彈性波裝置的製作方法
2024-04-15 21:20:05
1.本發明涉及具有傾斜型idt電極的彈性波裝置。
背景技術：
2.在下述的專利文獻1中，公開了一種具有傾斜型idt電極並且具有抑制橫模的構造的彈性波裝置。在該彈性波裝置中，為了在交叉區域內設置低聲速區域，電極指的邊緣部分成為粗幅部，比中央區域的電極指的寬度寬。
3.在先技術文獻
4.專利文獻
5.專利文獻1：國際公開第2015/098756號
技術實現要素：
6.發明要解決的問題
7.在專利文獻1所記載的彈性波裝置中，由於在低聲速區域設置有粗幅部，因此能夠抑制橫模。但是，由於具有這樣的電極構造，有時產生其他的紋波。尤其是在彈性波諧振器的情況下，有時在阻帶上端附近出現紋波。
8.本發明的目的在於，提供一種能夠抑制阻帶上端附近的紋波的彈性波裝置。
9.用於解決問題的手段
10.本發明的彈性波裝置具備：壓電性基板；以及idt電極，其設置在所述壓電性基板上，所述idt電極具有：第一匯流條；第二匯流條，其相對於所述第一匯流條隔開設置；多根第一電極指，其一端與所述第一匯流條連接；多根第二電極指，其一端與所述第二匯流條連接；多根第一虛設電極，其與所述第二匯流條連接，設置為前端彼此隔著第二間隙與所述第一電極指對置；以及多根第二虛設電極，其與所述第一匯流條連接，設置為前端彼此隔著第一間隙與所述第二電極指對置，連結多根所述第二電極指的前端的第一虛擬線相對於彈性波傳播方向傾斜，該彈性波傳播方向是與所述第一電極指和第二電極指延伸的方向正交的方向，與任意的第一電極指相鄰的一對第二電極指中的一個第二電極指的前端與該第一電極指的基端之間的距離比另一個第二電極指的前端與該第一電極指的基端之間的距離短，在將第一虛擬線中朝向該距離較長的方向的方向設為傾斜方向時，設置有凸部和凹部中的至少一方，所述凸部在所述第二電極指的前端的所述傾斜方向側的側邊、所述第二虛設電極的前端的所述傾斜方向的相反方向側的側邊、位於從所述第二虛設電極的前端起所述傾斜方向的延長上的所述第一電極指的所述傾斜方向的相反方向側的側邊以及位於從所述第二電極指的前端起所述傾斜方向的延長上的所述第一電極指的所述傾斜方向側的側邊中的至少一個側邊，朝向所述第一電極指側或第二電極指側突出，所述凹部設置在所述第二電極指的前端的所述傾斜方向的相反方向側的側邊、所述第二虛設電極的前端的所述傾斜方向側的側邊、位於從所述第二虛設電極的前端起所述傾斜方向的延長上的所述第一電極指的所述傾斜方向側的側邊以及位於從所述第二電極指的前端起所述傾斜方向的延長
上的所述第一電極指的所述傾斜方向的相反方向側的側邊中的至少一個側邊。
11.在本發明的彈性波裝置的另一廣泛方面中，彈性波裝置具備：壓電性基板；以及idt電極，其設置在所述壓電性基板上，所述idt電極具有：第一匯流條；第二匯流條，其相對於所述第一匯流條隔開設置；多根第一電極指，其一端與所述第一匯流條連接；多根第二電極指，其一端與所述第二匯流條連接；多根第一虛設電極，其與所述第二匯流條連接，設置為前端彼此隔著第二間隙與所述第一電極指對置；以及多根第二虛設電極，其與所述第一匯流條連接，設置為前端彼此隔著第一間隙與所述第二電極指對置，連結多根所述第二電極指的前端的第一虛擬線相對於彈性波傳播方向傾斜，該彈性波傳播方向是與所述第一電極指和第二電極指延伸的方向正交的方向，與任意的所述第一電極指相鄰的一對所述第二電極指中的一個所述第二電極指的前端與該第一電極指的基端之間的距離比另一個所述第二電極指的前端與該第一電極指的基端之間的距離短，將所