粘結膜帶饋送機構的製作方法

2023-05-22 19:48:51

專利名稱：粘結膜帶饋送機構的製作方法
技術領域：
本發明涉及在部件實裝裝置中使用的粘結膜貼附裝置，特別涉及
(ACF)等的粘結膜的粘結膜貼附裝置，以及運送含有作為貼附對象的 帶狀的粘結膜的粘結膜帶的粘結膜帶饋送機構。
背景技術：
以往，作為這種粘結膜貼附裝置，公知有下述ACF貼附裝置從 收容有由ACF部件和覆蓋帶構成的各向異性導電膜(ACF)帶的供給巻 軸將ACF帶僅拉出需要的長度(應貼附在粘結對象部件上的長度)，並 令這樣拉出的需要的長度的ACF帶中作為貼附對象的ACF部件位於作 為粘結對象部件的面板基板上或者電子部件上而進行壓接(參照特開 2003-103499號公報)。
圖13表示這樣的以往的ACF貼附裝置的一例。
在圖13表示的ACF貼附裝置360中，ACF帶51從被供給側驅動軸 312驅動旋轉的供給巻軸311放出，並以下述方式被運送經由供給側 可動輥313以及固定輥314而位於設置在墊板320上的粘結對象部件 52上。另外，ACF帶51如圖14所示，由ACF部件51a和覆蓋帶51b 構成，位於粘結對象部件52上的ACF帶51中，僅由帶切斷機構(未 圖示)形成切口的ACF部件51a的一部分藉助加壓機構319而被壓接 在粘結對象部件52上，覆蓋帶51b原樣保留。而且通過壓接ACF部件 51a而僅殘留有覆蓋帶51b的使用後的ACF帶51經由固定輥315以及 回收側可動輥316而被運送，最終被巻取在由回收側驅動軸318驅動 旋轉的回收巻軸317上而被回收。
在圖13所示的以往的ACF貼附裝置360中，在ACF帶51的運送 路徑上配置張力機構，在對ACF帶51施加一定的張力的狀態下進行ACF部件51a的貼附過程的各階段的動作(ACF帶51的運送、ACF帶51的 定位、壓接後的覆蓋帶51b的剝離、以及ACF帶51的自動接合的動作)。 另外，作為圖13所示的以往的ACF貼附裝置360中的張力機構， 使用例如圖15所示的機構。在圖15所示的張力機構370中，ACF帶 51掛繞在可動輥371上並被該可動輥371以滾動接觸的狀態支承。此 外，可動輥371被引導機構372在上下方向上移動自如地引導。在此， 在可動輥371上，經由掛繞在固定輥373、 374上的驅動力傳遞用繩索 375連結有重錘376,可動輥371始終向一定的方向(圖15中為上方) 受到拉引，由此始終對掛繞在可動輥371上的ACF帶51施加一定大小 的張力。
此外，作為以往的張力機構，也使用例如圖16所示的機構。在圖 16所示的張力機構380中，掛繞在固定輥391、 392等上而被運送的 ACF帶51掛繞在可動輥381上而被該可動輥381以滾動接觸的狀態支 承。在此，可動輥381經由連結棒382而與重錘383連結，可動輥381 經由旋轉軸384而向一定的方向(圖16中為逆時針)旋轉，由此對掛 繞在可動輥381上的ACF帶51始終施加一定大小的張力。
即，在圖13所示的以往的ACF貼附裝置360中，藉助圖15以及 圖16所示的張力機構370、 380，利用重錘376、 383被重力吸引的力 等而始終對ACF帶51施加一定大小的張力。
但是，公知在圖13所示的以往的ACF貼附裝置360中，ACF部件 51a的貼附過程的各階段的動作(ACF帶51的運送、ACF帶51的定位、 壓接後的覆蓋帶51b的剝離、以及ACF帶51的自動接合)時所需要的 張力的大小不同，例如在ACF帶51的定位時，需要比較高的張力，在 運送ACF帶51、剝離壓接後的覆蓋帶51b、以及ACF帶51的自動接合 時需要比較低的張力。
但是，圖13所示的以往的ACF貼附裝置360中，藉助圖15以及 圖16所示的張力機構370、 380對ACF帶51時常地施加一定大小的張 力，所以存在對於ACF帶51，不能施加與ACF部件51a的貼附過程的 各階段的動作(ACF帶51的運送、ACF帶51的定位、壓接後的覆蓋帶 51b的剝離、以及ACF帶51的自動接合)相應的張力的問題。
該情況下，在例如與ACF部件51a的定位時需要的比較高的張力 對應而將對ACF帶51賦予的張力設定得較高時，存在下述問題難以高速進行ACF帶51的運送，此外，壓接後的覆蓋帶51b的剝離時，覆 蓋帶51b相對於ACF部件51a的剝離角度變為銳角而易發生ACF部件 51a的翻巻，進而，在ACF帶51的自動接合時由於作用有過大的應力 所以易於在ACF帶51的自動接合部發生切斷，此外，由於始終對ACF 帶51施加高的張力，所以存在對於進行ACF帶51的供給以及回收的 ACF巻軸(供給巻軸311以及回收巻軸317)施加過大應力的問題。
相反，在與ACF帶51的運送、壓接後的覆蓋帶51b的剝離、以及 ACF帶51的自動接合時需要的比較低的張力對應而設定對ACF帶51賦 予的張力時，存在不能提高定位精度的問題。
此外，在圖13所示的以往的ACF貼附裝置360中，通過在粘結對 象部件52上壓接ACF部件51a而僅殘留有覆蓋帶51b的使用後的ACF 帶51最終被巻取到回收巻軸317上而被回收。
但是，在圖13所示的以往的ACF貼附裝置360中，由於通過將使 用後的ACF帶51巻取到回收巻軸317上而回收該ACF帶51，所以在回 收巻軸317滿了時需要將該回收巻317軸更換為新的回收巻軸(沒有 巻取有使用後的ACF帶的回收巻軸)，存在由於回收巻軸317的交換動 作的裝置的工作效率的降低的問題。
進而，在圖13所示的以往的ACF貼附裝置360中，被供給側可動 輥313、固定輥314、 315以及回收側可動輥316運送的ACF帶51需要 在既定的平面(含有相對於粘結對象部件52的ACF部件51a的貼附位 置的平面)內限制了向其寬度方向移動的狀態下被運送，以便可高精 度地進行ACF部件51a對粘結對象部件52的貼附。此外，被這樣運送 的ACF帶51需要以該ACF帶51中作為粘結面的ACF部件51a朝向外 側的狀態，即在ACF部件51a與供給側可動輥313、固定輥314、 315 以及回收側可動輥316不接觸的狀態被運送.
