一種串聯式超高加速度超精密定位二維平臺的製作方法

2024-01-29 23:58:15

一種串聯式超高加速度超精密定位二維平臺的製作方法
【專利摘要】本實用新型提供了一種串聯式超高加速度超精密定位二維平臺，包括底座，底座上安裝有能夠沿X軸方向與Y軸方向運動的宏微XY定位平臺，宏微XY定位平臺的四邊上通過連接架安裝有結構相同的X軸第一電機、X軸第二電機、Y軸第一電機，以及Y軸第二電機；其中，X軸第一電機與X軸第二電機同軸設置，進行X軸方向加速定位運動，Y軸第一電機與Y軸第二電機同軸設置，進行Y軸方向加速定位運動；X軸第一電機、X軸第二電機、Y軸第一電機，以及Y軸第二電機的底端均與底座固定連接，實現了在X和Y軸方向加速和長行程的同時，通過補償定位平臺中的壓電致動器補償電機誤差，最終實現超高加速、長行程和超精密定位的二維運動。
【專利說明】
一種串聯式超高加速度超精密定位二維平臺

【技術領域】
:
[0001]本實用新型涉及一種平臺，尤其涉及一種串聯式超高加速度超精密定位二維平臺。

【背景技術】
[0002]隨著超精密加工，微電子製造等精密工程的快速發展，大行程超精密定位作為定位關鍵設備的重要性已日益凸顯，特別是在光刻，鍵合等微電子領域中，設備需要做高速狀態下進行的平臺精確定位運動。目前，定位平臺高速運動已經發展到極限，這制約了定位平臺生產效率的提高。在滿足預定精度的條件下，提高平臺速度和加速度，縮短機械加工時間，有效的提聞生廣效率是定位平臺發展的方向。
[0003]目前國內的高速精密的定位主要是直線電機與壓電驅動器等來完成，這些定位雖然對於速度有了一定的提高，但是加速度會受到限制；通過串聯式將兩個音圈電機與定位平臺連接起來，突破速度的限制，實現超高加速度，這對於現代化的微電子製造領域的應用具有一定的應用意義。
實用新型內容
[0004]針對上述缺陷或不足，本實用新型提供了一種串聯式超高加速度超精密定位二維平臺，該精密定位二維平臺解決了現有技術無法突破更高加速的精密定位問題。
[0005]為達到以上目的，本實用新型的技術方案為:
[0006]包括底座，底座上安裝有能夠沿X軸方向與Y軸方向運動的宏微XY定位平臺，宏微XY定位平臺的四邊上通過連接架安裝有結構相同的X軸第一電機、X軸第二電機、Y軸第一電機，以及Y軸第二電機；其中，X軸第一電機與X軸第二電機同軸設置，進行X軸方向加速定位運動，Y軸第一電機與Y軸第二電機同軸設置，進行Y軸方向加速定位運動；x軸第一電機、X軸第二電機、Y軸第一電機，以及Y軸第二電機的底端均與底座固定連接。
[0007]所述宏微XY定位平臺包括:宏動X平臺以及宏動Y平臺，其中，宏動X平臺的兩邊安裝有X軸第一交叉導軌和X軸第三交叉導軌，宏動Y平臺的兩邊安裝有X軸第二交叉導軌和X軸第四交叉導軌，X軸第一交叉導軌與X軸第二交叉導軌相配合，X軸第三交叉導軌與X軸第四交叉導軌相配合。
[0008]所述宏動X平臺的兩邊安裝有Y軸第一滑塊導軌和Y軸第二滑塊導軌，Y軸第一滑塊導軌上安裝有Y軸第一滑塊，Y軸第二滑塊導軌上安裝有Y軸第二滑塊，Y軸第一滑塊導軌和Y軸第二滑塊導軌與X軸第一交叉導軌平行設置；χ平臺的兩邊還設置有X軸第一光柵尺和X軸第二光柵尺；宏動X平臺的下表面兩邊設置有Y軸第一光柵尺和Y軸第二光柵尺，且Y軸第一光柵尺和Y軸第二光柵尺與X軸第一交叉導軌垂直設置。
[0009]所述宏動X平臺的底部設置有與底座固定的宏微XY平臺底座，宏微XY平臺底座上安裝有與Y軸第一光柵尺相配合的Y軸第一光柵尺讀數頭，以及與Y軸第二光柵尺相配合的Y軸第二光柵尺讀數頭。
