吸附酸性氣體的潔淨劑的製作方法
2024-02-06 15:10:15
專利名稱：吸附酸性氣體的潔淨劑的製作方法
技術領域：
本發明涉及吸附酸性氣體的潔淨劑，尤其涉及處理半導體與光電產業過程所產生的酸性氣體的潔淨劑。
背景技術：
近年來隨著半導體與光電產業的發展，大量使用各種酸性氣體化合物，這些酸性氣體對於人體與環境的危害都相當大，例如對皮膚有強烈的刺激性與腐蝕性，會導致皮膚產生嚴重的發炎現象。若食入會造成食道的灼傷，若經呼吸道與眼睛，會產生強烈的刺激與灼痛感。若排放至大氣環境中，則會導致酸雨、空氣汙染煙霧等，加速建築物與金屬的氧化腐蝕，或者使得樹木快速枯萎、動物急速暴斃等事情發生。
因此，目前在過程廢氣管末處理端常使用乾式洗滌塔(dry scrubber)。在乾式洗滌塔中，裝填鹼性吸附劑，當酸性氣體由洗滌塔的底端進入時，會立即和裡面的吸附劑發生吸附反應，轉化成無害而穩定的鹽類，此方法的氣體處理效能高，且儀器採購成本較低廉，因此開始為業界所使用。然而目前獲得氣體吸附劑的成本較高，吸附劑耗材的成本亦偏高；其次對於被處理氣體流量也有限制，對於高濃度、高流量的氣體操作成本過高，效果亦不佳。在過程中產生的粉體等副產物，可能會堵塞洗滌塔的桶子與管路。
本領域公知的氣體吸附劑大多使用活性碳，活性碳可以對酸性氣體具有物理吸附作用。酸性氣體附著在活性碳的孔洞中間與表面上，並保持原先的物理特性。酸性氣體濃縮在活性碳吸附劑當中，也具有相當高度的腐蝕性，對於管路、閥件的危害是相當的嚴重；同時物理吸附屬於可逆的化學反應，當回收的活性碳做廢棄物或再生處理時，吸附在活性碳上的酸性氣體會也會釋放出來，有危害人員安全的風險；再者，活性碳屬於可燃化學物質，若是過程氣體中，含有類似矽烷(SiH4)或磷化氫(PH3)等易燃氣體，此時會有著火的風險。因為活性碳上的吸附屬於物理吸附，其吸附容量在於活性碳的比表面積的大小，所以其吸附容量有限。雖然活性碳的售價相當的低廉，但是在處理酸性氣體使用上所衍生的問題，確是相當棘手。
另一方面，氣體吸附劑也使用一般金屬化合物，然而存在缺點。例如，鎂、鈉、鉀等氧化物、氫氧化物及碳酸鹽等，每單位體積吸附劑的去除能力小。生石灰的吸附能力雖然較上述氣體吸附劑高一些，然而對於某些氣體的適用性存在疑慮，並且對於含氯氣體，如氯化氫、氯氣等，會產生潮解性顯著的氯化鈣。
因此，極需一種能克服上述困難，以有效處理半導體與光電業過程中產生的酸性氣體的潔淨劑。
圖1為使用本發明潔淨劑的除淨系統；圖2為本發明一種潔淨劑的製備方法的流程圖；圖3為本發明另一種潔淨劑的製備方法的流程圖。
發明內容
本發明提供一種吸附酸性氣體的潔淨劑，其能有效處理半導體與光電產業等業界所產生的廢棄氣體。
本發明的一個方面提供一種吸附酸性氣體的潔淨劑，其包含佔潔淨劑重量50-90wt.％的催化劑(觸媒)，此催化劑包含過渡金屬化合物及氧化錳(II)，其中所述過渡金屬化合物選自含結晶水的氧化鐵(III)、碳酸銅(II)、碳酸錳(II)。
本發明另一方面提供一種潔淨劑的製備方法，此潔淨劑用於吸附酸性氣體，且此潔淨劑包含佔潔淨劑重量50-90wt.％的催化劑，此催化劑為過渡金屬化合物及氧化錳(II)的組合物，其中此過渡金屬化合物選自含結晶水的氧化鐵(III)、碳酸銅(II)、碳酸錳(II)，此製備方法包含a.混合前體(前驅物)、氧化錳(II)及載體，此前體選自含鐵化合物或含銅化合物；以及b.加入鹼性溶液而沉澱出此潔淨劑。