因此，在圖13所示的以往的ACF貼附裝置360中被運送的ACF帶 51，其可得到的運送路徑中沒有自由度，存在在對ACF貼附裝置360 進行各種的構造改變(增加用於將預備的供給巻軸的ACF帶自動接合 在現在的供給巻軸的ACF帶上的接合機構、或增加用於藉助真空吸引 等回收使用後的ACF帶的排出機構等)時，不能柔性地與這樣的構造 改變對應的問題。

發明內容
本發明是鑑於這樣的問題而提出的，目的在於提供一種可提高ACF 帶的定位精度，同時可避免伴隨著ACF帶的運送、壓接後的覆蓋帶的 剝離、以及ACF帶的自動接合等而產生的各種的問題的粘結膜貼附裝 置。
此外，本發明的目的在於提供一種無需回收巻軸的交換作業而可 提高裝置的工作效率的粘結膜貼附裝置。
進而，本發明的目的在於提供一種粘結膜帶饋送機構，以高自由
度設定由粘結膜貼附裝置運送的粘結膜帶的運送路徑，可柔性^;^應
粘結膜貼附裝置的構成的變更等。
本發明作為其第1解決方法提供一種粘結膜貼附裝置，其特徵在 於，包括供給由粘結膜和覆蓋帶構成的粘結膜帶的供給機構；沿既 定的運送路徑運送從上述供給機構供給的粘結膜帶的帶運送機構；將 由上述帶運送機構運送的粘結膜帶中作為貼附對象的粘結膜的一部分 壓接在粘結對象部件上的帶壓接機構；回收由於粘結膜的一部分被上 述帶壓接機構壓接而殘留的使用後的粘結膜帶的回收機構；配置在上 述帶運送機構的上述既定的運送路徑上且對由上述帶運送機構運送的 粘結膜帶施加張力的張力機構，上述張力機構具有以滾動接觸狀態 支承由上述帶運送機構運送的粘結膜帶的可動輥；在對由上述可動輥 支承的粘結膜帶施加張力的狀態下移動自如地引導上述可動輥的引導 機構；對由上迷引導機構引導的上述可動輥施加驅動力的驅動力賦予 裝置；控制上述驅動力賦予裝置，以便根據粘結膜的貼附過程的各階 段中需要的上述粘結膜帶的張力而調整對上述可動輥施加的驅動力的 控制裝置。
另外，在本發明的第1解決方法中，優選地是上述張力機構的上 述控制裝置在由上述帶運送機構運送上述粘結膜帶的階段中減小對上 述可動輥施加的驅動力，對上述粘結膜帶賦予比較低的張力。
此外，在本發明的第l解決方法中，優選地是還具有帶定位機構， 將由上述帶運送機構運送到上述帶壓接機構的粘結膜帶向上述粘結對 象部件推壓而進行該粘結膜帶的定位，上述張力機構的上述控制裝置 在由上述帶定位機構進行上述粘結膜帶的定位的階段中增大對上述可 動輥施加的驅動力，對上述粘結膜帶賦予比較高的張力。進而，在本發明的第1解決方法中，優選地是還具有帶剝離機構， 從被上述帶壓接機構壓接在上述粘結對象部件上的粘結膜上剝離覆蓋 帶，上述張力機構的上述控制裝置在藉助上述帶剝離機構從上述粘結 膜上剝離上述覆蓋帶的階段中減小對上述可動輥施加的驅動力，對上 述粘結劑膜帶賦予比較低的張力。
進而，在本發明的第1解決方法中，優選地是還具有帶自動接合 機構，將從上述供給機構供給的粘結膜帶的終端部自動接合在從預備 供給機構供給的粘結膜帶的始端部上，上述張力機構的上述控制裝置 在由上述帶自動接合機構自動接合粘結膜帶的階段中減小對上述可動 輥施加的驅動力，對上述粘結膜帶賦予比較低的張力。
另外，在本發明的第1解決方法中，上述粘結膜帶優選是作為上 述粘結膜含有帶狀的各向異性導電膜的各向異性導電膜帶。
根據本發明的第1解決方法，配置在帶運送機構的運送路徑上的
裝置，並^基^控制裝置的控制下根;粘結膜的貼附過程的各階段中 需要的粘結膜帶的張力而調整對可動輥賦予的驅動力。因此，可在例 如基於帶運送機構的粘結膜帶的運送時，基於帶剝離機構的壓接後的 覆蓋帶的剝離時，以及基於自動接合機構的粘結膜帶的自動接合時， 將施加給粘結膜帶的張力保持為比較低，另一方面，在粘結膜帶的定 位時，將對粘結膜帶施加的張力保持為比較高。由此，可提高粘結膜 帶的定位精度，並且可避免伴隨粘結膜帶的運送、壓接後的覆蓋帶的 剝離、以及粘結膜帶的自動接合等而產生的各種問題。
本發明作為第2解決方法提供一種粘結膜貼附裝置，其特徵在於， 包括供給由粘結膜和覆蓋帶構成的粘結膜帶的供給機構；沿既定的 運送路徑運送從上述供給機構供給的粘結膜帶的帶運送機構；將由上 述帶運送機構運送的粘結膜帶中作為貼附對象的粘結膜的一部分壓接 在粘結對象部件上的帶壓接機構；回收由於粘結膜的一部分被上述帶 壓接機構壓接而殘留的使用後的粘結膜帶的回收機構，上述回收機構 是以在使用後的粘結膜帶巻繞在其外周部的一部分上的狀態下運送該 粘結膜帶的方式被驅動旋轉的回收巻軸，包括回收巻軸，構成為將 拉到該回收巻軸的外周部而被固定的使用後的粘結膜帶在既定的拉離 位置拉離；回收箱，回收從上述回收巻軸在上述外周部的上述拉離位置被拉離的使用後的粘結膜帶。
另外，在本發明的第2解決方法中，優選地是在上述回收巻軸的 上述拉離位置被拉離的上述使用後的粘結膜帶在基於自重而在上下方 向上下垂的狀態下被運送到上述回收箱。
此外，在本發明的笫2解決方法中，優選地是上述回收巻軸在其 外周部設置有多個真空吸引部，並構成為通過與上述回收巻軸的旋轉 聯動地切換上述各真空吸引部的p及引狀態，上述外周部中僅位於該回 收巻軸的上半部分的部分始終為吸引狀態。
進而，在本發明的第2解決方法中，優選地是巻繞在上述回收巻 軸上的上述使用後的粘結膜帶以該粘結膜帶中所含有的覆蓋帶中沒有 附著上述粘結膜一側的面與上述回收巻軸的上述外周部接觸的狀態被 巻繞，
另外，在本發明的第2解決方法中，優選地是上述粘結膜帶是作 為上述粘結膜含有帶狀的各向異性導電膜的各向異性導電膜帶.