述第一電極指的側邊中的所述距離較短的一方的所述第二電極指側的側邊以及與該第一電極指對置的所述第一虛設電極的側邊中的上述距離較短的一方的所述第二電極指側的側邊設為第一側邊，將與該第一側邊相反的一側的側邊設為第二側邊，與任意的第二電極指相鄰的一對所述第一電極指中的一個所述第一電極指的前端與該第二電極指的基端之間的距離比另一個所述第一電極指的前端與該第二電極指的基端之間的距離短，將所述第二電極指的側邊中的上述距離較短的一方的所述第一電極指側的側邊以及與該第二電極指對置的第二虛設電極的側邊中的上述距離較短的一方的所述第一電極指側的側邊設為第二側邊，將與該第二側邊相反的一側的側邊設為第一側邊，將連結多個所述第一間隙的各中心彼此的線設為第二虛擬線，將所述第二虛設電極的所述第一間隙側部分的所述第一側邊側的區域設為第一區域，將所述第二虛設電極的所述第一間隙側部分的所述第二側邊側的區域設為第二區域，將所述第二電極指的所述第一間隙側的部分的所述第一側邊側的區域設為第五區域，將所述第二電極指的所述第一間隙側的部分的第二側邊側的區域設為第六區域，在相鄰的所述第一電極指中，在比所述第二虛擬線靠所述第一匯流條側的部分，將所述第一側邊側的區域設為第三區域，將所述第二側邊側的區域設為第四區域，在所述第一電極指中，將比所述第二虛擬線靠所述第二匯流條側的部分的所述第一側邊側的區域設為第七區域，將比所述第二虛擬線靠所述第二匯流條側的部分的所述第二側邊側的區域設為第八區域，在所述第一區域、所述第三區域、所述第六區域及所述第八區域中，各區域的所述第一側邊或所述第二側邊與所述第一虛擬線所成的角度為銳角，在所述第二區域、所述第四區域、所述第五區域及所述第七區域中，位於各區域的所述第一側邊或所述第二側邊與所述第一虛擬線所成的角度為鈍角，設置有凸部和凹部中的至少一方，所述凸部設置在所述第一區域、所述第三區域、所述第六區域及所述第八區域中的至少一個區域，所述凹部設置在所述第二區域、所述第四區域、所述第五區域及所述第七區域中的至少一個區域。
12.發明效果
13.根據本發明，能夠提供能夠抑制阻帶上端附近的紋波的彈性波裝置。
附圖說明
14.圖1的(a)是用於說明本發明的第一實施方式的彈性波裝置的電極構造的簡圖的俯視圖，圖1的(b)是其主要部分的放大圖。
15.圖2是示出用於說明第一區域～第八區域的idt電極的主要部分的簡圖的俯視圖。
16.圖3是用於說明本發明的第一實施方式的變形例的局部剖切放大俯視圖。
17.圖4是本發明的第一實施方式的彈性波裝置的正面剖視圖。
18.圖5是示出作為以往的具有粗幅部的彈性波裝置的彈性波諧振器的阻抗-頻率特性的圖。
19.圖6是將圖5的主要部分放大示出的圖。
20.圖7是用於說明以往的彈性波裝置中的位移分布的示意性俯視圖。
21.圖8是用於說明以往的彈性波裝置中的位移分布與電極指的形狀之間的關係的放大俯視圖。
22.圖9是用於說明本發明的第一實施方式的彈性波裝置的主要部分的示意性俯視圖。
23.圖10是示出實施例1和比較例1的回波損耗特性的圖。
24.圖11是用於說明本發明的第二實施方式的彈性波裝置的正面剖視圖。
25.圖12是用於說明本發明的第三實施方式的彈性波裝置的正面剖視圖。
具體實施方式
26.以下，參照附圖對本發明的具體實施方式進行說明，由此使本發明變得清楚。
27.需要說明的是，本說明書所記載的各實施方式是例示性的內容，預先指出在不同的實施方式之間能夠進行結構的部分置換或組合。
