改進的移載機構的製作方法
2023-04-29 12:17:21 1
專利名稱:改進的移載機構的製作方法
【專利摘要】本實用新型為一種改進的移載機構，系通過Z軸機構、固定板及線性馬達的組合設計，讓線性馬達的定子能固定不動，而線性馬達的動子能隨著Z軸機構沿著固定板進行上下動作時同時進行Y軸方向動作，並使該線性馬達的動子能不用再背負著Z軸機構動作，藉此，以能大幅提升Y軸移動速度及收斂性。
【專利說明】改進的移載機構
【技術領域】
[0001]本實用新型系有關於一種改進的移載機構，尤指一種可藉由Z軸機構、固定板及線性馬達的組合設計，讓線性馬達的動子能隨著Z軸機構沿著固定板進行上下動作時同時進行Y軸方向動作，進而具有大幅提升Y軸移動速度及收斂性等效果，而適用於精密晶圓作業機臺、半導體晶片搬運作業機臺或類似的結構。
【背景技術】
[0002]由於科技產品日新月異的發展下，其科技產品也開始進行功能整合，而使得科技產品中所需求的半導體晶片或晶圓也越來越精密化。
[0003]在半導體晶片或晶圓製作過程中，大都仰賴移載機構來將半導體晶片或晶圓進行動作移轉。而習知的移載機構，如圖1所示，在線性馬達A((定子Al及動子A2))的應用上，其線性馬達A的動子A2是與Z軸機構B的固定背板BI連接，而Z軸機構B的固定背板BI再與Z軸機構B連接，使線性馬達A的動子A2在動作時須背負著Z軸機構B —起動作((如虛線框所示))，因此對習知的線性馬達A ((定子Al及動子A2))來說，其線性馬達A的動子A2在其負載上就會變得比較吃重，且容易造成動力源C需使用較大顆的馬達(圖未示)才能帶動，並在短程動作時，因瞬間速度要求較極速，而有其收斂性較不優的現象。
[0004]因此，本發明人有鑑於上述缺失，期能提出一種能改善線性馬達負載重量的移載機構，令使用者可輕易操作組裝，乃潛心研思、設計組制，以提供使用者便利性，為本發明人所欲研創的本實用新型的動機。
實用新型內容
[0005]本實用新型的目的即在於提供一種改進的移載機構，藉此，以能大幅提升Y軸移動速度及收斂性。
[0006]為了達到上述目的，本實用新型的技術方案為:一種改進的移載機構，系包括有Z軸機構、固定板及線性馬達，其中該線性馬達系由定子及動子所組成，而該線性馬達的定子系與固定板結合固定，其特點是，該Z軸機構與固定板之間系活動設置有直立式滑軌組，而該Z軸機構另一側系與線性馬達的動子之間活動設置有橫向式滑軌組，當Z軸機構沿著固定板進行上下動作，其線性馬達的動子能同時沿著Z軸機構進行Y軸方向的動作。
[0007]該Z軸機構系進一步與Z軸動力馬達連接，而該Z軸動力馬達系進一步外設於X軸機臺上，且該X軸機臺系與固定板連接，當Z軸機構沿著固定板來進行上下動作，其Z軸動力馬達不須跟著Z軸機構來上下動作。
[0008]該X軸機臺上系進一步設有X軸動力馬達，而該X軸機臺下方系進一步活動設置有滑軌組，且該X軸動力馬達系與X軸機臺連接，使X軸動力馬達能輸出動力供X軸機臺沿著滑軌組來進行前後位移動作。
[0009]該線性馬達的定子內系進一步設有槽道，而該線性馬達的動子系動作於線性馬達的定子內的槽道中，且槽道內的深度系大於或等於Z軸機構與固定板之間活動設置的直立式滑軌組的長度。
[0010]該線性馬達的動子上端內部系進一步設有線圈，而線性馬達的定子係為磁性體，以能產生磁性傳動。
[0011]該直立式滑軌組與橫向滑軌組內系進一步各設有軌道及槽軌，而該槽軌系嵌合於軌道上，以能進行來回移動。
[0012]該滑軌組內系進一步設有軌道及槽軌，而該槽軌系嵌合於軌道上，以能進行來回移動。
[0013]本實用新型具有以下有益技術效果:
[0014]1、藉由通過Z軸機構、固定板及線性馬達的組合設計，讓線性馬達的定子能固定不動，且該線性馬達的動子能不用再背負著Z軸機構動作，而讓線性馬達的動子能隨著Z軸機構沿著固定板進行上下動作時同時進行Y軸方向動作，藉此，以能具有大幅提升Y軸移動速度及收斂性等效果，進而增加整體的實用性及便利性。