根據本發明的第2解決方法，在藉助被驅動旋轉的回收巻軸，以 使用後的粘結膜帶巻繞在其外周部的一部分上的狀態運送該粘結膜帶 後，將粘結膜帶在該回收巻軸的下遊側的既定的拉離位置處拉離，並 最終藉助回收箱進行回收，所以可無需回收巻軸的交換而提高裝置的 工作效率。
本發明作為其笫3解決方法提供一種粘結膜帶饋送機構，運送含 有帶狀的粘結膜的粘結膜帶，其特徵在於，包括第1帶饋送機構， 對在笫1平面內運送的粘結膜帶施加扭轉，同時向與上述笫1平面不 同的第2平面運送該粘結膜帶；笫2帶饋送機構，為了使以被上述第l 帶饋送機構施加有扭轉的狀態被運送的粘結膜帶在上述笫2平面內運 送，使施加在該粘結膜帶上的扭轉復元，同時運送該粘結膜帶。
另外，在本發明的笫3解決方法中，上述第1帶饋送機構優選地 是具有位於上述笫1平面內的直徑比較大的大輥、和以相對於上述第1 平面傾斜的狀態位於比該大輥靠下遊側的直徑比較小的小輥。此外， 上述笫2帶饋送機構優選地是具有位於上述第2平面內的直徑比較大 的大輥、和以相對於上述第2平面傾斜的狀態位於比該大輥靠上遊側 的直徑比較小的小輥。
此外，在本發明的第3解決方法中，上述大輥優選地是具有凹型槽，該凹型槽具有與粘結膜帶的寬度對應的大小且截面為矩形。此外， 上述小輥優選地是具有倒梯形槽，該倒梯形槽具有與粘結膜帶的寬度 對應的大小且截面為倒梯形.
進而，在本發明的笫3解決方法中，優選地是被上述第1帶饋送 機構以及上述第2帶饋送機構運送的粘結膜帶是其上遊側的部分和下 遊側的部分相互立體地交叉。
此外，在本發明的第3解決方法中，優選地是上述粘結膜帶是作 為上述粘結膜含有帶狀的各向異性導電膜的各向異性導電膜帶。
根據本發明的第3解決方法，藉助第1帶饋送機構對在第1平面 內運送的粘結膜帶施加扭轉，同時向與第1平面不同的第2平面運送 該粘結膜帶，之後，藉助第2帶饋送機構，為了使以被第1帶饋送機 構施加有扭轉的狀態下運送的粘結膜帶在第2平面內運送，使施加在 該粘結膜帶上的扭轉復元，同時運送該粘結膜帶。因此，被第1帶饋 送機構以及第2帶饋送機構運送的粘結膜帶的運送路徑位於相互不同 的兩個平面(第1平面以及第2平面)內，粘結膜帶能夠以其上遊側 的部分和下遊側的部分相互立體交叉的狀態被運送。因此，能夠以高 自由度設定在粘結膜貼附裝置中運送的粘結膜帶的運送路徑，即便在 設置接合機構或排出機構等而在粘結膜帶的運送路徑中產生變更時， 也可柔性地對應這樣的構成變更。此外，通過這樣的配置，可將供給 粘結膜帶的供給機構、和對粘結膜帶施加張力的張力機構配置在兩個 平面上，進而可將粘結膜貼附裝置的各機構配置在多個平面上而不是 一個平面上，所以可進行小型化以及有效的配置.
此外，根據本發明的第3解決方法，在第1帶饋送機構中，使用 位於第1平面內的直徑比較大的大輥、和以相對於第1平面傾斜的狀 態位於比該大輥靠下遊側的直徑比較小的小輥，對在笫1平面內運送 的粘結膜帶施加扭轉，此外，在第2饋送機構中，使用位於第2平面 內的直徑比較大的大輥、和以相對於第2平面傾斜的狀態位於比該大 輥靠上遊側的直徑比較小的小輥，令由第1帶饋送機構施加有扭轉的 粘結膜帶的扭轉復元，則可穩定地進行粘結膜帶的運送路徑的變更。


圖1是表示本發明的一實施方式的粘結膜貼附 置概略圖.圖2是用於詳細說明圖1所示的粘結膜貼附裝置中使用的張力機 構的圖。
圖3是用於詳細說明圖1所示的粘結膜貼附裝置中使用的帶定位 機構的圖。
圖4是用於詳細說明圖1所示的粘結膜貼附裝置中使用的帶剝離 機構的圖。
圖5是表示圖1所示的粘結膜貼附裝置的變形例的概略圖。 圖6A以及圖6B是表示圖1所示的粘結膜貼附裝置的供給側上設 置的粘結膜帶饋送機構的詳細情況的圖。
圖7A以及圖7B是表示圖1所示的粘結膜貼附裝置的回收側上設
置的粘結膜帶饋送機構的詳細情況的圖。
圖8是表示圖6A、圖6B、圖7A以及圖7B所示的粘結膜帶饋送機
構中含有的大輥的圖。
圖9是表示圖6A、圖6B、圖7A以及圖7B所示的粘結膜帶饋送機
構中含有的小輥的圖。
圖IO是表示本發明的其他實施方式的粘結膜貼附裝置的概略圖。 圖ll是表示圖10所示的粘結膜貼附裝置中使用的粘結膜帶的局
部放大剖視圖。
圖12是表示圖10所示的粘結膜貼附裝置的回收巻軸的詳細情況 的圖。
圖13是表示以往的粘結膜貼附裝置的概略圖。
圖14是表示由粘結膜貼附裝置運送的粘結膜帶的局部放大圖。
圖15是表示在以往的粘結膜貼附裝置中使用的張力機構的一例的圖。
圖16是表示在以往的粘結膜貼附裝置中使用的張力機構的其他例 的圖.
具體實施例方式
以下，參照附圖對本發明的實施方式進行說明。 首先，藉助圖1以及圖9對本發明的一實施方式的粘結膜貼附裝 置進行說明。
如圖1所示，本實施方式的ACF貼附裝置(粘結膜貼附裝置)10是將作為粘結膜的各向異性導電膜(ACF)貼附在面板基板或電子部件 等的粘結對象部件上的裝置，包括供給由ACF部件和覆蓋帶構成的 ACF帶(粘結膜帶)51的供給機構11;沿既定的運送路徑運送從供給 機構11供給的ACF帶51的帶運送機構15;將由帶運送機構15運送的 ACF帶51中作為貼附對象的ACF部件的一部分壓接在粘結對象部件52 上的帶壓接機構33;回收由於ACF部件的一部分被帶壓接機構33壓接 而主要僅殘留覆蓋帶的使用後的ACF帶51的自動回收機構40。
其中，供給機構11具有巻繞並收容ACF帶51的供給巻軸12、和 以從供給巻軸12放出ACF帶51的方式驅動供給巻軸12旋轉的供給側 驅動軸13。另外，在供給機構11的供給巻軸12的附近設置自動接合 機構38，將從供給巻軸l2供給的ACF帶51的終端部自動接合在從預 備的供給巻軸(未圖示)供給的ACF帶(未圖示)的始端部上。
帶運送機構15作為以滾動接觸狀態支承ACF帶51的輥具有固定 輥16、 17、粘結膜帶饋送機構(供給側立體運送機構)18、固定輥24、 25以及粘結膜帶饋送機構(回收側立體運送機構)27，以該順序拉繞 從供給機構11供給的ACF帶51。
在此，可在這樣的帶運送機構15的運送路徑上配置供給側張力機 構n以及回收側張力機構32，對由帶運送機構15運送的ACF帶51施 加張力.