28.圖1的(a)是示出本發明的第一實施方式的彈性波裝置的電極構造的簡圖的俯視圖，圖1的(b)是其主要部分的放大圖。另外，圖4是第一實施方式的彈性波裝置的正面剖視圖。
29.如圖4所示，彈性波裝置1具有壓電性基板2。在壓電性基板2上設置有idt電極7及反射器8、9。由此，構成單埠型彈性波諧振器。
30.壓電性基板2具有依次層疊有支承基板3、高聲速材料層4、低聲速材料層5及壓電膜6的構造。支承基板3包括si、礬土等適當的半導體或電介質。
31.壓電膜6包括litao3等壓電單晶。高聲速材料層4包括高聲速材料，在該高聲速材料傳播的體波的聲速比在壓電膜6傳播的彈性波的聲速高。作為這樣的高聲速材料，能夠使用氧化鋁、碳化矽、氮化矽、氮氧化矽、矽、藍寶石、鉭酸鋰、鈮酸鋰、石英、礬土、氧化鋯、堇青石、莫來石、塊滑石、鎂橄欖石、氧化鎂、dlc(類金剛石碳)膜或金剛石、以上述材料為主成分的介質、以上述材料的混合物為主成分的介質等各種材料。
32.低聲速材料層5包括低聲速材料，在該低聲速材料傳播的體波的聲速比在壓電膜6傳播的體波的聲速低。作為這樣的低聲速材料，能夠使用氧化矽、玻璃、氮氧化矽、氧化鉭、以及向氧化矽添加了氟、碳、硼、氫或矽烷醇基團而得到的化合物、以上述材料為主成分的介質等各種材料。
33.由於壓電性基板2如上述那樣構成，因此，能夠將由壓電膜6激勵的彈性波有效地封閉在壓電膜6內。需要說明的是，支承基板3也可以是由與高聲速材料層4同樣的材料構成的高聲速支承基板。在該情況下，壓電性基板2也可以不具有高聲速材料層4。即，壓電性基板2的層結構也可以是依次層疊有高聲速支承基板、低聲速材料層及壓電膜的結構。
34.idt電極7及反射器8、9包括適當的金屬或合金。另外，也可以由多個金屬膜的層疊體構成idt電極7及反射器8、9。
35.如圖1的(a)、圖1的(b)所示，idt電極7具有所謂的傾斜型的構造。idt電極7具有第一匯流條11和第二匯流條12。第一匯流條11和第二匯流條12在圖1中隨著從附圖上左側朝向右側而傾斜為相較於水平方向朝向下方。第一匯流條11與第二匯流條12平行。
36.在第一匯流條11連接有多根第一電極指13。在第二匯流條12連接有多根第二電極指14。多根第一電極指13和多根第二電極指14設置為相互交替插入。另一方面，在第一匯流條11連接有多根第二虛設電極16。在第二匯流條12連接有多根第一虛設電極15。第二虛設電極16與第二電極指14的前端彼此隔著第一間隙g1對置。同樣地，第一電極指13與第一虛設電極15的前端彼此隔著第二間隙g2對置。
37.如圖2所示，彈性波傳播方向d是與第一電極指13、第二電極指14延伸的方向正交的方向。第一虛擬線a相對於彈性波傳播方向d傾斜。第一虛擬線a是將多根第二電極指14的前端彼此連結而成的虛擬直線。需要說明的是，將連結多個第一間隙g1的中心而成的虛擬直線設為第二虛擬線b。另外，在第二間隙g2側，連結多根第一電極指13的前端而成的虛擬線是第三虛擬線a1。連結多個第二間隙g2的中心而成的虛擬線成為第四虛擬線b1。
38.上述第一虛擬線a及第三虛擬線a1相對於彈性波傳播方向d傾斜。
39.如圖1的(a)所示，在沿著彈性波傳播方向d觀察時，第一電極指13與第二電極指14重合的區域是交叉區域k。交叉區域k具有中央區域c、以及設置於中央區域c的第一電極指13和第二電極指14的延伸方向外側的第一低聲速區域l1和第二低聲速區域l2。這裡，在第一低聲速區域l1和第二低聲速區域l2設置有後述的凸部17，由此，實現了低聲速化。