本發明另一方面提供一種潔淨劑的製備方法，此潔淨劑用於吸附酸性氣體，且此潔淨劑包含佔潔淨劑重量50-90wt.％的催化劑，此催化劑包含過渡金屬化合物與氧化錳(II)，此過渡金屬化合物為碳酸錳(II)，此製備方法包含a.混合碳酸錳(II)、氧化錳(II)及載體。
本發明另一方面提供一種吸附酸性氣體的方法，該方法通過使用潔淨劑，將此潔淨劑與酸性氣體接觸，此潔淨劑包含佔潔淨劑重量50-90wt.％的催化劑，此催化劑為過渡金屬化合物及氧化錳(II)的組合物，其中此過渡金屬化合物選自含結晶水的氧化鐵(III)、碳酸銅(II)、碳酸錳(II)。
本發明另一方面提供一種吸附酸性氣體的方法，該方法通過使用潔淨劑，此潔淨劑包含佔潔淨劑重量50-90wt.％的催化劑，此催化劑為過渡金屬化合物及氧化錳(II)的組合物，其中此過渡金屬化合物選自含結晶水的氧化鐵(III)、碳酸銅(II)、碳酸錳(II)，此方法包含a.將此潔淨劑置入乾式洗滌塔中；b.將此酸性氣體通入此乾式洗滌塔中，使此潔淨劑與酸性氣體反應；以及c.檢測此酸性氣體的含量。
具體實施例方式
本發明所述酸性氣體包括在路易斯(Lewis)酸鹼電子對理論中，在氣態容易離解形成含有孤對電子(lone pair)的離子的物質，包括大部分的滷素化合物、氮氧化物及硫氧化物；此外，也包括符合阿侖尼烏斯(Arrhenius)酸鹼理論的酸性氣體，例如氫氟酸(HF)、氫氯酸(HCl)、氫溴酸(HBr)、氟氣(F2)、氯氣(Cl2)、二氯矽烷(DCS)、三氯矽烷(SiHCl3)、四氯矽烷(SiCl4)、四氟矽烷(SiF4)、四氯化鍺(GeCl4)、三氟化硼(BF3)、三氯化硼(BCl3)、三氟化氯(ClF3)、三氯化磷(PCl3)、五氯化磷(PCl5)、二氧化硫(SO2)等。
本發明的潔淨劑包含佔潔淨劑重量50-90wt.％的催化劑，催化劑包含過渡金屬化合物與氧化錳(II)(MnO)，過渡金屬化合物選自含結晶水的氧化鐵(III)、碳酸銅(II)(CuCO3)、碳酸錳(II)(MnCO3)，其中含結晶水的氧化鐵(III)是指非無水(non-anhydrous)的氧化鐵，優選為一水氧化鐵[Fe2O3·H2O]及三水氧化鐵[Fe2O3·3H2O]。
本發明的潔淨劑還包含載體，本領域的技術人員清楚知道此載體主要用於負載催化劑，增加潔淨劑的機械強度。潔淨劑具有一定的機械強度，這是因為當潔淨劑為粉狀物時，會使得酸性氣體無法在潔淨劑與酸性氣體反應的乾式洗滌塔中流通，並造成乾式洗滌塔中壓力增加。若潔淨劑的尺寸過大，則沒有足夠的表面積處理酸性氣體，且造成乾式洗滌塔中間隙過大，酸性氣體來不及處理即通過乾式洗滌塔。
為解決上述問題以有效處理酸性氣體，本發明的潔淨劑可為圓柱狀、球狀、不規則粒狀、錠狀等，優選為直徑2-6mm、長度3-8mm的圓柱顆粒。本發明的載體選自本領域公知的三氧化二鋁(Al2O3)、二氧化矽(SiO2)、矽膠(Silica gel)、三氧化二鉻(Cr2O3)、二氧化鈦(TiO2)、二氧化鋯(ZrO2)、氧化鎂(MgO)、二氧化釷(ThO2)、二氧化鈰(CeO2)、矽鋁化物(silica-alumina)、硅藻土(kieselguhr)、硫酸鈣(CaSO4)、活性碳、氧化鋅(ZnO)等。由於本發明的潔淨劑與酸性氣體反應時會生成水，因此，在此選用的載體優選也具有乾燥劑的效果，其選自氧化鋁、氧化矽、矽膠、氧化鎂、硫酸鈣及包含至少上述之一的組合。