具體而言，如圖1以及圖2所示，供給側張力機構31具有以滾 動接觸的狀態支承由帶運送機構15運送的ACF帶51的供給側可動輥 23、和在對由供給側可動輥23支承的ACF帶51賦予張力的狀態下移 動自如地引導供給側可動輥23的供給側可動輥引導機構31a。
此外，回收側張力機構32具有以滾動接觸的狀態支承由帶運送 機構15運送的ACF帶51的回收側可動輥26、和在對由回收側可動輥 26支承的ACF帶51賦予張力的狀態下移動自如地引導回收側可動輥 26的回收側可動輥引導機構32a。
另外，供給側張力機構31以及回收側張力機構32都如圖2所示， 具有對由供給側可動輥引導機構31a(或者回收側可動輥引導機構32a) 引導的供給側可動輥23 (或者回收側可動輥26)施加驅動力的驅動力 賦予裝置61、和控制驅動力賦予裝置61以便根據ACF部件的貼附過程 的各階段所需要的ACF帶51的張力而調整對供給側可動輥23(或者回收側可動輥26)施加的驅動力的控制裝置67。另外，驅動力賦予裝置 61具有連接在供給側可動輥23 (或者回收側可動輥26 )上的驅動力 傳遞帶64、掛繞在驅動力傳遞帶64上的從動輥62以及驅動輥63、對 驅動輥63施加扭矩而進行驅動的扭矩賦予裝置65以及驅動馬達66(由 控制裝置67控制的驅動馬達)。
若回到圖l繼續說明，則包含在帶運送機構15中的粘結膜帶饋送 機構(供給側立體運送機構)18具有第1帶饋送機構121 (供給側立 體運送用固定輥123、 124)以及第2帶饋送機構122 (供給側立體運 送用固定輥125、 126)，構成為可一邊改變運送ACF帶51的平面一邊 立體地運送ACF帶51。進而，粘結膜帶饋送機構(回收側立體運送機 構)27具有第1帶饋送機構127 (回收側立體運送用固定輥129、 130) 以及回收側立體運送用固定輥131,構成為可一邊改變運送ACF帶51 的平面一邊立體地運送ACF帶51.另外，粘結膜帶饋送機構(供給側 立體圖運送機構18以及回收側立體運送機構27)的詳細描述如後述。
帶壓接機構33具有ACF粘著機構35，向載置粘結對象部件52的 墊板34、和載置在墊板34上的粘結對象部件52推壓由帶運送機構15 運送來的ACF帶51，由此將ACF帶51中成為貼附對象的ACF部件(參 照圖3的附圖標記51a)的一部分壓接在粘結對象部件52上。
在此，在帶壓接機構33的附近，如圖1以及圖3所示，設置有 帶切斷機構36，在ACF帶51的ACF部件51a中貼附在粘結對象部件 52上的部分的兩端位置上形成切口 51c;帶拉出機構37，令由帶運送 機構15運送的ACF帶51拉出應貼附到粘結對象部件52上的需要的長 度並位於粘結對象部件52上.另外，如圖3所示，基於帶切斷機構36 的ACF帶51的切斷僅對ACF部件51a進行，不對覆蓋帶51b進行。
此外，在帶壓接機構33的附近，如圖1以及圖3所示，設置帶定 位機構39、 39，將由帶運送機構15運送到帶壓接機構33的ACF帶51 向粘結對象部件52推壓而進行該ACF帶51的定位。
進而，在帶壓接機構33的附近，如圖4所示，設置帶剝離機構45， 從由帶壓接機構33壓接在粘結對象部件52上的ACF部件51a上剝離 覆蓋帶51b。
若回到圖l進而說明，則自動回收機構40具有回收巻軸41，以 使用後的ACF帶51巻繞在其外周槽41a的一部分上的狀態運送該ACF帶51;驅動回收巻軸41旋轉的回收側驅動軸42;回收由回收巻軸41 運送的使用後的ACF帶51的回收箱44。在此，回收巻軸41中，在巻 繞ACF帶51的外周槽41a上設置多個真空吸引孔，通過與回收巻軸41 的旋轉聯動地切換各真空吸引孔的吸引狀態而使外周槽41a中僅位於 回收巻軸41的上半部分的部分始終處於吸引狀態。
接著，對這樣構成的ACF貼附裝置10的動作進行說明。
在圖1所示ACF貼附裝置10中，ACF帶51，藉助供給機構11從 由供給側驅動軸13驅動旋轉的供給巻軸12被放出，以下述方式運送 經由固定輥l6、 l7、粘結膜帶饋送機構(供給側立體運送機構)l8、 供給側可動輥23 (供給側張力機構31)以及固定輥24而位於載置在 壓接機構33的墊板34上的粘結對象部件52上.
更具體而言，在由帶夾緊機構(未圖示)夾緊ACF帶51的狀態下， 若令供給巻軸12伴隨著供給側驅動軸13的旋轉驅動而向圖示方向旋 轉，則ACF帶從供給巻軸12放出，並且該ACF帶51經由帶運送機構 15 (特別是固定輥16、 17、粘結膜帶饋送機構(供給側立體運送機構) 18以及供給側可動輥23)而被運送，在該ACF帶51上產生爭>弛。在 此，在供給側張力機構31中，在基於控制裝置67的控制下，藉助驅 動馬達66以及扭矩賦予裝置65對驅動輥63進行驅動，令驅動力傳遞 帶64向圖2的實線的箭頭方向移動，由此在對ACF帶51施加一定張 力的狀態下令由供給側可動輥引導機構31a引導的供給側可動輥23上 升。另外，此時，供給側張力機構31的控制裝置67以減小對供給側 可動輥23施加的驅動力的方式控制驅動馬達66，由此，在由帶運送機 構15運送ACF帶51的階段中，對ACF帶51賦予比較低的張力。
而且，若供給側可動輥23上升而到達上限位置，則停止供給側驅 動軸13的旋轉驅動以及驅動馬達66的驅動。由此，成為下述狀態， 即，從供給機構11的供給巻軸12臨時放出應貼附到粘結對象部件52 上所需的長度的ACF帶51，並儲存在供給巻軸12和固定輥24之間。
在該狀態下，通過放開帶夾緊機構(未圖示)而解除ACF帶51的 夾緊，並且停止供給側驅動軸13的旋轉驅動，若在該狀態下，藉助帶 拉出機構37將ACF帶51向圖示方向拉出，則由供給側張力機構31的 供給側可動輥引導機構31a保持的供給側可動輥23開始下降，儲存在 供給巻軸12和固定輥24之間的ACF帶51向圖示的方向移動.在此，在供給側張力機構31中，在基於控制裝置67的控制下，藉助驅動馬 達66以及扭矩賦予裝置65對驅動輥63進行驅動，令驅動力傳遞帶64 向圖2的虛線的箭頭方向移動，由此，在向ACF帶51施加一定的張力 的狀態下令由供給側可動輥引導機構31a引導的供給側可動輥23下 降。另外，此時，供給側張力機構31的控制裝置67以減小對供給側 可動輥23施加的驅動力的方式控制驅動馬達66，在由帶運送機構15 運送ACF帶51的階段中，對ACF帶51施加比較低的張力。由此，在 供給側可動輥23下降而到達下限位置時，令ACF帶51中應貼附在粘 結對象部件52上的ACF部件位於粘結對象部件52上。