[0010]所述宏微XY平臺底座兩邊安裝有Y軸第一交叉導軌和Y軸第三交叉導軌，宏動X平臺的底端安裝有與Y軸第一交叉導軌相配合的Y軸第二交叉導軌，以及與Y軸第三交叉導軌相配合的Y軸第四交叉導軌。
[0011 ] 所述宏動Y平臺的兩邊上安裝有X軸第一滑塊導軌和X軸第二滑塊導軌，X軸第一滑塊導軌上安裝有X軸第一滑塊，X軸第二滑塊導軌上安裝有X軸第二滑塊，X軸第一滑塊導軌和X軸第二滑塊導軌與Y軸第一交叉導軌垂直設置；宏動Y平臺的另外兩邊上固定安裝有X軸第一光柵尺相配合的X軸第一光柵尺讀頭，以及與X軸第二光柵尺相配合的X軸第二光柵尺讀頭。
[0012]所述宏動Y平臺的中心安裝有微動XY平臺，宏動Y平臺通過微動X壓電驅動和微動Y壓電驅動與微動XY平臺連接。
[0013]所述X軸第一電機包括音圈電機以及固定連接於底座上的音圈電機底板,音圈電機的底部安裝有音圈電機滑塊，音圈電機底板上安裝有音圈電機滑塊導軌，音圈電機滑塊安裝於音圈電機滑塊導軌上。
[0014]所述音圈電機上安裝有用於吸收和緩解在X軸和Y軸方向加速度運動殘留的振動的減振器。
[0015]所述減振器包括固定器、浮動器，以及導軸，其中，固定器固定安裝於音圈電機底板上，導軸穿過固定器後固定安裝於固定器上，導軸的一端套設有第一擋片、第一彈簧和第二擋片，導軸的另一端套設有第三擋片、第二彈簧和第四擋片；浮動器為U型結構，浮動器的兩端開設有導軸孔，導軸安裝於導軸孔中。
[0016]與現有技術比較，本實用新型的有效果為:
[0017]本實用新型提供一種串聯式超高加速度超精密定位二維平臺，X軸第一電機與X軸第一連接架串聯緊固連接，X軸第二電機與X軸第二連接架串聯緊固連接，所述X軸第一連接架和所述X軸第二連接架均與宏微XY定位平臺在X方向上串聯連接，Y軸第一電機與Y軸第一連接架串聯緊固連接，Y軸第二電機與Y軸第二連接架串聯緊固連接，所述Y軸第一連接架和所述Y軸第二連接架均與宏微XY定位平臺在Y方向上串聯連接，Y軸第二電機通過Y軸第二連接架與宏微XY定位平臺在Y方向上串聯連接，且運動機構與減振裝置緊固連接，實現定位平臺加速度成倍的增加。
[0018]進一步的，在X和Y軸方向第一電機和第二電機實現超高加速和長行程的同時，通過補償定位平臺中的壓電致動器補償第一電機和第二電機的誤差，同時通過減振裝置來消除第一電機和第二電機在運動過程中的振動，最終實現超高加速、長行程和超精密定位的二維運動。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0019]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對於本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
[0020]圖1為本實用新型串聯式超高速精密定位二維平臺結構示意圖；
[0021]圖2為本實用新型實施例提供的宏微XY定位平臺放大結構示意圖；
[0022]圖3為本實用新型實施例提供的宏微宏動Y平臺放大結構示意圖；
[0023]圖4為本實用新型實施例提供的宏動X平臺放大結構示意圖；
[0024]圖5為本實用新型實施例提供的XY平臺底座的放大結構不意圖；
[0025]圖6為本實用新型實施例提供的宏動驅動放大結構示意圖；
[0026]圖7為本實用新型實施例提供的浮動器放大結構示意圖；
[0027]圖8為本實用新型實施例提供的固定器放大結構示意圖。
