刮條和顯影裝置的製作方法

2023-12-04 23:00:21 1

本發明涉及液晶面板製造技術領域，尤其涉及一種刮條和顯影裝置，該顯影裝置使用該刮條對顯影裝置中的藥刀口進行清潔。

背景技術：

在液晶面板的製造中，對基板完成曝光後，需要對曝光後的無用光刻膠進行顯影液衝洗，以顯示出需要的圖形，這一過程稱為顯影。在現有的顯影裝置中，在顯影裝置上安裝有藥刀，藥刀均勻地向基板噴灑顯影液，以去除無用的光刻膠，進而完成顯影過程。

圖1a為現有技術中使用的藥刀10的截面圖，在藥刀的下部具有第三斜面11和第四斜面12，在第三斜面11和第四斜面12的交匯處設置有條狀狹縫13，藥刀通過條狀狹縫向基板上噴灑顯影液以完成顯影過程。圖1b為圖1a中藥刀的仰視圖，在仰視圖中可以看出，條狀狹縫13沿著藥刀長度延伸並穿過藥刀的兩個端面，參看圖1b。在實際生產中，為節約成本和環保考慮，顯影液要循環使用，隨著顯影液的藥液劣化，藥刀在噴灑顯影液過程中，可能會出現藥刀口被堵塞的風險，藥刀口被堵塞後，噴灑在基板上的顯影液不再均勻，進而出現顯影缺陷，影響了產品的品質。

技術實現要素：

為了避免顯影裝置中的藥刀的條狀狹縫被堵塞產生顯影缺陷，本發明提出了一種刮條和顯影裝置，本發明提出的顯影裝置使用本發明的刮條對藥刀的條狀狹縫進行清潔，防止條狀狹縫被堵塞。

本發明提出了一種顯影裝置，包括用於噴灑顯影液的藥刀，所述藥刀通過條狀狹縫向外噴灑顯影液，其特徵在於，所述顯影裝置還包括刮條，所述刮條設置在所述藥刀的下方，其中，所述刮條包括刮片，所述刮片伸入到所述條狀狹縫中，所述刮條沿所述條狀狹縫的延伸方向移動，對所述藥刀進行清潔。

這種顯影裝置，由於增加了對藥刀條狀狹縫進行清潔的刮條，從而避免了藥刀堵塞，保證了藥刀向基板上噴出的顯影液均勻性，提高了顯影過程中產品的品質。

作為對本發明的顯影裝置的進一步改進，所述刮條沿所述條狀狹縫的延伸方向勻速移動，對所述藥刀進行清潔。當刮條作勻速清潔時，能夠保證清潔的效果，同時保證了刮條沿條狀狹縫運動時，刮條和藥刀相互之間作用力的均一性，提高了刮條的使用壽命。進一步，當所述刮片伸入至所述條狀狹縫中的距離為2mm，保證了刮片的清潔深度，可以獲得更好的清潔效果。同時，當所述刮片伸入至所述條狀狹縫中的部分在沿所述條狀狹縫的寬度方向上的最大寬度比所述條狀狹縫的寬度小1mm時，既避免了刮條與藥刀摩擦對刮條的損害，又保證了刮條在條狀狹縫中順暢移動，保證了清潔的速度。

本發明同時提出了一種刮條，用於安裝在上述所述的顯影裝置中，所述顯影裝置包括用於噴灑顯影液的藥刀，所述藥刀通過條狀狹縫向外噴灑顯影液，其特徵在於，所述刮條包括刮片和支持部，所述支持部設置在所述刮片的下部，所述刮片伸入到所述條狀狹縫中，對所述藥刀進行清潔。

這樣設置的刮條，使用刮條的刮片對藥刀進行清潔，使用支持部來固定刮條，這樣分開設置的刮條，可以使得刮片和支持部在工作時互不影響，保證了刮條的使用壽命。

作為對刮條結構的進一步改進，所述支持部具有第一斜面和第二斜面，所述第一斜面和所述第二斜面之間形成第一角度，所述刮片設置在所述支持部的第一角度處，所述刮片自第一斜面和第二斜面朝向背離所述支持部方向延伸，所述刮片在背離所述支持部的一端呈尖角。

當第一斜面和第二斜面形成夾角時，能夠使得刮條靠近藥刀，當刮片頂端為尖角時，更有利於刮片伸入到條狀狹縫中，以便對藥刀進行清潔。

當所述第一角度為180度，有利於刮條的生產製作。

作為對支持部結構的進一步改進，所述藥刀包括第三斜面和第四斜面，所述第三斜面和所述第四斜面之間形成第二角度，所述第一角度與所述第二角度相等。這樣，當刮條沿條狀狹縫移動時，刮條的第一斜面和第二斜面與藥刀的第三斜面和第四斜面相互平行，使得支持部可以充分靠近藥刀，進而保證刮片伸入到條狀狹縫的深度。

