被配置成，其前端部與作為檢查對象的所述被檢查基板的所述布線圖案上所設定的檢查點相對應， 所述電極単元的所述電極部以比所述檢查頭的所述探頭的配設間距小的配設間距矩陣狀地配置，以使其能夠對應於所述探頭的配置方式不同的多種所述檢查頭。
2.根據權利要求1所述的基板檢查夾具，其特徵在於，所述電極単元包括: 絕緣性的電極基座部件，其具有形成幹與所述探頭単元的對置面的多個電極孔； 電極頭部，其具有導電性的棒狀的形態，並配置在所述電極基座部件的所述電極孔內而構成所述電極部； 導電螺旋彈簧部件，其具有導電性並具有螺旋彈簧狀的形態，並被插入到所述電極孔內，其伸縮方向的一側端部與所述電極頭部的後端側抵接；以及 中繼連接部件，其具有導電性，且其前端部被插入到所述電極孔內而與所述導電螺旋彈簧部件的所述伸縮方向的另ー側端部抵接。
3.根據權利要求2所述的基板檢查夾具，其特徵在幹， 在所述電極基座部件的所述電極孔內設置有抵接部，所述抵接部與所述電極頭部的一部分抵接而阻擋所述電極頭部向所述檢查頭側的位移， 所述導電螺旋彈簧部件在所述電極孔內沿伸縮方向被壓縮的狀態下，插裝在所述電極頭部和所述中繼連接部件之間。
4.根據權利要求3所述的基板檢查夾具，其特徵在幹， 所述電極単元的所述電極頭部的朝向所述探頭的後端部側的前端部，在所述檢查頭的所述探頭沒有抵接的狀態下，配置幹與所述電極基座部件的與所述檢查頭的對置面對齊的位置。
5.根據權利要求3所述的基板檢查夾具，其特徵在幹， 所述電極単元的所述電極頭部的朝向所述探頭的後端部側的前端部，在所述檢查頭的所述探頭沒有抵接的狀態下，配置於相對於所述電極基座部件與所述檢查頭的對置面而向著與所述檢查頭背離的方向後退為凹狀的位置。
6.根據權利要求1所述的基板檢查夾具，其特徵在於，在所述電極単元上設置有所述電極部的所述配設間距不同的多個電極形成區域。
7.根據權利要求1所述的基板檢查夾具，其特徵在於，所述電極単元的所述電極部的朝向所述探頭的所述後端部側的前端部具有其中央部凹狀地凹陷的凹陷形狀。
8.根據權利要求1所述的基板檢查夾具，其特徵在於，所述電極単元的所述電極部的朝向所述探頭的所述後端部側的前端部的周緣部形成有向所述探頭的所述後端部側突出的多個突起。
9.根據權利要求1所述的基板檢查夾具，其特徵在於，所述檢查頭的所述探頭的所述前端部從所述探頭保持部件的朝向所述被檢查基板側的前端側的端面突出，所述檢查頭的所述探頭的所述後端部從所述探頭保持部件的朝向所述電極單元側的後端側的端面突出。
10.一種基板檢查裝置，具備權利要求1所述的基板檢查夾具和安裝有所述基板檢查夾具的檢查裝置主體， 所述檢查裝置主體包括: 檢查處理部，其經由所述基板檢查夾具來檢查所述被檢查基板的所述布線圖案的電氣特性；以及 連接切換單元，其配置於所述基板檢查裝置主體上的、從與所述基板檢查裝置主體上安裝的所述基板檢查夾具的所述電極單元在上下方向上相對置的區域離開的位置，並切換所述基板檢查夾具的所述電極部和所述檢查處理部之間的電連接關係。
11.一種夾具底座單元，與具備多個探頭的檢查頭一起安裝於基板檢查裝置，並用於與設置在被檢查基板上的布線圖案的電氣特性相關的檢查中，其特徵在於，包括: 夾具主體；以及 電極單元，其具有多個矩陣狀地被配置的電極部，並可更換地安裝於所述夾具主體， 其中，隨著所述檢查頭可更換地安裝於所述電極單元或所述夾具主體，所述檢查頭的所述探頭的後端部與所述電極單元的任一個所述電極部電接觸， 所述電極單元的所述電極部以比所述檢查頭的所述探頭的配設間距小的配設間距矩陣狀地被配置，以使其能夠對應 於所述探頭的配置方式不同的多種所述檢查頭。
全文摘要
本發明提供一種基板檢查夾具及其相關技術，其能夠減輕隨著變更作為檢查對象的被檢查基板的構成帶來的變更基板檢查夾具的構成的負擔。該基板檢查夾具(2)具備夾具主體(6)、電極單元(7)和檢查頭(8)。電極單元(7)具有大致矩陣狀地配置的多個電極頭部，並可更換地安裝在夾具主體(6)上。檢查頭(8)具有多個探頭和探頭保持部件，並可更換地安裝在電極單元(7)或夾具主體(6)上，以使該各個探頭的後端部與電極單元(7)的任一個電極頭部電接觸。電極單元(7)的電極頭部以比檢查頭(8)的探頭的配設間距小的配設間距大致矩陣狀地被配置，以使其能夠對應於探頭的配置方式不同的多種檢查頭(8)。
文檔編號G01R1/04GK103091516SQ20121043639
公開日2013年5月8日 申請日期2012年11月5日 優先權日2011年11月7日
發明者藤野真 申請人:日本電產理德株式會社