當過渡金屬化合物為碳酸錳(II)時，參見圖2，即催化劑僅包含碳酸錳(II)及氧化錳(II)時，潔淨劑的製備方法是將碳酸錳(II)與氧化錳(II)、上述載體混合(步驟20)，即可獲得潔淨劑(步驟22)。此製備方法優選在室溫下進行反應，載體的比例為10％-50％，而碳酸錳(II)與氧化錳(II)的比例優選為0.5-4。
當過渡金屬化合物選自含結晶水的氧化鐵(III)、碳酸銅(II)時，參見圖3，潔淨劑製備方法包含a.將前體、氧化錳(II)及上述的載體混合(步驟30)；b.加入鹼性溶液，沉澱出潔淨劑(步驟31)。
根據欲形成的過渡金屬化合物選擇前體，因此前體選自含鐵化合物、含銅化合物。含鐵化合物可為氯化鐵(III)、硫酸亞鐵(II)、硫酸鐵(III)、硝酸鐵(III)、溴化鐵(III)、碘化鐵(III)、硝酸亞鐵(II)、硫代硫酸鐵(III)。含銅化合物可為硫酸銅(II)、硝酸銅(II)、亞硝酸銅(II)、氯化銅(II)、溴化銅(II)。上述含鐵化合物、含銅化合物皆可從市場上購買獲得。鹼性溶液包含氫氧化鉀、氨、碳酸鉀、碳酸氫鉀、碳酸鈉或碳酸氫鈉及包含至少上述之一組合的水溶液。
在步驟a中，於室溫下進行反應，載體的比例為10％-50％，而前體與氧化錳(II)的比例優選為0.5-4。
在步驟b中，所加入的鹼性溶液的量與含鐵化合物的比例是3/1，與含銅化合物的比例是1/1，在室溫下進行反應混合後即沉澱出固體，此固體即本發明的潔淨劑(步驟32)。由於反應中會產生鹽類，如氯化鈉(NaCl)、硫酸鈉(Na2SO4)，因此用諸如水的溶劑洗滌潔淨劑以移除鹽類(步驟33)。
不論過渡金屬化合物是碳酸錳(II)還是選自含結晶水的氧化鐵(III)、碳酸銅(II)，儘管通過前述步驟皆可分別獲得本發明的潔淨劑，但是仍需要一些處理步驟，以便用作潔淨劑。包含下列步驟乾燥潔淨劑，並控制潔淨劑的含水量(步驟24、步驟34)；將潔淨劑造粒(步驟26、步驟36)；以及煅燒潔淨劑，以增加潔淨劑的機械強度(步驟28、步驟38)。
乾燥潔淨劑的目的是為對後面的潔淨劑造粒步驟作準備，因為當潔淨劑的含水量過低時，無法用造粒成型機將潔淨劑造出適當顆粒，同時所造出的顆粒會含有大量的粉體；當潔淨劑的含水量過高時，潔淨劑在造粒過程中將附著在造粒成型機中而無法造粒成型。在本發明的實施方案中，將潔淨劑置入烘箱中，依所需要的含水量控制烘箱的溫度及時間，在此時優選將潔淨劑的含水量控制在10-20％。
對潔淨劑造粒是用造粒成型機將潔淨劑製成圓柱狀顆粒。然後煅燒潔淨劑，在此所指的煅燒是通過烘箱將潔淨劑乾燥，以確定完全除去潔淨劑中的水分，並可加強潔淨劑的機械強度。
下述實施例揭示本發明潔淨劑的製備方法的實施方案，但並非用來限制本發明。