[0028]圖中，I為X軸第一電機，2為X軸第二電機,3為Y軸第一電機,4為Y軸第二電機，5為X軸第一連接架，6為X軸第二連接架，7為Y軸第一連接架，8為Y軸第二連接架，9為第一底板，10為第二底板，11為宏微XY定位平臺，12為底座，13為宏微XY平臺底座，14為宏動X平臺，15為宏動Y平臺，16為微動X壓電驅動，17為微動Y壓電驅動，18為X軸第一滑塊，19為X軸第一滑塊導軌，20為載物安裝螺紋孔，21為X軸第一光柵尺讀頭，22為微動XY平臺，23為X軸第二光柵尺讀頭，24為X軸第二滑塊導軌，25為X軸第二滑塊，26為Y軸第一光柵尺，27為Y軸第一滑塊導軌，28為Y軸第一滑塊，29為X軸第一光柵尺，30-1為X軸第一交叉導軌，30-2為X軸第三交叉導軌，31為Y軸第二滑塊導軌，32為Y軸第二滑塊，33-1為X軸第二交叉導軌，33-2為X軸第四交叉導軌，34為X軸第二光柵尺，35為Y軸第二光柵尺，36-1為Y軸第一交叉導軌，36-2為Y軸第三交叉導軌，37為Y軸第一光柵尺讀數頭，38為Y軸第二光柵尺讀頭，39-1為Y軸第二交叉導軌，39-2為Y軸第四交叉導軌，40音圈電機底板，41為音圈電機滑塊導軌,42為音圈電機滑塊,43為音圈電機,44為減振器，45為浮動器,46為導軸孔,47為導軸,48為第一擋片,49為第一彈簧，50為第二擋片，51為固定孔，52為第三擋片，53為第二彈簧，54為第四擋片，55為固定器。

【具體實施方式】
[0029]下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基於本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬於本實用新型保護的範圍。
[0030]如圖1、2所示，本實用新型提供了一種串聯式超高加速度超精密定位二維平臺，包括底座12，底座12上安裝有能夠沿X軸方向與Y軸方向運動的宏微XY定位平臺11，宏微XY定位平臺11的四邊上通過連接架安裝有結構相同的X軸第一電機1、X軸第二電機2、
Y軸第一電機3，以及Y軸第二電機4，具體的，X軸第一電機I上安裝有X軸第一連接架5，X軸第二電機2上安裝有X軸第二連接架6，Y軸第一電機3上安裝有Y軸第一連接架7，Y軸第二電機4上安裝有Y軸第二連接架8 ；Y軸第一電機3通過第一底板9與底座12緊固連接，Y軸第二電機4通過第二底板10與底座12緊固連接；其中，X軸第一電機I與X軸第二電機2同軸設置,進行X軸方向加速定位運動，Y軸第一電機3與Y軸第二電機4同軸設置，進行Y軸方向加速定位運動；Χ軸第一電機1、Χ軸第二電機2、Υ軸第一電機3,以及Y軸第二電機4的底端均與底座12固定連接，本實用新型中底座12採用大理石底座。所述X軸第一電機I和所述X軸第二電機2通過串聯驅動所述宏微XY定位平臺11在X方向進行超高加速定位運動；所述Y軸第一電機3和所述Y軸第二電機4通過串聯驅動所述宏微XY定位平臺11在Y方向進行超高加速定位運動。
[0031]如圖2、3、4所示，所述宏微XY定位平臺11包括:宏動X平臺14以及宏動Y平臺15，其中，宏動X平臺14的兩邊安裝有X軸第一交叉導軌30-1和X軸第三交叉導軌30-2，宏動Y平臺15的兩邊安裝有X軸第二交叉導軌33-1和X軸第四交叉導軌33-2，X軸第一交叉導軌30-1與X軸第二交叉導軌33-1相配合，X軸第三交叉導軌30-2與X軸第四交叉導軌33-2相配合，宏動X平臺14的兩邊安裝有Y軸第一滑塊導軌27和Y軸第二滑塊導軌31，Y軸第一滑塊導軌27上安裝有Y軸第一滑塊28，Y軸第二滑塊導軌31上安裝有Y軸第二滑塊32，Y軸第一滑塊導軌27和Y軸第二滑塊導軌31與X軸第一交叉導軌30_1平行設置；X平臺14的兩邊還設置有X軸第一光柵尺29和X軸第二光柵尺34 ;宏動X平臺14的下表面兩邊設置有Y軸第一光柵尺26和Y軸第二光柵尺35，且Y軸第一光柵尺26和Y軸第二光柵尺35與X軸第一交叉導軌30-1垂直設置。宏微XY平臺底座13兩邊安裝有Y軸第一交叉導軌36-1和Y軸第三交叉導軌36-2，宏動X平臺14的底端安裝有與Y軸第一交叉導軌36-1相配合的Y軸第二交叉導軌39-1，以及與Y軸第三交叉導軌36-2相配合的Y軸第四交叉導軌39-2。