之後，藉助設置在帶壓接機構33的附近的帶定位機構39、 39，如 圖3所示，將由帶運送機構15運送到壓接機構33處的ACF帶15向粘 結對象部件52推壓，並進行該ACF帶51的定位。此時，在供給側張 力機構31中，在基於控制裝置67的控制下，由驅動馬達66以及扭矩 賦予裝置65對驅動輥63進行驅動，令驅動力傳遞帶64向圖2的實線 箭頭方向移動而令供給側可動輥23僅上升既定的距離。由此，在藉助 帶定位機構39、 39進行ACF帶51的定位的階段中，可加大對供給側 可動輥23施加的驅動力而對ACF帶51賦予比較高的張力。
而且，在帶壓接機構33中，令ACF粘著機構35向載置在墊板34 上的粘結對象部件52移動，推壓藉助帶定位機構39、 39定位在粘結 對象部件52上的ACF帶51，由此將ACF帶51中成為貼附對象的ACF 部件(圖3的附圖標記51a)的一部分壓接在粘結對象部件52上。另 外，此時，在ACF帶51的ACF部件51a中貼附在粘結對象部件52上 的部分的兩端位置上，藉助帶切斷機構36在既定的時刻切入切口 51c。
之後，藉助設置在帶壓接機構33的附近的帶剝離機構45,如圖4 所示，從被帶壓接機構33壓接在粘結對象部件52上的ACF部件51a 上剝離覆蓋帶51b。此時，在供給側張力機構31中，在基於控制裝置 67的控制下，由驅動馬達66以及扭矩賦予裝置65對驅動輥63進行驅 動，令驅動力傳遞帶64向圖2的虛線的箭頭方向移動而令供給側可動 輥23僅下降既定的距離。由此，在藉助帶剝離機構45進行覆蓋帶51b 的剝離的階段中，減小對供給側可動輥23施加的驅動力而對ACF帶51 施加比較低的張力。
而且，最終，這樣壓接ACF部件51a而主要僅殘留覆蓋帶51b的使用後的ACF帶51經由固定輥25、回收側可動輥26 (回收側張力機 構32)以及粘結膜帶饋送機構(回收側立體運送機構)27而被運送， 最終，由自動回收機構40回收。
更具體而言，在藉助帶夾緊機構(未圖示)夾緊ACF帶51的狀態 下，若令回收巻軸41伴隨回收側驅動軸24的驅動旋轉而向圖示的方 向旋轉，則回收巻軸41以使用後的ACF帶51巻繞在其外周槽41a的 一部分上的狀態運送該ACF帶51。即，回收巻軸41通過與其旋轉聯動 地切換各真空吸引孔的吸引狀態，使外周槽41a中的僅位於回收巻軸 41上半部分的部分始終處於吸引狀態，在回收巻軸41的外周槽41a上， 僅將在上遊側被拉近並固定的使用後的ACF帶51運送小於一周的既定 長度，之後在下遊側的既定的拉離位置被拉離。由此，從回收巻軸41 在外周槽41a的拉離位置被拉離的使用後的ACF帶51在其自重作用下 以在上下方向上(可動輥26的移動方向)下垂的狀態運送，最終由回 收箱44回收。另外，巻繞在回收巻軸41上的使用後的ACF帶51以該 ACF帶51中所包含的覆蓋帶51b中沒有貼附ACF部件51a—側的面(圖 3所示的覆蓋帶51b則為其上表面)與回收巻軸41的外周槽41a接觸 的狀態被巻繞。
另外，在上述這樣的藉助自動回收機構40回收使用後的ACF帶51 的過程中，在回收側張力機構32中，產生向下方拉引使用後的ACF帶 51的力。在此，在回收側張力機構32中，在基於控制裝置67的控制 下，由驅動馬達66以及扭矩賦予裝置65對驅動輥63進行驅動，令驅 動力傳遞帶64向圖2的虛線箭頭方向移動，由此在對ACF帶51施加 一定張力的狀態下令由回收側可動輥引導機構32a引導的供給側可動 輥26下降。另外，此時，回收側張力機構32的控制裝置67以減小對 回收側可動輥26施加的驅動力的方式控制驅動馬達66,在這樣通過帶 運送機構15運送ACF帶51的階段中，對ACF帶51賦予比較低的張力。
而且，若回收側可動輥26下降而到達下限位置，則停止回收側驅 動軸42的旋轉驅動以及驅動馬達66的驅動。
在該狀態下，通過放開帶夾緊機構(未圖示)而解除ACF帶51的 夾緊，並停止回收側驅動軸42的旋轉驅動，在該狀態下，若藉助帶拉 出機構37向圖示方向拉出ACF帶51，則應由自動回收機構40回收的 使用後的ACF帶51產生鬆弛。在此，在回收側張力機構32中，在基於控制裝置67的控制下，由驅動馬達66以及扭矩賦予裝置65對驅動 輥63進行驅動，令驅動力傳遞帶64在圖2的實線箭頭方向移動，由 此，在對ACF帶51施加一定張力的狀態下令由回收側可動輥引導機構 32a引導的供給側可動輥23上升。另外，此時，回收側張力機構32的 控制裝置67以減小對回收側可動輥26施加的驅動力的方式控制驅動 馬達66，在這樣藉助帶運送機構15運送ACF帶51的階段中，對ACF 帶51賦予比較低的張力。而且，若藉助帶拉出機構37將應貼附在粘 結對象部件52上的所需的長度的ACF帶51拉出，則回收側可動輥26 上升而到達上限位置，所以該時刻，停止回收側驅動軸42的旋轉驅動 以及驅動馬達66的驅動。 粘結膜帶饋送機構
在此，藉助圖1、圖6A以及圖6B對設置在ACF貼附裝置10的供 給側的粘結膜帶饋送機構(供給側立體饋送機構)18的詳細結構進行 說明.另外，圖6A是表示圖1所示的粘結膜帶饋送機構18的詳細結 構的俯視圖，圖6B是表示圖1以及圖6A所示的粘結膜帶饋送機構18 的ACF帶51的運送路徑的概略圖'
如圖1、圖6A以及圖6B所示，粘結膜帶饋送機構18具有第1 帶饋送機構121， 一邊對在第1平面P,內運送的ACF帶51施加扭轉一 邊向與笫1平面P!不同的笫2平面P2運送該ACF帶51;第2帶饋送機 構122，為了使以由第1帶饋送機構121施加有扭轉的狀態被運送的 ACF帶51在第2平面P2內運送，4吏施加在該ACF帶51上的扭轉復元， 同時運送該ACF帶51。