40.需要說明的是，在交叉區域k中，也可以在第一低聲速區域l1和第二低聲速區域l2的第一電極指13和第二電極指14的延伸方向外側進一步設置其他區域。
41.在彈性波裝置1中，在上述第一低聲速區域l1和第二低聲速區域l2的外側進一步設置高聲速區域，由此，抑制了由橫模產生的紋波。這樣的抑制橫模的構造與上述的專利文獻1所記載的彈性波裝置的情況是同樣的。
42.如圖1的(a)所示，反射器8、9具有通過匯流條將多根電極指的兩端短路的構造。在反射器8、9中，兩側的匯流條也與第一匯流條11和第二匯流條12同樣地傾斜。
43.上述那樣的傾斜型的idt電極在上述的專利文獻1中也被示出。而且，在專利文獻1所記載的彈性波裝置中，為了抑制橫模，在第一電極指和第二電極指的前端設置有粗幅部。然而，本技術發明人發現，通過設置這樣的粗幅部，在阻帶上端附近產生紋波。
44.在彈性波裝置1中，能夠抑制上述阻帶上端附近的紋波。這是因為，在第一電極指13、第二電極指14、第一虛設電極15及第二虛設電極16設置有凸部17。更加詳細地對此進行說明。
45.如圖1的(b)所示，第一電極指13和第二電極指14分別具有第一側邊13a、14a及第二側邊13b、14b。第一虛設電極15和第二虛設電極16也具有第一側邊15a、16a及第二側邊15b、16b。
46.將第一匯流條11相較於圖2上的水平方向朝下方傾斜的方向設為傾斜方向。這樣，idt電極7具有傾斜型的構造。因此，與任意的第一電極指13相鄰的第二電極指14中的一個第二電極指14的前端與該第一電極指13的基端之間的距離比另一個第二電極指14的前端
與該基端之間的距離短。在本實施方式中，第一電極指13的側邊中的上述距離較短的一方的第二電極指14側的側邊是第一側邊13a。與該第一電極指13對置的第一虛設電極15的側邊中的上述距離較短的一方的第二電極指14側的側邊是第一側邊15a。與第一側邊13a、15a相反的一側的側邊是第二側邊13b、15b。同樣地，與任意的第二電極指14相鄰的第一電極指13中的一個第一電極指13的前端與該第二電極指14的基端之間的距離比另一個第一電極指13的前端與該基端之間的距離短。在本實施方式中，第二電極指14的側邊中的上述距離較短的一方的第一電極指13側的側邊是第二側邊14b。與該第二電極指14對置的第二虛設電極16的側邊中的上述距離較短的一方的第一電極指13側的側邊是第二側邊16b。與第二側邊14b、16b相反的一側的側邊是第一側邊14a、16a。
47.如圖2所示，將第二虛設電極16的第一間隙g1側部分的第一側邊16a側的區域設為第一區域r1，將第二側邊16b側的區域設為第二區域r2。將面臨第一間隙g1的第二電極指14的第一側邊14a側的區域設為第五區域r5，將第二側邊14b側的區域設為第六區域r6。在與第二虛設電極16在上述傾斜方向上相鄰的第一電極指13中的比第二虛擬線b靠第一匯流條11側的部分，將第一側邊13a側的區域設為第三區域r3，將第二側邊13b側的區域設為第四區域r4，在第一電極指13中，將比第二虛擬線b靠第二匯流條12側的部分的第一側邊13a側的區域設為第七區域r7，將第二側邊13b側的區域設為第八區域r8。
48.在上述第一區域r1及上述第三區域r3中，位於各區域的第一側邊16a、13a與上述第一虛擬線a所成的角度f2為銳角。同樣地，在第六區域r6及第八區域r8中，位於各區域的第二側邊14b、13b與第一虛擬線a所成的角度f2為銳角。
49.另一方面，在第二區域r2及第四區域r4中，第二側邊16b、13b與第一虛擬線a所成的角度f1為鈍角。同樣地，在第五區域r5及第七區域r7中，第一側邊14a、13a與第一虛擬線a所成的角度f1也為鈍角。