[0032]如圖4、5所示，宏動X平臺14的底部設置有與底座12固定的宏微XY平臺底座13，所述宏動Y平臺15的兩邊上安裝有X軸第一滑塊導軌19和X軸第二滑塊導軌24，X軸第一滑塊導軌19上安裝有X軸第一滑塊18，X軸第二滑塊導軌24上安裝有X軸第二滑塊25，X軸第一滑塊導軌19和X軸第二滑塊導軌24與Y軸第一交叉導軌36-1垂直設置；宏動Y平臺15的另外兩邊上固定安裝有X軸第一光柵尺29相配合的X軸第一光柵尺讀頭21，以及與X軸第二光柵尺34相配合的X軸第二光柵尺讀頭23，宏微XY平臺底座13上安裝有與
Y軸第一光柵尺26相配合的Y軸第一光柵尺讀數頭37，以及與Y軸第二光柵尺35相配合的Y軸第二光柵尺讀數頭38。X軸第一光柵尺讀頭21通過讀取X軸第一光柵尺29獲得X方向的微米級定位，X軸第二光柵尺讀頭23通過讀取X軸第二光柵尺34獲得納米級定位誤差，微動X壓電驅動16根據納米級誤差在X方向進行定位誤差補償和超精密定位。Y軸第一光柵尺讀頭37通過讀取Y軸第一光柵尺26獲得Y方向的微米級定位，Y軸第二光柵尺讀頭38通過讀取Y軸第二光柵尺35獲得納米級定位誤差，微動Y壓電驅動17根據納米級誤差在Y方向進行定位誤差補償和超精密定位。
[0033]進一步的，如圖2所示，本實用新型的宏動Y平臺15的中心安裝有微動XY平臺22，宏動Y平臺15通過微動X壓電驅動16和微動Y壓電驅動17與微動XY平臺22連接，進行精度補償和超精密定位，微動XY平臺22上開設有用於安裝載物的載物安裝螺紋孔。
[0034]如圖6所不,X軸第一電機I包括音圈電機43以及固定連接於底座12上的音圈電機底板40，音圈電機43的底部安裝有音圈電機滑塊42，音圈電機底板40上安裝有音圈電機滑塊導軌41，音圈電機滑塊42安裝於音圈電機滑塊導軌41上，音圈電機43上安裝有用於吸收和緩解在X軸和Y軸方向加速度運動殘留的振動的減振器44，具體的，減振器44包括固定器55、浮動器45,以及導軸47,其中，固定器55固定安裝於音圈電機底板40上,導軸47穿過固定器55後通過固定孔51以及螺釘固定安裝於固定器55上，導軸47的一端套設有第一擋片48、第一彈簧49和第二擋片50，導軸47的另一端套設有第三擋片52、第二彈簧53和第四擋片54 ;浮動器45為U型結構，浮動器45的兩端開設有導軸孔46，導軸47安裝於導軸孔46中。
[0035]本實用新型的工作過程為:
[0036]X軸第一電機I和X軸第二電機2通過串聯驅動宏微XY定位平臺11實現X軸方向上超高加速度微米定位，Y軸第一電機3和Y軸第二電機4通過串聯驅動宏微XY定位平臺11實現Y軸方向上超高加速度微米定位。宏動Y平臺15的中心安裝有微動XY平臺22，宏動Y平臺15通過微動X壓電驅動16和微動Y壓電驅動17驅動微動XY平臺22，進行精度補償和超精密定位。X軸第一光柵尺讀頭21通過讀取X軸第一光柵尺29獲得X方向的微米級定位，X軸第二光柵尺讀頭23通過讀取X軸第二光柵尺34獲得納米級定位誤差，微動X壓電驅動16根據納米級誤差在X方向進行定位誤差補償和超精密定位。Y軸第一光柵尺讀頭37通過讀取Y軸第一光柵尺26獲得Y方向的微米級定位，Y軸第二光柵尺讀頭38通過讀取Y軸第二光柵尺35獲得納米級定位誤差，微動Y壓電驅動17根據納米級誤差在Y方向進行定位誤差補償和超精密定位。X軸第一電機I包括音圈電機43以及固定連接於底座12上的音圈電機底板40，音圈電機43的底部安裝有音圈電機滑塊42，音圈電機底板40上安裝有音圈電機滑塊導軌41，音圈電機滑塊42安裝於音圈電機滑塊導軌41上，音圈電機43上安裝有用於吸收和緩解在X軸和Y軸方向加速度運動殘留的振動的減振器44，