[0015]2、藉由線性馬達的定子內系設有槽道，而該線性馬達的動子系動作於線性馬達的定子內的槽道中，且槽道內的深度系大於或等於Z軸機構與固定板之間活動設置的直立式滑軌組的長度，使線性馬達的動子上端內部的線圈在隨著Z軸機構上下動作時皆能維持位於線性馬達的定子內的槽道中，讓線性馬達的動子能具有提升負載的效能，而增加整體的實用性及便利性。
【附圖說明】
[0016]圖1係為本實用新型習知技術的線性馬達作動示意圖。
[0017]圖2係為本實用新型實施例的線性馬達動作示意圖。
[0018]圖3係為本實用新型實施例的立體外觀示意圖。
[0019]圖4係為本實用新型實施例的側面外觀示意圖。
[0020]圖5係為本實用新型實施例的Z軸機構與線性馬達組合連接示意圖。
[0021]符號說明
[0022]A、線性馬達
[0023]Al、定子
[0024]A2、動子
[0025]B、Z軸機構
[0026]B1、固定背板
[0027]C、動力源
[0028]10、Z 軸機構
[0029]11、動力源
[0030]111、Z軸動力馬達
[0031]20、固定板
[0032]30、線性馬達
[0033]31、定子
[0034]311、槽道
[0035]32、動子
[0036]40、直立式滑軌組
[0037]50、X 軸機臺
[0038]51、置放平臺
[0039]52、X軸動力馬達
[0040]60、滑軌組
[0041]70、橫向式滑軌組
【具體實施方式】
[0042]為了能夠更進一步了解本實用新型的特徵、特點和技術內容，請參閱以下有關本實用新型的詳細說明與附圖，然而所附圖式僅提供參考與說明用，非用以限制本實用新型。
[0043]請參閱圖2?圖5，係為本實用新型實施例的示意圖，而本實用新型的改進的移載機構的最佳實施方式系運用於精密晶圓作業機臺或半導體晶片搬運作業機臺上。且本實用新型是一種改進的移載機構，系包括有Z軸機構10、固定板20及線性馬達30(如圖2所示)，其中該線性馬達30系由定子31及動子32所組成，而線性馬達30的定子31係為磁性體，且線性馬達30的定子31內系設有槽道311，另線性馬達30的動子32上端內部則設有線圈(圖未示)，且線性馬達30的動子32系動作於線性馬達30的定子31內的槽道311中，通過磁性傳動原理讓線性馬達30的動子32能於線性馬達30的定子31內的槽道311中動作。
[0044]而本實用新型的固定板20系呈倒L型體，且該線性馬達30的定子31 —側系與固定板20的上端處鎖合，使線性馬達30的定子31能穩固結合於固定板20上，而固定板20的倒L型體的中空處系能容置Z軸機構10於內，使Z軸機構10能位於固定板20與線性馬達30之間(如圖2所示)。而該Z軸機構10與固定板20之間系活動設置有直立式滑軌組40 (如圖5所示)(本實用新型系設有三組，亦可為多組的設計，且不受圖示的限制)，其中該直立式滑軌組40系設有軌道及槽軌，而當固定板20上繫結合鎖附軌道，則Z軸機構10上繫結合鎖附槽軌，或者是當固定板20上繫結合鎖附槽軌，則Z軸機構10上繫結合鎖附軌道，使槽軌能嵌合於軌道上，且通過槽軌能於軌道上進行來回的移動，使Z軸機構10能沿著固定板20來進行Z軸方向的上下動作。
[0045]另本實用新型的Z軸機構10系通過動力源11來推動，而該動立源11係為Z軸動力馬達111，通過Z軸動力馬達111與Z軸機構10連接，使Z軸動力馬達111能輸出動力來讓Z軸機構10能進行Z軸方向的上下動作(如圖4所示)，而上述的Z軸動力馬達111系外設於X軸機臺50上，該X軸機臺50系與固定板20連接，且X軸機臺50上系延伸有置放平臺51，以供固置Z軸動力馬達111於置放平臺51上，而當Z軸機構10沿著固定板20來進行Z軸方向的上下動作時，其Z軸動力馬達111則不須跟著Z軸機構10來進行Z軸方向的上下動作。
