擴散矽壓阻式壓力傳感器的製作方法

2023-05-16 10:36:46 2

專利名稱：擴散矽壓阻式壓力傳感器的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種擴散矽壓阻式壓力傳感器，是一種廣泛應用於教學實驗的儀器，尤其是涉及一種結構合理、操作簡便、能夠通過改變接線方式測量壓力和壓差，適用於教學實驗的擴散矽壓阻式壓力傳感器。
背景技術：
社會在發展，科學技術在進步，教學質量的提高也是教師和莘莘學子所殷切期待的，單純的理論知識教育早已被判定為不合時宜，更給以後學生的就業帶來一定的障礙，很難在短時間內適應尤其是要求動手能力強、與實踐完美結合的工作；而現有的測量振動的差動傳感器不是結構不夠合理，就是操作複雜，且一般不宜用於教學實驗。

發明內容
本實用新型主要是解決現有技術所存在的結構不夠合理、操作不夠簡便、不適用於教學實驗使用等的技術問題。
本實用新型的上述技術問題主要是通過下述技術方案得以解決的由一個矽膜片、兩個施壓旋鈕和兩個旋塞筒構成，為方便教學實驗，配置兩個實驗壓力表。
作為優選，本實用新型所述的兩個施壓旋鈕與旋塞筒如同醫用注射器樣連接，但施壓旋鈕是旋進或旋出的，而非推拉式。
作為優選，本實用新型所述的兩個壓力表置於底座上，與儀器本身構成一體，整體結構緊湊合理，便於操作者直接讀數。
作為優選，本實用新型所述的旋塞筒、矽膜片和壓力表之間通過軟管以三通各自對應連接。
作為優選，所述的底座上表面繪製有電路連接圖。
因此，本實用新型具有結構簡單，布局合理，操作簡便，適用於教學實驗等特點。


附圖1是本實用新型的俯視圖。
圖中1.底座 2.壓力表一 3.壓力表二 4.低壓阻接口 5.高壓阻接口 6.軟管接口一 7.軟管接口二 8.旋塞筒一 9.旋塞筒二 10.旋鈕一11.旋鈕二 12.VS接線口 13.V0+接線口 14.信號輸出接線口 15.接地線口 16.V0-接線口 17.V0-接線端子 18.VS接線端子 19.V0+接線端子20.接地線接線端子 21.矽膜片具體實施方式
下面通過實施例，並結合附圖，對本實用新型的技術方案作進一步具體的說明。
實施例結合附圖，配置交直流、全橋測量差動放大實驗模塊，介紹利用本實用新型測量壓力和差壓的實現方案。
矽膜片21、壓力表一2、壓力表二3、旋塞筒一8及旋塞筒二9安裝在底座1上；旋塞筒一8內設有旋鈕一10，旋塞筒二9內設有旋鈕二11，旋塞筒左端設有軟管接口；軟管接口一6、壓力表一2及低壓阻接口4配三通以軟管相連，軟管接口二7、壓力表二3及高壓阻接口5亦配三通以軟管相連；底座1上靠右下側設有VS接線口12、V0+接線口13、信號輸出接線口14、接地線口15、及V0-接線口16，矽膜片21所在模塊設有V0-接線端子17、VS接線端子18、V0+接線端子19、接地線接線端子20，其中VS接線口12與VS接線端子18對應相連，V0+接線口13與V0+接線端子19對應相連，V0-接線口16與V0-接線端子17對應相連。
壓力測量實施將VS接線口12連接+4V電壓或者5mA橫流源，V0+接線口13、V0-接線口16輸出用屏蔽線連接到交直流、全橋測量差動放大實驗模塊輸入端，接通電源；將旋鈕一10、旋鈕二11旋出，使壓力表讀數為零，調節交直流、全橋測量差動放大實驗模塊上的壓力表達到實驗要求，旋動旋鈕一10加壓，輸出為正得到正壓，反之鬆開旋鈕一10使壓力表讀數為零，旋動旋鈕二11加壓，輸出為負得到負壓。
差壓測量實施結合壓力測量的實現，可以得出，旋動旋鈕一10及旋鈕二11對矽膜片產生的壓力相反，利用此特點進行差壓測量。將VS接線口12連接+4V電壓或者5mA橫流源，將信號輸出接線口14與交直流、全橋測量差動放大實驗模塊輸入端相連，調節旋鈕一10，記下交直流、全橋測量差動放大實驗模塊上的相應輸出，旋動旋鈕二11，使先前交直流、全橋測量差動放大實驗模塊上的輸出為零，觀察兩壓力表壓力記下比較即得壓差。
最後，應當指出，以上實施例僅是本實用新型較有代表性的例子。顯然，本實用新型不限於上述實施例，還可以有許多變形。凡是依據本實用新型的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均應認為屬於本實用新型的保護範圍。
權利要求1.一種擴散矽壓阻式壓力傳感器，包括底座(1)、壓力表一(2)、壓力表二(3)、旋塞筒一(8)、旋塞筒二(9)、旋鈕一(10)、旋鈕二(11)和矽膜片(21)，其特徵在於所述的壓力表一(2)、壓力表二(3)、旋塞筒一(8)、旋塞筒二(9)及矽膜片(21)均布置在底座(1)上，旋塞筒一(8)內設有旋鈕一(10)，旋塞筒二(9)內設有旋鈕二(11)。
2.根據權利要求1所述的擴散矽壓阻式壓力傳感器，其特徵在於所述的旋塞筒一(8)及旋塞筒二(9)與旋鈕相對的另一端設有軟管接口。
3.根據權利要求1所述的擴散矽壓阻式壓力傳感器，其特徵在於所述的矽膜片(21)所在模塊上設有V0-接線端子(17)、VS接線端子(18)、V0+接線端子(19)及接地線接線端子(20)。
4.根據權利要求1所述的擴散矽壓阻式壓力傳感器，其特徵在於所述的底座上表面繪製有電路連接圖。
專利摘要本實用新型公開了一種擴散矽壓阻式壓力傳感器，是一種廣泛應用於教學實驗的儀器。矽膜片、壓力表一、壓力表二、旋塞筒一及旋塞筒二安裝在底座上；旋塞筒一內設有旋鈕一，旋塞筒二內設有旋鈕二，旋塞筒左端設有軟管接口；軟管接口一、壓力表一及低壓阻接口配三通以軟管相連，軟管接口二、壓力表二及高壓阻接口亦配三通以軟管相連；底座上靠右下側設有VS接線口、V
文檔編號G09B23/00GK2807229SQ20052010181
公開日2006年8月16日 申請日期2005年4月25日 優先權日2005年4月25日
發明者陳繼權, 趙恆業, 陳傳周, 陳東紅 申請人:浙江亞龍教儀有限公司