實施例1(催化劑為含結晶水的氧化鐵(III)及氧化錳(II)的組合)將406.25g、40％ FeCl3(aq)(1mol)置於2000ml三角瓶中；並加入30g矽膠與20g MnO，並將攪拌機置於其中攪拌。將266.7g、45％NaOH(aq)(3mol)加入前述溶液中攪拌，生成黃棕色的固體。待NaOH水溶液加完後，再攪拌溶液5分鐘。將以上所得的膠體溶液，在加壓式過濾器中過濾，在過濾器上得到固體濾餅；再用2500ml水洗滌乾淨，如此得到約570g潔淨劑。將潔淨劑於100-120℃烘箱中烘烤30-90分鐘，再用造粒成型機造成顆粒。最後放入120-160℃烘箱中，烘烤2-4小時。
實施例2(催化劑為碳酸銅(II)及氧化錳(II)的組合)將714g、40％ CuSO4·7H2O(aq)(1mol)置於2000ml三角瓶中，加入30g矽膠與20g MnO，並將攪拌機置於其中攪拌。將265g、40％Na2CO3(aq)(1mol)加入前述溶液中攪拌，生成黃綠色的固體。攪拌溶液5分鐘。將以上所得的膠體溶液，在加壓式過濾器中過濾，在過濾器上得到固體濾餅；再用2500ml水洗滌乾淨，如此得到約390g潔淨劑。將潔淨劑於100-120℃烘箱中烘烤30-90分鐘，再用造粒成型機造成顆粒。最後放入120-160℃烘箱中，烘烤2-4小時。
實施例3(催化劑為碳酸錳(II)與氧化錳(II)的組合)將400g的MnCO3、50g MnO、50g矽膠置於2000ml三角瓶中，加入1500ml水，並將攪拌機置於其中攪拌。將以上所得的膠體溶液，在加壓式過濾器中過濾，在過濾器上得到紅棕色固體濾餅，約680g潔淨劑。將潔淨劑於100-120℃烘箱中烘烤30-90分鐘，再用造粒成型機造成顆粒。最後放入120-160℃烘箱中，烘烤2-4小時。
實施例4(催化劑為含結晶水的氧化鐵(III)、碳酸錳(II)及氧化錳(II)的組合)將406.25g、40％FeCl3(aq)(1mol)置於2000ml三角瓶中，加入40g矽膠、30g MnO與80g MnCO3，加水1000ml，並將攪拌機置於其中攪拌。加入266.7g、45％NaOH(aq)(3mol)並攪拌，生成咖啡色固體。待NaOH水溶液加完後，再攪拌溶液5分鐘。將以上所得的膠體溶液，在加壓式過濾器中過濾，在過濾器上得到固體濾餅；再用2500ml水洗滌乾淨，如此得到約680g潔淨劑。將潔淨劑於100-120℃烘箱中烘烤30-90分鐘，再用造粒成型機造成顆粒。最後放入120-160℃烘箱中，烘烤2-4小時。
實施例5(催化劑為含結晶水的氧化鐵(III)、碳酸銅(II)、碳酸錳(II)及氧化錳(II)的組合)溶液1.將406.25g、40％FeCl3(aq)(1mol)置於2000ml三角瓶中，加入30g矽膠、20gMnO，並將攪拌機置於其中攪拌。加入266.7g、45％NaOH(aq)(3mol)並攪拌，生成咖啡色固體。待NaOH水溶液滴完後，再攪拌溶液5分鐘。
溶液2.將714g、40％的CuSO4·7H2O(aq)(1mol)置於2000ml三角瓶中，加入30g矽膠、20g MnO，並將攪拌機置於其中攪拌。將265g、40％Na2CO3(aq)(1mol)置於500ml滴定瓶中，將Na2CO3逐滴加入溶液中攪拌，生成水藍色固體。待Na2CO3水溶液滴完後，再攪拌溶液5分鐘。