[0037]X軸第一電機I上安裝有X軸第一連接架5，X軸第二電機2上安裝有X軸第二連接架6，Y軸第一電機3上安裝有Y軸第一連接架7，Y軸第二電機4上安裝有Y軸第二連接架8 ;Y軸第一電機3通過第一底板9與底座12緊固連接，Y軸第二電機4通過第二底板10與底座12緊固連接；其中，X軸第一電機I與X軸第二電機2同軸設置，進行X軸方向加速定位運動，Y軸第一電機3與Y軸第二電機4同軸設置,進行Y軸方向加速定位運動；Χ軸第一電機1、Χ軸第二電機2、Υ軸第一電機3,以及Y軸第二電機4的底端均與底座12固定連接。宏動Y平臺15的另外兩邊上固定安裝有X軸第一光柵尺29相配合的X軸第一光柵尺讀頭21，以及與X軸第二光柵尺34相配合的X軸第二光柵尺讀頭23，宏微XY平臺底座13上安裝有與Y軸第一光柵尺26相配合的Y軸第一光柵尺讀數頭37，以及與Y軸第二光柵尺35相配合的Y軸第二光柵尺讀數頭38。X軸第一電機I上安裝有X軸第一連接架5，X軸第二電機2上安裝有X軸第二連接架6，Y軸第一電機3上安裝有Y軸第一連接架7，Y軸第二電機4上安裝有Y軸第二連接架8 ;減振器44包括固定器55、浮動器45，以及導軸47,其中，固定器55固定安裝於音圈電機底板40上，導軸47穿過固定器55後通過固定孔51以及螺釘固定安裝於固定器55上，導軸47的一端套設有第一擋片48、第一彈簧49和第二擋片50，導軸47的另一端套設有第三擋片52、第二彈簧53和第四擋片54 ;浮動器45為U型結構，浮動器45的兩端開設有導軸孔46，導軸47安裝於導軸孔46中。
[0038]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，並不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護範圍之內。
【權利要求】
1.一種串聯式超高加速度超精密定位二維平臺，其特徵在於，包括底座(12)，底座(12)上安裝有能夠沿X軸方向與Y軸方向運動的宏微XY定位平臺(11)，宏微XY定位平臺(11)的四邊上通過連接架安裝有結構相同的X軸第一電機(I)、x軸第二電機(2)、Y軸第一電機(3),以及Y軸第二電機⑷；其中，X軸第一電機⑴與X軸第二電機⑵同軸設置，進行X軸方向加速定位運動，Y軸第一電機(3)與Y軸第二電機(4)同軸設置,進行Y軸方向加速定位運動；X軸第一電機(I) >X軸第二電機(2)、Y軸第一電機(3),以及Y軸第二電機(4)的底端均與底座(12)固定連接。
2.根據權利要求1所述的串聯式超高加速度超精密定位二維平臺，其特徵在於，所述宏微XY定位平臺(11)包括:宏動X平臺(14)以及宏動Y平臺(15)，其中，宏動X平臺(14)的兩邊安裝有X軸第一交叉導軌(30-1)和X軸第三交叉導軌(30-2)，宏動Y平臺(15)的兩邊安裝有X軸第二交叉導軌(33-1)和X軸第四交叉導軌(33-2)，X軸第一交叉導軌(30_1)與X軸第二交叉導軌(33-1)相配合，X軸第三交叉導軌(30-2)與X軸第四交叉導軌(33-2)相配合。