50.這裡，上述第一區域ra～第八區域r8的區域中的第一側邊或第二側邊與第一虛擬線a所成的角度分別是指位於上述第一區域r1～第八區域r8內的部分處的交叉角。此外，各區域中的上述角度是指位於各區域的第一側邊或第二側邊部分與第一虛擬線a的該區域側的交叉角。
51.在本發明中，設置有在第一區域r1、第三區域r3、第六區域r6及第八區域r8中的至少一個區域中設置的至少一個凸部、以及在第二區域r2、第四區域r4、第五區域r5及第七區域r7中的至少一個區域中設置的至少一個凹部中的至少一方。換言之，設置有凸部和凹部中的至少一方，該凸部在第二電極指的前端的傾斜方向側的側邊、第二虛設電極的前端的傾斜方向的相反方向側的側邊、位於從第二虛設電極的前端起傾斜方向的延長上的第一電極指的傾斜方向的相反方向側的側邊、以及位於從第二電極指的前端起傾斜方向的延長上的第一電極指的傾斜方向側的側邊中的至少一個側邊朝向第一電極指側或第二電極指側突出，該凹部設置在第二電極指的前端的傾斜方向的相反方向側的側邊、第二虛設電極的前端的傾斜方向側的側邊、位於從第二虛設電極的前端起傾斜方向的延長上的第一電極指的傾斜方向側的側邊、以及位於從第二電極指的前端起傾斜方向的延長上的第一電極指的傾斜方向的相反方向側的側邊中的至少一個側邊。由此，能夠抑制上述阻帶上端附近的紋波。
52.在本實施方式中，作為上述凹部或凸部，如圖1的(a)及圖1的(b)所示，設置有凸部
17。更詳細而言，在第二虛設電極16的第一側邊16a，在第一區域r1設置有向與第一電極指13相反的一側突出的凸部17。即，在第一區域r1設置有凸部17。同樣地，在第六區域r6也設置有凸部17。
53.在以往的彈性波裝置中，粗幅部設置在電極指的前端。因此，在阻帶上端附近出現了紋波。圖5是示出以往的彈性波裝置中的彈性波諧振器的阻抗-頻率特性的圖，圖6是將其一部分放大示出的圖。
54.由圖5可知，在比反諧振頻率高的5780mhz～5920mhz附近出現了較大的紋波。關於該紋波，本技術發明人認為是由於上述粗幅部相對於電極指的中心對稱地設置在電極指的前端而產生的。於是，在本技術發明中，如上所述，在上述第一區域r1～第八區域r8設置有凸部及/或凹部，由此，實現了該紋波的抑制。以下更加詳細地對此進行說明。
55.在以往的彈性波裝置中，通過將粗幅部設置於電極指的前端而構成了低聲速區域。參照圖7對該情況下的位移分布進行說明。圖7是將以往的彈性波裝置100的電極構造的一部分放大示出的示意性俯視圖。這裡，在第二電極指102的前端設置有粗幅部102a。另外，在第二虛設電極104的前端也設置有粗幅部104a。
56.粗幅部102a與粗幅部104a隔著第一間隙g1對置。在該情況下，在與第一匯流條連接的第一電極指101成為熱側的情況下，由於idt電極具有傾斜型構造，因此，+的電位側的位移較大的區域成為標註陰影線而示出的區域h2。另一方面，-的電位側的位移較大的區域成為標註陰影線而示出的區域h1、h3。
57.由圖7可知，由於idt電極具有傾斜型構造，因此，位移較大的部分相對於第一電極指101和第二電極指102的延伸方向傾斜。即，如圖8進一步放大所示，以簡圖示出的區域h2相對於第二電極指102及第二虛設電極104的延伸方向傾斜。
58.當上述粗幅部102a、104a相對於通過第二電極指102或第二虛設電極104的長度方向的中心軸對稱地設置時，認為由於與上述區域h1～h3的傾斜角度的偏移而出現上述那樣的紋波。