[0046]而該X軸機臺50上系設有X軸動力馬達52，且該X軸動力馬達52亦固置於X軸機臺50所延伸的置放平臺51上，而X軸機臺50所延伸的置放平臺51下方系活動設置有滑軌組60 (如圖3及圖4所示)(本實用新型系設有三組，亦可為多組的設計，且不受圖示的限制)，其中該滑軌組60系設有軌道及槽軌，而當置放平臺51下方繫結合鎖附軌道，則Fix平臺(圖未示)上繫結合鎖附槽軌，或者是當Fix平臺(圖未示)上繫結合鎖附軌道，則置放平臺51下方繫結合鎖附槽軌，使槽軌能嵌合於軌道上，且透過槽軌能於軌道上進行來回的移動，使X軸動力馬達52能輸出動力供X軸機臺50所延伸的置放平臺51能沿著滑軌組52來進行X軸方向的前後位移動作。
[0047]再者，本實用新型的Z軸機構10另一側系與線性馬達30的動子32間活動設置有橫向式滑軌組70(如圖5所示)(本實用新型系設有二組，亦可為多組的設計，且不受圖示的限制)，其中該橫向式滑軌組70系設有軌道及槽軌，而當Z軸機構10上繫結合鎖附軌道，則線性馬達30的動子32上繫結合鎖附槽軌，或者是當Z軸機構10上繫結合鎖附槽軌，則線性馬達30的動子32上繫結合鎖附軌道，使槽軌能嵌合於軌道上，且通過槽軌能於軌道上進行來回的移動，使線型馬達30的動子32能沿著Z軸機構10來進行Y軸方向的左右動作。
[0048]而該線性馬達30的動子32系動作於線性馬達30的定子31內的槽道311中，且該槽道311內的深度系大於或等於Z軸機構10與固定板20之間活動設置的直立式滑軌組40的長度，使線性馬達30的動子32上端內部的線圈(圖未示)在隨著Z軸機構10上下動作時皆能維持位於線性馬達30的定子31內的槽道311中，讓線性馬達30的動子32能具有提升負載的效能。並再通過線性馬達30的定子31固定不動，而讓線性馬達30的動子32能隨著Z軸機構10沿著固定板20進行上下動作時同時進行Y軸方向的左右動作(如圖2所示)，藉此，該線性馬達30的動子32能不用再背負著Z軸機構10動作，並同時具有大幅提升線性馬達30在Y軸移動的速度及收斂性等效果，以達到客戶的需求。
[0049]由以上詳細說明，可使熟知本項技藝者明了本實用新型的確可達成前述目的。
[0050]然而以上所述，僅為本實用新型的較佳實施例而已，當不能以此限定本實用新型實施的範圍；故，凡依本實用新型申請專利範圍及說明書內容所作的簡單的等效變化與修飾，皆應仍屬本實用新型專利涵蓋的範圍內。
【權利要求】
1.一種改進的移載機構，系包括有Z軸機構、固定板及線性馬達，其中該線性馬達系由定子及動子所組成，而該線性馬達的定子系與固定板結合固定，其特徵在於，該Z軸機構與固定板之間系活動設置有直立式滑軌組，而該Z軸機構另一側系與線性馬達的動子之間活動設置有橫向式滑軌組，Z軸機構沿著固定板進行上下動作，其線性馬達的動子同時沿著Z軸機構進行Y軸方向的動作。2.如權利要求1所述的改進的移載機構，其特徵在於，該Z軸機構系進一步與Z軸動力馬達連接，而該Z軸動力馬達系進一步外設於X軸機臺上，且該X軸機臺系與固定板連接。3.如權利要求2所述的改進的移載機構，其特徵在於，該X軸機臺上系進一步設有X軸動力馬達，而該X軸機臺下方系進一步活動設置有滑軌組，且該X軸動力馬達系與X軸機臺連接。4.如權利要求1所述的改進的移載機構，其特徵在於，該線性馬達的定子內系進一步設有槽道，而該線性馬達的動子系動作於線性馬達的定子內的槽道中，且槽道內的深度系大於或等於Z軸機構與固定板之間活動設置的直立式滑軌組的長度。5.如權利要求4所述的改進的移載機構，其特徵在於，該線性馬達的動子上端內部系進一步設有線圈，而線性馬達的定子係為磁性體。6.如權利要求1所述的改進的移載機構，其特徵在於，該直立式滑軌組與橫向滑軌組內系進一步各設有軌道及槽軌，而該槽軌系嵌合於軌道上。7.如權利要求3所述的改進的移載機構，其特徵在於，該滑軌組內系進一步設有軌道及槽軌，而該槽軌系嵌合於軌道上。
【文檔編號】H01L21-677GK204303781SQ201420594535
【發明者】鄭怡軒, 陳光誠, 蘇皓昌, 鍾全銘 [申請人]威控自動化機械股份有限公司