其中，第1帶饋送機構121具有位於笫1平面P,內的直徑比較大 的大輥123、和以相對於第1平面Pi傾斜的狀態位於比該大輥123還 下遊側的直徑比較小的小輥124。此外，第2帶饋送機構122具有位於 第2平面P2內的直徑比較大的大輥126、和以相對於第2平面P2傾斜 的狀態位於比該大輥126還上遊側的直徑比較小的小輥125。另外，第 1帶饋送機構121的大輥123以及小輥124分別由固定在支承體137上 的支軸123a、 124a旋轉自如地支承。此外，第2帶々黃送機構122的大 輥126以及小輥125分別由固定在支承體138上的支軸126a、 125a旋 轉自如地支承。
在此，第1帶饋送機構121以及第2帶饋送機構122中含有的各大輥l23、 1W如圖8所示，具有凹型槽l41，該凹型槽具有與ACF帶 51的寬度對應的大小且截面為矩形狀。此外，第1帶饋送機構121以 及笫2帶饋送機構122中含有的各小輥124、 125如圖9所示，具有倒 梯形槽1"，該倒梯形槽142具有與ACF帶51的寬度對應的大小且截 面為倒梯形。
接著，對由這樣的結構構成的粘結膜帶饋送機構18的作用進行說明。
首先，從供給機構11的供給巻軸12放出而在第1平面P,內被運 送的ACF帶51在第1帶饋送機構121中被位於第1平面P！內的大輥 U3運送後，由設置在大輥123的下遊側附近的小輥124運送。在此， 小輥124以相對於第1平面P,傾斜的狀態布置，從大輥123送出的ACF 帶51在向其施加有扭轉的狀態下被送出到第2帶送出機構122。另外， 為了防止ACF帶51從大輥123以及小輥124分離，從大輥123送出ACF 帶51的位置和向小輥124送入ACF帶51的位置優選在同一平面(第1 的平面PJ內(參照圖6A)。
接著，從第1帶饋送機構121的小輥124以施加有扭轉的狀態被 送出的ACF帶51在第2帶饋送機構122中被設置在位於第2平面P2 內的大輥126的上遊側附近的小輥124運送，之後，淨皮大輥126運送。 另外，由大輥126運送的ACF帶51向位於笫2平面P2內的供給側可動 輥23送出。在此，小輥125以相對於第2平面P2傾斜的狀態布置，從 第1帶饋送機構121的小輥124送出的ACF帶51， 一邊復元施加在其 上的扭轉一邊被送出到大輥126。另外，為了防止ACF帶51從小輥125 以及大輥126分離，從小輥125送出ACF帶51的位置和向大輥126送 入ACF帶51的位置優選在同一平面(第2平面P2)內(參照圖6A)。
另外，如上那樣由第1帶饋送機構121以及第2帶饋送機構122 運送的ACF帶51，由於其運送路徑位於相互不同的兩個平面(第1平 面P!以及第2平面P2)內，所以可在ACF帶51的上遊側部分和下遊側 部分相互立體交叉的狀態下進行運送。
接著，藉助圖1、圖7A以及圖7B對設置在ACF貼附裝置10的回 收側的粘結膜帶饋送機構(回收側立體運送機構)27的詳細結構進行 說明。另外，圖7A是表示圖1所示的粘結膜帶饋送機構27的詳細結 構的俯視圖，圖7B是表示圖1以及圖7A所示的粘結膜帶饋送機構27的ACF帶51的運送路徑的概略圖。另外，在圖7A以及圖7B中，在圖 1所示的粘結膜帶饋送機構27中，以在回收側立體運送用固定輥131 的下遊側使用與回收側立體運送用固定輥129相同的固定輥而不是如 圖1所示的回收巻軸41的情況為例進行說明.
如圖1、圖7A以及圖7B所示，粘結膜帶饋送機構27具有第1 帶饋送機構127， 一邊對在笫1平面P3內運送的ACF帶51施加扭轉一 邊向與第1平面P3不同的第2平面P4運送該ACF帶51;第2帶饋送機 構128,為了使以由笫1帶饋送機構127施加有扭轉的狀態^皮運送的 ACF帶51在第2平面P4內運送，^_施加在該ACF帶51上的扭轉復元， 同時運送該ACF帶51。
其中，第1帶饋送機構127具有位於笫1平面P3內的直徑比較大 的大輥129、和以相對於第1平面P3傾斜的狀態位於比該大輥129還 下遊側的直徑比較小的小輥130。此外，第2帶饋送機構128具有位於 第2平面P4內的直徑比較大的大輥132、和以相對於第2平面P4傾斜 的狀態位於比該大輥132還上遊側的直徑比較小的小輥131。另外，第 1帶饋送機構127的大輥129以及小輥130分別由固定在支承體139上 的支軸129a、 130a旋轉自如地支承。此外，第2帶饋送機構128的大 輥132以及小輥131分別由固定在支承體140上的支軸132a、 131a旋 轉自如地支承。
在此，第1帶饋送機構127以及第2帶饋送機構128中含有的各 大輥129、 132如圖8所示，具有凹型槽141，該凹型槽具有與ACF帶 51的寬度對應的大小且截面為矩形狀.此外，第1帶饋送機構127以 及第2帶饋送機構128中含有的各小輥130、 131如圖9所示，具有倒 梯形槽142，該倒梯形槽142具有與ACF帶51的寬度對應的大小且截 面為倒梯形。
接著，對由這樣的結構構成的粘結膜帶饋送機構27的作用進行說明。
首先，經由回收側可動輥26而在第1平面P3內^^運送的ACF帶 51在笫1帶饋送機構127中被位於第1平面P3內的大輥129運送後， 由設置在大輥129的下遊側附近的小輥130運送。在此，小輥130以 相對於笫1平面P3傾斜的狀態布置，從大輥129送出的ACF帶51以向 其施加有扭轉的狀態被送出到第2帶送出機構128.另外，為了防止ACF帶51從大輥I"或者小輥130分離，從大輥129送出ACF帶51的 位置和向小輥1S0送入ACF帶51的位置優選在同一平面(第1的平面 P3)內(參照圖7A)。
接著，從第1帶饋送機構127的小輥130以施加有扭轉的狀態被 送出的ACF帶51在第2帶饋送機構128中被設置在位於第2平面P4 內的大輥132的上遊側附近的小輥131運送，之後，被大輥132運送。 另外，由大輥132運送的ACF帶51向作為位於第2平面P4內的排出機 構的回收箱44送出.在此，小輥131以相對於第2平面P4傾斜的狀態 布置，從第1帶饋送機構l27的小輥130送出的ACF帶51， 一邊復元 施加在其上的扭轉一邊被送出到大輥132。另外，為了防止ACF帶51 從小輥131以及大輥132分離，從小輥131送出ACF帶51的位置和向 大輥132送入ACF帶51的位置優選在同一平面(第2平面P4)內(參 照圖7A)。