將溶液1與溶液2加入3000ml三角瓶中混合攪拌，並加80g MnCO3、10g矽膠、10g MnO，並加入500ml水攪拌，即得到膠體溶液，並將之在加壓式過濾器中過濾，在過濾器上得到固體濾餅，再用2500ml水，逐次將濾餅中的NaCl與Na2SO4洗滌乾淨，如此得到本發明的潔淨劑。於100-120℃烘箱中烘烤30-90分鐘，並控制含水量為10-20％。再用造粒成型機造成顆粒，最後在120-160℃烘箱中，烘烤2-4小時。
使用本發明的潔淨劑吸附酸性氣體的方法是在除淨系統中進行的，參見圖1，此除淨系統1具有乾式洗滌塔10、11，氣體鋼瓶12用於提供酸性氣體，氣體鋼瓶14用於提供氮氣，以清潔除淨系統1的管路，並以浮子流量計(Mass flow meter)16控制酸性氣體及氮氣的流量，將本發明的潔淨劑5置於乾式洗滌塔10中，並以傅立葉變換紅外光譜儀(FTIR)18監控反應是否結束。
吸附酸性氣體的流程為首先將潔淨劑5置於乾式洗滌塔10中。打開氣體鋼瓶12，則酸性氣體經由浮子流量計16流至乾式洗滌塔10中，酸性氣體與潔淨劑5反應，並釋放出反應熱；當反應結束時(即有酸性氣體破出)，在乾式洗滌塔10的尾端裝設的傅立葉變換紅外光譜儀18將監測到酸性氣體破出，產生酸性氣體的光譜數據，並且傳輸訊號，此時使用者記載反應所消耗的時間，本領域的技術人員可輕易了解的是，不同的酸性氣體在傅立葉變換紅外光譜儀18中將顯示不同的反應訊號。最後在此乾式洗滌塔10後端接乾式洗滌塔11，處理少量破出的酸性氣體，並將抽風櫃19設置於乾式洗滌塔11之後以確定不會有酸性氣體排放至大氣環境中。
表1列出根據本發明所揭示的製備方法所得的潔淨劑的吸附能力表1
表1所示的性能計算方式如下假設各個實施例的潔淨劑堆積密度分別為x(kg/L)，在乾式洗滌塔中分別裝有y(g)本發明的過渡金屬化合物催化劑，鹽酸氣體流量為z(sccm)，鹽酸破出的時間分別為t(min.)，計算出每升潔淨劑可以處理鹽酸氣體的升數(L/L)(Absorption capacity)，則吸附能力＝xzt/y(L/L)。
不欲為任何理論限定，目前相信本發明的潔淨劑中過渡金屬化合物與氧化錳形成金屬鍵接的金屬團簇(metal cluster)。相較於一般市場上以物理方式吸附酸性氣體，達到處理酸性氣體的目的的活性碳大不相同的是，此金屬團簇與酸性氣體通過多核金屬化學鍵接方式反應。例如，含結晶水的氧化鐵(III)及氧化錳(II)的組合處理酸性氣體的能力約為分別單獨使用含結晶水的氧化鐵(III)及氧化錳(II)的1.7倍；碳酸銅(II)及氧化錳(II)的組合處理酸性氣體的能力約為分別單獨使用碳酸銅(II)及氧化錳(II)的1.2倍；含結晶水的氧化鐵(III)、碳酸銅(II)及氧化錳(II)處理酸性氣體的能力約為分別單獨使用碳酸銅(II)及氧化錳(II)的1.25倍。由此可知本發明的潔淨劑是通過過渡金屬化合物間形成的金屬團簇，來有效地與酸性氣體反應。此外，當過渡金屬化合物與氧化錳(II)的摩爾比在0.5-4之間時，是優選的處理酸性氣體的條件；此時處理酸性氣體，如鹽酸(HCl(g))時，其吸附容量可達每升吸附能力200(L/L)。此外，本發明的潔淨劑能有效吸附高濃度、高流量的酸性氣體，以對鹽酸的吸附能力來說，本發明的潔淨劑於300(sccm)的吸附能力為約183(L/L)，此程度吸附能力可維持至600(sccm)，直至3000(sccm)時吸附能力仍然明顯(約95L/L)，超過本領域公知的吸附酸性氣體的極限。
