一種用於管式PECVD手動插片的上片盒的製作方法

2023-05-17 16:38:41 3

本實用新型涉及晶體矽太陽能電池領域矽片加工設備，具體涉及一種管式PECVD手動插片的上片盒。

背景技術：

太陽能是一種綠色清潔可再生能源，取之不盡，用之不竭。晶矽太陽能發電是有效的利用太陽能的一種方式，且此發電過程中不會產生汙染，綠色環保，對減少霧霾有重要意義。在中國，太陽能發電產業得到政府的大力鼓勵和資助，然而隨著太陽能電池行業的不斷發展，競爭在不斷加劇，降低晶矽太陽電池製造成本，提高生產效率顯得格外重要。對於晶體矽太陽能電池PECVD製程，主要分為上片、鍍膜和下片三個基本過程，其中效率最高的手動上片流程為上道工序將矽片放入上片盒，傳入PECVD工序，PECVD工序上料人員用吸筆將矽片從上片盒取出插入石墨舟。但這個流程一直無法在生產線上推廣，因為其存在一個嚴重缺陷，即PECVD工序上料人員用吸筆從常規上片盒取片時，由於矽片與矽片在常規上片盒內整齊排列且貼合嚴密，單純用吸筆難以快速將它們分開，大大降低了生產效率。

技術實現要素：

針對矽片與矽片在常規上片盒內整齊排列且貼合嚴密難以快速分開的缺點，申請人進行了改進研究，提供另一種可使矽片更容易分開的上片盒。

本實用新型的技術方案是：一種用於管式PECVD手動插片的上片盒，包括第一側板1、第二側板2和底板3，且三塊板均為四邊形結構；第一側板1和第二側板2分別與底板3相鄰的兩條邊連接，且第二側板2所在平面與底板3所在平面相互垂直，第一側板1所在平面和底板3所在平面不垂直。

本實用新型的進一步技術方案是：所述第一側板1和底板3之間呈135°角。

本實用新型的進一步技術方案是：所述底板3為正方形結構。

本實用新型的進一步技術方案是：所述第一側板1為長方形結構，第一側板1其中一條長邊與底板3一邊連接，且第一側板1長邊的長度與底板3的邊長長度相同。

本實用新型的進一步技術方案是：所述第二側板2為直角梯形結構，上底邊與底板3一邊連接，且上底邊的長度與底板3的邊長長度相同；第二側板2與底邊不垂直的側腰和第一側板1的寬邊連接。

發明效果

本實用新型的技術效果在於：

一、本實用新型的斜邊上片盒，由於其長方形側邊與底面不垂直，呈135°角，將矽片放入盒內，整理後矽片的一側緊貼斜邊上片盒的斜邊，矽片與矽片之間將形成相對位移，相互錯開，從而使相鄰的矽片更容易用吸筆分開，提高了上片速度。

二、本實用新型的斜邊上片盒，使矽片與矽片相互錯開，很容易發現用吸筆吸出的是一片矽片還是兩片矽片，避免插重片現象，降低了PECVD工序返工率，使從上片盒取片後插片成為可推廣的PECVD工序的生產流程。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖

圖2是本實用新型的主視圖

圖3是圖2的左視圖

圖4是圖2的俯視圖

圖5是本實用新型的第一工作狀態圖

圖6是本實用新型的第二工作狀態圖

附圖標記說明：1-第一側板；2-第二側板；3-底板。

具體實施方式

下面結合具體實施實例，對本實用新型技術方案進一步說明。

1、參見圖1-圖6，一種用於管式PECVD手動插片的上片盒，其特徵在於，由一個正方形的底板3、一個長方形的第一側板1和一個梯形的第二側板2三部分組成，其中第二側板2與底板3垂直，長方形第一側板1與底板3不垂直，呈135°角。圖1至圖4給出了本實用新型的結構。如圖1至圖4所示，本實用新型由一個正方形的底面、一個長方形的側邊和一個梯形的側邊三部分組成，其中梯形側邊與底面垂直，長方形側邊與底面不垂直，呈135°角。圖5、圖6為本實用新型的工作狀態。如圖5、圖6所示，本實用新型的斜邊上片盒，由於其長方形側邊與底面不垂直，呈135°角，將矽片放入盒內，整理後矽片的一側緊貼斜邊上片盒的斜邊，矽片與矽片之間將形成相對位移，相互錯開，從而使相鄰的矽片更容易用吸筆分開，提高了上片速度。另外，本實用新型的斜邊上片盒，使矽片與矽片相互錯開，很容易發現用吸筆吸出的是一片矽片還是兩片矽片，避免插重片現象，降低了PECVD工序返工率，使從上片盒取片後插片成為可推廣的PECVD工序的生產流程。