另外，如上那樣由第1帶饋送機構127以及笫2帶饋送機構128 運送的ACF帶51時，由於ACF帶51的運送路徑位於相互不同的兩個 平面(第1平面P3以及第2平面P4 )內，所以ACF帶51可在其上遊側
部分和下遊側部分相互立體交叉的狀態下進行運送。
根據這樣的本實施方式，配置在帶運送機構15的運送路徑上的供 給側張力機構31以及回收側張力機構32具有對由供給側可動輥引導 機構31a (或者回收側可動輥引導機構32a)引導的供給側可動輥23 (或者回收側可動輥26)施加驅動力的驅動力賦予裝置61，在基於控 制裝置67的控制下，根據ACF部件51a的貼附過程的各階段中需要的 ACF帶51的張力來調整對供給側可動輥23(或回收側可動輥26)施加 的驅動力。因此，在例如基於帶運送機構15的ACF帶51的運送時， 基於帶剝離機構45的壓接後的覆蓋帶51b的剝離時、以及基於自動接 合機構38的ACF帶51的自動接合時，將賦予ACF帶51的張力保持為 比較低，另一方面，在ACF帶51的定位時，將賦予ACF帶51的張力 保持為比較高。由此，可提高ACF帶51的定位精度，並可避免伴隨著 ACF帶51的運送、壓接後的覆蓋帶51b的剝離、以及ACF帶51的自動 接合等而產生的各種問題。具體而言，由於在基於帶運送機構15的ACF 帶51的運送時對ACF帶51賦予的張力低，所以可高速地進行ACF帶 51的運送。此外，由於在壓接後的覆蓋帶51b的剝離時對ACF帶51賦予的張力也低，所以奇降低覆蓋帶51b相對於ACF部件51a的剝離角 度為銳角，ACF部件51a翻巻的發生頻率。進而，由於在ACF帶51的 自動接合時對ACF帶51施加的張力也低，所以不會對ACF帶51施加 過大的應力，可降低ACF帶51的自動接合部的斷開的發生頻率。進而， 由於不是始終對ACF帶51賦予高張力，所以還具有對進行ACF帶51 的供給以及回收的供給巻軸12以及回收巻軸41不施加過大的應力的 優點。
此外，根據本實施方式，在設置在ACF貼附裝置10的供給側以及 回收側的粘結膜帶饋送機構18、 27中，藉助第1帶饋送機構121、 127， 一邊對在第1平面P!、 P3內運送的ACF帶51施加扭轉一邊向與第1平 面P,、 P3不同的第2平面P2、 P4運送該ACF帶51，之後，藉助第2帶 饋送機構122、 128，以在由第1帶々費送機構121、 127施加有扭轉的狀 態下被運送的ACF帶51在第2平面P2、 P4內被運送的方式一邊將施加 在該ACF帶51上的扭轉復元一邊運送該ACF帶51。因此，由第1帶饋 送機構in、 以及第2帶饋送機構l22、 128運送的ACF帶51的運
送路徑位於相互不同的兩個平面(第1平面P,、 P3以及第2平面P2、
P4)內，ACF帶51可在其上遊側部分和下遊側部分相互立體交叉的狀 態下進行運送。因此，能夠以高自由度設定由ACF貼附裝置IO運送的 ACF帶51的運送路徑，在向ACF貼附裝置10的供給機構11的供給巻 軸12和供給側可動輥23之間設置自動接合機構38而改變ACF帶51 的運送路徑時，在向ACF貼附裝置10的回收側設置作為排出機構的回 收箱44而改變ACF帶51的運送路徑時，也可柔性地對應該結構的改 變。
進而，根據本實施方式，在粘結膜帶饋送機構18、 27的第1帶饋 送機構121、 127中，使用位於笫1平面P,、 P3中的直徑比較大的大輥 123、 129，和以相對於第1平面P,、 P3傾斜的狀態位於比該大輥123、 129還下遊的直徑比較小的小輥124、 130，對在第1平面P、P3內運 送的ACF帶51施加扭轉，此外，在粘結膜帶饋送機構18、 27的第2 帶饋送機構122、 128中，使用位於第2平面P2、 P4中的直徑比較大的 大輥126、 132,和以相對於笫2平面P2、 P4傾斜的狀態位於比該大輥 126、 132還下遊的直徑比較小的小輥125、 131，令由第1帶饋送機構 121、 127施加了扭轉的ACF帶51的扭轉復元，所以，可穩定地進行ACF帶51的運送路徑的變更。
進而，根據本實施方式，在粘結膜帶饋送機構18、 27的第1帶饋 送機構121、 127中，在沿位於第1平面P,， P3的大輥123、 129的凹 型槽141運送ACF帶51後，沿設置在大輥123、 129的下遊側附近的 小輥124、 130的倒梯形槽142運送ACF帶51，所以，在藉助具有截面 矩形狀的凹型槽141的大輥123、 129限制ACF帶51的寬度方向的移 動的狀態下，可確保該ACF帶51的穩定的運送，並且藉助具有截面倒 梯形的倒梯形槽142 (特別是形成在其側面的斜度(V型面))的小輥
124、 130對ACF帶51賦予充分的角度而對ACF帶51施加扭轉。此外， 同樣，在粘結膜帶饋送機構18、 27的第2帶饋送機構122、 128中， 在沿設置在位於第2平面P2、 P4的大輥126、 132的上遊側附近的小輥
125、 131的倒梯形槽142運送ACF帶51後，沿大輥126、 132的凹型 槽141運送ACF帶51，所以在藉助具有截面矩形狀的凹型槽141的大 輥126、 132限制ACF帶51的寬度方向的移動的狀態下，可確保該ACF 帶51的穩定的運送，並且藉助具有截面倒梯形狀的倒梯形槽142 (特 別是形成在其側面的斜度(V型面))的小輥125、 131對ACF帶51賦 予充分的角度，而令施加在ACF帶51上的扭轉復元，
另外，在上述實施方式中，分別在供給側張力機構31以及回收側 張力機構32中設置控制裝置67，但不限定於此，作為控制裝置67， 也可設置一個控制裝置，綜合地控制供給側張力機構31以及回收側張 力機構32雙方。
此外，在上述實施方式中，舉例說明了如圖1所示ACF貼附裝置 10所示那樣設置自動接合機構38以及自動回收機構40並藉助粘結膜 帶饋送機構(供給側立體饋送機構)18以及粘結膜帶饋送機構(回收 側立體運送機構)27立體地運送ACF帶51的情況，但不限定於此，也 可同樣地應用於下述情況，即如圖5所示的ACF貼附裝置10，那樣，不 設置自動接合機構38以及自動回收機構40，從供給機構11的供給巻 軸12放出的ACF帶51在一個平面內被運送，藉助通常的回收機構46 的回收巻軸47巻取而進行回收.