效果比較將一般市場上用於處理酸性氣體的常規產品與本發明的潔淨劑進行效果比較。此效果實驗使用上述的除淨系統及乾式洗滌塔裝備，參見圖1。關於酸性氣體的來源，在此選擇使用較廉價、且沒有被環保署公告列管的酸性氣體(HCl(g))，並使用氮氣當作清潔管路的氣體。將市場上用於處理酸性氣體的產品或本發明的潔淨劑置於乾式洗滌塔10中，酸性氣體流至乾式洗滌塔10中，與市場上用於處理酸性氣體的產品或本發明的潔淨劑接觸，並以傅立葉變換紅外光譜儀18監控反應是否結束。
根據上述實驗，表2列出了一般市場上用於處理酸性氣體的常規產品與本發明的潔淨劑的一般物性及效果比較。
表2
表2顯示，本發明的潔淨劑對酸性氣體有超強的吸附與處理能力，其處理酸性氣體的吸附能力大約為鋁鎂氫氧化物的2倍，為鹼性活性碳的3-3.5倍，為活性碳的5-6倍。
通過參考上述本發明的不同實施例，本領域的技術人員應知道此處的附圖及詳細說明僅作說明而非限定，且非意欲將本發明限制在所揭露的具體實施方案和實施例中。相反，在不脫離本發明的精神及範疇的情況下，對本發明的技術人員顯而易見的是在權利要求限定的範圍內，可對本發明進行修飾、變化、重新排列、取代、替換、設計選擇及實施例。因此，可預期的是本發明的權利要求包含所有進一步的修飾、變化、重新排列、取代、替換、設計選擇及實施例。
權利要求
1.一種吸附酸性氣體的潔淨劑，所述潔淨劑包含佔潔淨劑重量50-90wt.％的催化劑，所述催化劑包含過渡金屬化合物及氧化錳(II)，其中所述過渡金屬化合物選自含結晶水的氧化鐵(III)、碳酸銅(II)、碳酸錳(II)。
2.如權利要求1的潔淨劑，其中所述過渡金屬化合物與氧化錳(II)的摩爾比在0.5-4之間。
3.如權利要求1的潔淨劑，所述潔淨劑為直徑2-6mm、長度3-8mm的圓柱顆粒。
4.如權利要求1的潔淨劑，還包含載體，所述載體用於負載所述催化劑，增加催化劑的機械強度。
5.如權利要求4的潔淨劑，其中所述載體為乾燥劑，其選自氧化鋁、氧化矽、矽膠、硫酸鈣、氧化鎂及包含至少上述之一的組合。
6.如權利要求1的潔淨劑，使用在除淨系統中。
7.如權利要求1的潔淨劑，使用在乾式洗滌塔中。
8.一種潔淨劑的製備方法，所述潔淨劑用於吸附酸性氣體，其中所述潔淨劑包含佔潔淨劑重量50-90wt.％的催化劑，所述催化劑包含過渡金屬化合物及氧化錳(II)，所述過渡金屬化合物為碳酸錳(II)，其製備方法包含a.混合碳酸錳(II)、氧化錳(II)及載體。
9.如權利要求8的製備方法，還包含a.乾燥所述潔淨劑，並控制潔淨劑的含水量；b.將該潔淨劑造粒；以及c.煅燒該潔淨劑，以增加該潔淨劑的機械強度。
10.如權利要求8的製備方法，其中所述碳酸錳(II)與氧化錳(II)的摩爾比在0.5-4之間。
11.如權利要求8的製備方法，其中所述載體用於負載該催化劑，增加該催化劑的機械強度。
12.如權利要求11的製備方法，其中所述載體為乾燥劑，其選自氧化鋁、氧化矽、矽膠、硫酸鈣、氧化鎂及包含至少上述之一的組合。
13.如權利要求8的製備方法，使用在除淨系統中。
14.如權利要求8的製備方法，使用在乾式洗滌塔中。