59.與此相對，如圖9所示，在本實施方式中，例如與上述區域h1～h3的傾斜配合地在第一區域r1及第六區域r6設置有凸部17。因此，能夠抑制上述阻帶上端附近的紋波。基於具體的實驗例對此進行說明。
60.基於上述以往的彈性波裝置而構成比較例1的彈性波裝置，與此相對，製作出除了代替粗幅部設置有上述凸部17之外與比較例1同樣地構成的實施例1的彈性波裝置。實施例1的彈性波裝置的設計參數如以下所述。
61.壓電性基板的層結構、各層的材料、各層的厚度：壓電膜/低聲速材料層/高聲速支承基板，litao3/sio2/si，0.350μm/0.450μm/250μm。
62.idt電極7及反射器8、9的材料：al。厚度＝60nm。
63.由idt電極7的電極指間距決定的波長λ＝0.7μm。
64.電極指的對數：根據邊界條件將一對模型設為無限周期。
65.第一虛擬線a與彈性波傳播方向d所成的角度＝5
°
。
66.第一間隙g1和第二間隙g2的電極指的延伸方向的尺寸＝0.28μm。
67.從凸部17的第一側邊或第二側邊起算的突出量＝0.07μm。
68.凸部17的電極指的延伸方向的尺寸＝0.2μm。
69.圖10示出上述比較例1及實施例1的彈性波裝置的回波損耗特性。需要說明的是，在圖10中，實線示出實施例1的結果，虛線示出比較例1的結果。
70.由圖10可知，在比較例1中，在比反諧振頻率高的5780mhz～5900mhz的位置出現了多個大紋波。這是阻帶上端附近的紋波。與此相對，根據實施例1，能夠有效地抑制這樣的紋波。因此，根據實施例1，通過設置上述凸部17且第二電極指14及第二虛設電極16的前端的粗幅部構成為不具有對稱性，能夠有效地抑制上述阻帶上端附近的紋波。
71.需要說明的是，由圖9所示的區域h1～h3可知，期望代替設置凸部17，在第二區域r2、第五區域r5、第四區域r4及第七區域r7中反過來設置凹部。因此，如圖3所示的變形例那樣，期望在第二電極指14的前端側的第一側邊14a側設置凹部17a，在第二虛設電極16的第二側邊16b側也進一步設置凹部17a。需要說明的是，在第一實施方式中，包含凸部17的電極指的前端的形狀是矩形狀。另一方面，如本變形例那樣，包含凸部17的電極指的前端的形狀也可以是平行四邊形狀。
72.不過，在本發明中，無需在第一區域r1～第八區域r8的全部設置凸部17或凹部17a。如上所述，也可以在期望設置凸部的區域的至少一個部位設置凸部，也可以在期望設置凹部17a的區域的至少一個部位設置凹部。另外，在第一區域r1～第八區域r8中的至少一個區域設置凸部17或凹部17a即可。
73.此外，針對上述第一間隙g1側，示出了第一區域r1～第八區域r8，但在第二間隙g2側也同樣地規定第一區域r1～第八區域r8並設置凸部17或凹部17a即可。即，如圖2所示，將連結第二間隙g2的中心彼此的第四虛擬線b1以及連結多根第一電極指13的前端彼此的第三虛擬線a1作為基準，規定第一區域r1～第八區域r8。優選在這些第一區域r1～第八區域r8中設置上述的凸部17或凹部17a中的至少一方。換言之，優選的是，設置有凹部和凸部中的至少一方，該凹部設置在第一電極指的前端的傾斜方向側的側邊、第一虛設電極的前端的與傾斜方向為相反方向側的側邊、位於從第一虛設電極的前端起與傾斜方向為相反方向的延長上的前二電極指的與傾斜方向為相反方向側的側邊、以及位於從第一電極指的前端起與傾斜方向為相反方向的延長上的第二電極指的傾斜方向側的側邊中的至少一個側邊，該凸部在第一電極指的前端的與傾斜方向為相反方向側的側邊、第一虛設電極的前端的傾斜方向側的側邊、位於從第一虛設電極的前端起與傾斜方向為相反方向的延長上的第二電極指的傾斜方向側的側邊、以及位於從第一電極指的前端起與傾斜方向為相反方向的延長上的第二電極指的與傾斜方向為相反方向側的側邊中的至少一個側邊朝向第一電極指側或第二電極指側突出。