作為對刮片結構的進一步改進，所述第一斜面與所述第二斜面相交於第一相交線，所述尖角與所述第一相交線之間的距離大於2mm。尤其當所述刮片包括與所述第一斜面相交的第五斜面，還包括與所述第二斜面相交的第六斜面，所述第五斜面和所述第六斜面相交形成所述尖角時，這種刮片呈三角形狀，當尖角與第一相交線之間的距離大於2mm時，可以保證刮片伸入到條狀狹縫中的深度能夠達到2mm，保證了清潔深度，提高了清潔效率。

總之，本發明提出的顯影裝置，由於其具有用於對藥刀進行清潔的刮條，可以定期對藥刀的條狀狹縫進行清潔，避免了藥刀的堵塞，保證了藥刀向基板上噴灑的顯影液的均勻性，提高了顯影過程中產品的品質。尤其當刮條上的刮片伸入到條狀狹縫的距離為2mm時，可以充分對條狀狹縫進行清潔，保證了清潔效果，並且當伸入到條狀狹縫中的刮片的寬度與條狀狹縫的寬度小1mm時，既保證了刮條的順暢移動，又減少了藥刀對刮條的損害，提高了刮條的使用壽命。

附圖說明

在下文中將基於實施例並參考附圖來對本發明進行更詳細的描述。其中：

圖1a為現有技術顯影裝置中藥刀的截面示意圖；

圖1b為圖1a的仰視圖；

圖2為本發明提出的顯影裝置的剖面結構示意圖；

圖3為圖2中A部分的放大示意圖；

圖4為本發明提出的刮條的第一種剖面結構示意圖；

圖5為本發明提出的刮條的第二種剖面結構示意圖。

在附圖中，相同的部件使用相同的附圖標記。附圖並未按照實際的比例。

具體實施方式

圖2為本發明提出的顯影裝置的結構示意圖，圖3為圖2中A部分的局部放大圖，結合圖2和圖3，顯影裝置包括藥刀10和刮條20，圖2和圖3顯示的狀態為刮條20對藥刀10進行清潔時的藥刀10和刮條20的位置關係示意圖，刮條20包括刮片22和支持體21，支持體21包括第一斜面211和第二斜面212，第一斜面211和第二斜面212之間形成第一角度θ，藥刀10的第三斜面11和第四斜面12之間形成第二角度β，在圖2中，第一角度θ與第二角度β相等，這樣就能使得刮條20充分接近藥刀10，從而保證刮片22能夠充分伸入到條狀狹縫13中，當刮片22伸入到條狀狹縫13中的距離為2mm時，即圖2中的D為2mm時，可以充分對條狀狹縫進行清潔，保證了清潔的效果。

在圖3中，條狀狹縫13的寬度為M，刮片22伸入到條狀狹縫13中的部分在沿條狀狹縫13的寬度M方向上的最大寬度N比M小1mm，這樣就能保證刮片22在條狀狹縫13中順暢移動，保證了清潔速度，也避免了刮片22和藥刀10之間的相互作用力過大對刮片22造成損害，影響刮片22的壽命。

刮片22沿條狀狹縫13的延伸方向運動，對條狀狹縫13進行清潔，尤其當刮片22沿條狀狹縫13的延伸方向作勻速運動時，能夠保證清潔的效果，同時保證了刮條沿條狀狹縫運動時，刮條和藥刀相互之間作用力的均一性，不僅保證了清潔速度，也提高了刮條的使用壽命。

圖4顯示了刮條20的剖面結構示意圖，刮條20包括刮片22和支持體21，支持體21包括第一斜面211和第二斜面212，第一斜面211和第二斜面212相交於第一相交線213，並形成第一角度θ，第一角度θ與藥刀10中的第二角度β相等，這樣就能使得刮條20充分接近藥刀10，從而保證刮片22能夠充分伸入到條狀狹縫13中。刮片22設置在第一角度θ處，刮片22自第一斜面211和第二斜面212朝向背離支持體21的方向延伸，並且刮片22在背離支持體21的一端形成尖角223。在刮條20中，刮片22具有第五斜面221和第六斜面222，第五斜面221與第一斜面211相交，第六斜面222與第二斜面212相交，第五斜面221和第六斜面222相交形成尖角223，因此，刮片22呈三角形狀，尖角223使得刮片22更容易伸入到條狀狹縫中，當尖角223與第一相交線213之間的距離大於2mm時，可以保證刮片伸入到條狀狹縫中的深度能夠達到2mm，保證了清潔深度，提高了清潔效率。

圖5顯示了刮條20』的剖面結構示意圖，與刮條20不同的是，刮條20』的第一角度θ』呈180度，即第一斜面211』和第二斜面212』處於同一平面上，刮條20』也可實現刮條20的功能，而且由於第一角度θ』呈180度，這樣就更利於刮條20』的生產製造。

刮條20可使用一體成型來製作，從而保證尺寸精度和產品合格率。

最後說明的是，以上實施例僅用於說明本發明的技術方案而非限制，儘管參照較佳實施例對本發明進行了詳細說明，本領域的普通技術人員應當理解，可以對本發明的技術方案進行修改或者等同替換，而不脫離本發明技術方案的宗旨和範圍，其均應涵蓋在本發明的權利要求範圍當中。