15.一種潔淨劑的製備方法，所述潔淨劑用於吸附酸性氣體，其中所述潔淨劑包含佔潔淨劑重量50-90wt.％的催化劑，所述催化劑包含過渡金屬化合物及氧化錳(II)，其中所述過渡金屬化合物選自含結晶水的氧化鐵(III)、碳酸銅(II)，該製備方法包含a.混合前體、氧化錳(II)及載體，其中所述前體包含含鐵化合物或含銅化合物；b.加入鹼性溶液而沉澱出該潔淨劑。
16.如權利要求15的製備方法，還包含c.洗滌該潔淨劑；d.乾燥該潔淨劑，並控制該潔淨劑的含水量；e.將該潔淨劑造粒；以及f.煅燒該潔淨劑，以增加該潔淨劑的機械強度。
17.如權利要求15的製備方法，其中所述過渡金屬化合物與氧化錳(II)之摩爾比在0.5-4之間。
18.如權利要求15的製備方法，其中所述含鐵化合物選自氯化鐵(III)、硫酸亞鐵(II)、硫酸鐵(III)、硝酸鐵(III)、溴化鐵(III)、碘化鐵(III)、硝酸亞鐵(II)、硫代硫酸鐵(III)，及包含至少上述之一的組合。
19.如權利要求15的製備方法，其中所述含銅化合物選自硫酸銅(II)、硝酸銅(II)、亞硝酸銅(II)、氯化銅(II)、溴化銅(II)，及包含至少上述之一的組合。
20.如權利要求15的製備方法，其中所述鹼性溶液包含氫氧化鉀、氨、碳酸鉀、碳酸氫鉀、碳酸鈉或碳酸氫鈉及包含至少上述之一的組合地水溶液。
21.如權利要求15的製備方法，其中所述載體用於負載該催化劑，增加該催化劑的機械強度。
22.如權利要求21的製備方法，其中所述載體為乾燥劑，選自氧化鋁、氧化矽、矽膠、硫酸鈣、氧化鎂及包含至少上述之一的組合。
23.如權利要求15的製備方法，使用在除淨系統中。
24.如權利要求15的製備方法，使用在乾式洗滌塔中。
25.一種吸附酸性氣體的方法，其通過將所述酸性氣體與潔淨劑接觸，所述潔淨劑包含佔該潔淨劑重量50-90wt.％的催化劑，所述催化劑包含過渡金屬化合物及氧化錳(II)，其中所述過渡金屬化合物選自含結晶水的氧化鐵(III)、碳酸銅(II)、碳酸錳(II)。
26.一種吸附酸性氣體的方法，其通過使用潔淨劑，所述潔淨劑包含佔該潔淨劑重量50-90wt.％的催化劑，所述催化劑包含過渡金屬化合物及氧化錳(II)，其中所述過渡金屬化合物選自含結晶水的氧化鐵(III)、碳酸銅(II)、碳酸錳(II)，該方法包含a.將該潔淨劑置入乾式洗滌塔中；b.將該酸性氣體通入該乾式洗滌塔中，使該潔淨劑與該酸性氣體反應；以及c.檢測該酸性氣體的含量。
27.如權利要求26的方法，其中通過氣體檢測器檢測該酸性氣體的含量。
28.如權利要求26的方法，其中所述過渡金屬化合物與氧化錳(II)的摩爾比在0.5-4之間。
29.如權利要求26的方法，其中所述潔淨劑還包含載體，所述載體用於負載該催化劑，增加該催化劑的機械強度。
30.如權利要求29的方法，其中所述載體為乾燥劑，選自氧化鋁、氧化矽、矽膠、硫酸鈣、氧化鎂及包含至少上述之一的組合。
全文摘要
本發明揭露一種吸附酸性氣體的潔淨劑及其製備和使用方法。所述潔淨劑包含佔潔淨劑重量50－90wt.％的催化劑，所述催化劑包含過渡金屬化合物與氧化錳(II)，其中過渡金屬化合物選自含結晶水的氧化鐵(III)、碳酸銅(II)、碳酸錳(II)。
文檔編號B01J23/889GK1739849SQ20041005765
公開日2006年3月1日 申請日期2004年8月23日 優先權日2004年8月23日
發明者蔣舜人, 高孟偉 申請人:愛迪亞科技股份有限公司