74.需要說明的是，在第二間隙g2側，在第一區域r1、第三區域r3、第六區域r6及第八區域r8，第一側邊13a、14a或第二側邊14b、15b與第三虛擬線a1所成的角度成為銳角，在第二區域r2、第四區域r4、第五區域r5及第七區域r7，第二側邊13b、14b或第一側邊14a、15a與第三虛擬線a1所成的角度成為鈍角。因此，在第一區域r1、第三區域r3、第六區域r6及第八區域r8中的至少一個區域設置凸部，並且在第二區域r2、第四區域r4、第五區域r5及第七區域r7中的至少一個區域設置凹部即可。
75.此外，優選的是，如圖3所示的變形例那樣，在彈性波傳播方向上對置的第二區域r2和第三區域r3中，在第二區域r2設置有凹部17a的情況下，優選在第三區域r3設置有凸部17。由此，能夠增大第二虛設電極16與第一電極指13之間的沿著彈性波傳播方向的距離。由
此，能夠提高浪湧耐受性。因此，優選在第二區域r2及第三區域r3對置的部分以及第六區域r6及第七區域r7對置的部分中的至少一方設置有凹部及凸部。更具體而言，idt電極優選具有在第二區域r2設置有凹部且在第三區域r3設置有凸部的結構、以及在第六區域r6設置有凹部且在第七區域r7設置有凸部的結構中的至少一方。
76.圖11是用於說明本發明的第二實施方式的彈性波裝置的正面剖視圖。在彈性波裝置31中，高聲速材料層4a兼作支承基板。即，高聲速材料層4a是包括高聲速材料的高聲速支承基板。在該情況下，能夠省略圖4所示的支承基板3。也可以使用這樣的壓電性基板2a。
77.此外，在圖4或圖11中，也可以省略低聲速材料層5。
78.另外，圖12是用於說明本發明的第三實施方式的彈性波裝置的正面剖視圖。在彈性波裝置41中，壓電性基板2是包括linbo3等這樣的壓電單晶的單板的壓電基板。在本發明中，也可以使用這樣的單板的壓電基板來構成壓電性基板2。
79.附圖標記說明
[0080]1…
彈性波裝置；
[0081]
2、2a
…
壓電性基板；
[0082]3…
支承基板；
[0083]
4、4a
…
高聲速材料層；
[0084]5…
低聲速材料層；
[0085]6…
壓電膜；
[0086]7…
idt電極；
[0087]
8、9
…
反射器；
[0088]
11、12
…
第一匯流條、第二匯流條；
[0089]
13
…
第一電極指；
[0090]
13a、13b
…
第一側邊、第二側邊；
[0091]
14
…
第二電極指；
[0092]
14a、14b
…
第一側邊、第二側邊；
[0093]
15
…
第一虛設電極；
[0094]
15a、15b
…
第一側邊、第二側邊；
[0095]
16
…
第二虛設電極；
[0096]
16a、16b
…
第一側邊、第二側邊；
[0097]
17
…
凸部；
[0098]
17a
…
凹部；
[0099]
31
…
彈性波裝置；
[0100]
41
…
彈性波裝置；
[0101]
100
…
彈性波裝置；
[0102]
101、102
…
第一電極指、第二電極指；
[0103]
102a
…
粗幅部；
[0104]
104
…
第二虛設電極；
[0105]
104a
…
粗幅部。