3.根據權利要求2所述的串聯式超高加速度超精密定位二維平臺，其特徵在於，所述宏動X平臺(14)的兩邊安裝有Y軸第一滑塊導軌(27)和Y軸第二滑塊導軌(31)，Y軸第一滑塊導軌(27)上安裝有Y軸第一滑塊(28)，Y軸第二滑塊導軌(31)上安裝有Y軸第二滑塊(32)，Y軸第一滑塊導軌(27)和Y軸第二滑塊導軌(31)與X軸第一交叉導軌(30_1)平行設置；Χ平臺(14)的兩邊還設置有X軸第一光柵尺(29)和X軸第二光柵尺(34);宏動X平臺(14)的下表面兩邊設置有Y軸第一光柵尺(26)和Y軸第二光柵尺(35)，且Y軸第一光柵尺(26)和Y軸第二光柵尺(35)與X軸第一交叉導軌(30-1)垂直設置。
4.根據權利要求2所述的串聯式超高加速度超精密定位二維平臺，其特徵在於，所述宏動X平臺(14)的底部設置有與底座(12)固定的宏微XY平臺底座(13)，宏微XY平臺底座(13)上安裝有與Y軸第一光柵尺(26)相配合的Y軸第一光柵尺讀數頭(37)，以及與Y軸第二光柵尺(35)相配合的Y軸第二光柵尺讀數頭(38)。
5.根據權利要求4所述的串聯式超高加速度超精密定位二維平臺，其特徵在於，所述宏微XY平臺底座(13)兩邊安裝有Y軸第一交叉導軌(36-1)和Y軸第三交叉導軌(36-2)，宏動X平臺(14)的底端安裝有與Y軸第一交叉導軌(36-1)相配合的Y軸第二交叉導軌(39-1)，以及與Y軸第三交叉導軌(36-2)相配合的Y軸第四交叉導軌(39-2)。
6.根據權利要求5所述的串聯式超高加速度超精密定位二維平臺，其特徵在於，所述宏動Y平臺(15)的兩邊上安裝有X軸第一滑塊導軌(19)和X軸第二滑塊導軌(24)，X軸第一滑塊導軌(19)上安裝有X軸第一滑塊(18)，X軸第二滑塊導軌(24)上安裝有X軸第二滑塊(25)，Χ軸第一滑塊導軌(19)和X軸第二滑塊導軌(24)與Y軸第一交叉導軌(36_1)垂直設置；宏動Y平臺(15)的另外兩邊上固定安裝有X軸第一光柵尺(29)相配合的X軸第一光柵尺讀頭(21)，以及與X軸第二光柵尺(34)相配合的X軸第二光柵尺讀頭(23)。
7.根據權利要求1或5所述的串聯式超高加速度超精密定位二維平臺，其特徵在於，所述宏動Y平臺(15)的中心安裝有微動XY平臺(22)，宏動Y平臺(15)通過微動X壓電驅動(16)和微動Y壓電驅動(17)與微動XY平臺(22)連接。
8.根據權利要求1所述的串聯式超高加速度超精密定位二維平臺，其特徵在於，所述X軸第一電機(I)包括音圈電機43以及固定連接於底座(12)上的音圈電機底板(40),音圈電機43的底部安裝有音圈電機滑塊(42)，音圈電機底板(40)上安裝有音圈電機滑塊導軌(41)，音圈電機滑塊(42)安裝於音圈電機滑塊導軌(41)上。
9.根據權利要求8所述的串聯式超高加速度超精密定位二維平臺，其特徵在於，所述音圈電機(43)上安裝有用於吸收和緩解在X軸和Y軸方向加速度運動殘留的振動的減振器(44)ο
10.根據權利要求9所述的串聯式超高加速度超精密定位二維平臺，其特徵在於，所述減振器44包括固定器(55)、浮動器(45),以及導軸(47),其中，固定器(55)固定安裝於音圈電機底板(40)上，導軸(47)穿過固定器(55)後固定安裝於固定器(55)上，導軸(47)的一端套設有第一擋片(48)、第一彈簧(49)和第二擋片(50)，導軸(47)的另一端套設有第三擋片(52)、第二彈簧(53)和第四擋片(54);浮動器(45)為U型結構，浮動器(45)的兩端開設有導軸孔(46)，導軸(47)安裝於導軸孔(46)中。
【文檔編號】F16M11/18GK203927275SQ201420288676
【公開日】2014年11月5日 申請日期:2014年5月30日 優先權日:2014年5月30日
【發明者】張璐凡, 張進華, 方記文, 呂杭原, 念龍生, 王勉 申請人:西安交通大學