其他實施方式
接著，藉助圖10至圖12對本發明的其他的實施方式的粘結膜貼 附裝置進行說明。如圖10所示，本實施方式的ACF貼附裝置(粘結膜貼附裝置)210 是將作為粘結膜的各向異性導電膜(ACF)貼附在面板基板或電子部件 等的粘結對象部件上的裝置，包括供給由ACF部件和覆蓋帶構成的 ACF帶(粘結膜帶)51的供給機構211;沿既定的運送路徑運送從供給 機構211供給的ACF帶51的帶運送機構215;將由上述帶運送機構215 運送的ACF帶51中作為貼附對象的ACF部件的一部分壓接在粘結對象 部件52上的帶壓接機構233;回收由於ACF部件的一部分被上述帶壓 接機構33壓接而主要僅殘留覆蓋帶的使用後的ACF帶51的自動回收 機構240。
其中，供給機構211具有巻繞並收容ACF帶51的供給巻軸212、 和以從供給巻軸212放出ACF帶51的方式驅動供給巻軸212旋轉的供 給側驅動軸213。另外，在供給機構211的供給巻軸212的附近設置有 自動接合機構238,將從預備的供給巻軸(未圖示)供給的ACF帶(未 圖示)自動接合在現在的供給巻軸212的ACF帶51上。
帶運送機構215，作為在滾動接觸的狀態下支承ACF帶51的輥， 具有固定輥216、 217、供給側立體運送機構(粘結膜帶饋送機構)218、 供給側可動輥223、固定輥224、 225、回收側可動輥226以及回收側 立體運送機構(粘結膜帶運送機構)227，在該順序下，拉繞從供給機 構211供給的ACF帶51。另外，供給側可動輥233以及回收側可動輥 226分別通過供給側可動輥保持機構231以及回收側可動輥保持機構 232保持成在重錘(未圖示)的作用下被施加有向上方的拉引力的狀態 在上下方向移動自如，分別作為供給側階梯輥以及回收側階梯輥起作 用。此外，供給側立體運送機構218具有供給側立體運送用固定輥219、 220、 211、 222,構成為可一邊改變運送ACF帶51的平面一邊立體地 運送ACF帶51。進而，回收側立體運送機構227具有回收側立體運送 用固定輥228、 229、 230，構成為可一邊改變ACF帶51的運送平面一 邊立體地運送ACF帶51。
帶壓接機構233具有栽置粘結對象部件52的墊板234和ACF粘著 機構235， ACF粘著機構235向載置在墊板234上的粘結對象部件52 推壓由帶運送機構215運送來的ACF帶51，由此將ACF帶51中成為貼 附對象的ACF部件(圖11的附圖標記51a)的一部分壓接在粘結對象 部件52上。在此，在ACF粘著機構235的附近設置有帶切斷機構236，在 ACF帶51的ACF部件51a中貼附在黏結對象部件52上的部分的兩端位 置上形成切口 (參照圖11的附圖標記51c);帶拉出機構237，將由帶 運送機構215運送的ACF帶51僅拉出應貼附到粘結對象部件52上的 需要的長度並位於粘結對象部件52上。另外，如圖11所示，基於帶 切斷機構236的ACF帶51的切斷僅對ACF部件51a進行，不對覆蓋帶 51b進行。
自動回收機構2"具有回收巻軸241，以使用後的ACF帶51巻 繞在其外周槽(外周部)241a的一部分上的狀態運送該ACF帶51;驅 動回收巻軸241旋轉的回收側驅動軸242;回收由回收巻軸241運送的 使用後的ACF帶51的回收箱244。在此，如圖12所示，回收巻軸241 中，在巻繞ACF帶51的外周槽241a上設置由多個真空吸引孔構成的 真空吸引部243，通過與回收巻軸241的旋轉聯動地切換各真空吸引部 243的吸引狀態，使外周槽241a中僅位於回收巻軸241的上半部分的 部分始終處於吸引狀態。
接著，對這樣構成的ACF貼附裝置210的動作進行i兌明。
在圖10所示的ACF貼附裝置210中，ACF帶51藉助供給機構211 從由供給側驅動軸213驅動旋轉的供給巻軸212放出，以下述方式運 送經由固定輥216、 217、粘結膜帶饋送機構(供給側立體運送機構) 218、供給側可動輥223以及固定輥224而位於載置在壓接機構233的 墊板234上的粘結對象部件52上。
更具體而言，在由帶夾緊機構(未圖示)夾緊ACF帶51的狀態下， 若令供給巻軸212伴隨著供給側驅動軸213的旋轉而向圖示方向旋轉， 則ACF帶51從供給巻軸212被放出，並且該ACF帶51經由帶運送機 構215 (特別是固定輥216、 217、供給側立體運送機構218以及供給 側可動輥223 )運送，在該ACF帶51上產生矛>弛。在此，由供給側可 動輥保持機構231保持的供給側可動輥223在未圖示的重錘的作用下 上升。此外，在供給側可動輥223上升而到達上限位置的時刻，停止 供給側驅動軸213的旋轉驅動。另外，在該時刻成為從供給機構211 的供給巻軸212臨時放出應貼附在粘結對象部件52上的所需的長度的 ACF帶51並儲存在供給巻軸212和固定輥224之間的狀態.
在該狀態下，通過放開帶夾緊機構(未圖示)而解除ACF帶51的夾緊，並且停止供給側驅動軸213的旋轉驅動，若在該狀態下，藉助 帶拉出機構237將ACF帶51向圖示方向拉出，則由供給側可動輥保持 機構231保持的供給側可動輥223開始下降，儲存在供給巻軸212和 固定輥2"之間的ACF帶51向圖示的方向移動。由此，在供給側可動 輥"3下降而到達下限位置時，令ACF帶51中應貼附在粘結對象部件 52上的ACF部件位於粘結對象部件52上。
而且，在帶壓接機構233中，令ACF粘著機構235向載置在墊板 234上的粘結對象部件52移動，通過推壓位於在粘結對象部件52上的 ACF帶51而將ACF帶51中成為貼附對象的ACF部件(圖2的附圖標記 51a)的一部分壓接在粘結對象部件52上。另外，此時，在ACF帶51 的ACF部件51a中貼附在粘結對象部件52上的部分的兩端位置上，借 助帶切斷機構236在既定的時刻切入切口 51c。
在此，壓接ACF部件51a而主要僅殘留覆蓋帶51b的使用後的ACF 帶51經由固定輥"5、回收側可動輥以及粘結膜帶饋送機構227 而被運送，最終，由自動回收機構40回收。
更具體而言，在藉助帶夾緊機構(未圖示)夾緊ACF帶的狀態下， 若令回收巻軸241伴隨回收側驅動軸242的驅動旋轉而向圖示的方向 旋轉，則回收巻軸241以使用後的ACF帶51巻繞在其外周槽241a的 一部分上的狀態運送該ACF帶51。即，回收巻軸241通過與其旋轉聯 動地切換各真空吸引部243的吸引狀態，使外周槽241a中僅位於回收 巻軸241上半部分的部分始終處於吸引狀態，在回收巻軸241a的外周 槽241a上，在上遊側^皮拉近並固定的使用後的ACF帶51在被運送小 於一周的既定長度後，在下遊側的既定的拉離位置(參照圖12的附圖 標記R )被拉離。由此，從回收巻軸241在外周槽241a的拉離位置(參 照圖12的附圖標記R)被拉離的使用後的ACF帶51以在其自重作用下 在上下方向上(回收側可動輥226的移動方向)下垂的狀態運送，最 終由回收箱244回收。另外，巻繞在回收巻軸241上的使用後的ACF 帶51以該ACF帶51中所包含的覆蓋帶51b中沒有貼附ACF部件51a 一側的面(圖2所示的覆蓋帶51b則為其上表面)與回收巻軸241的 外周槽241a接觸的狀態被巻繞。
另外，在上述這樣的藉助自動回收240回收^_用過的ACF帶51的 過程中，產生向下方拉引使用後的ACF帶51的力。由此，由回收側可動輥保持機構232保持的回收側可動輥226在未圖示的重錘作用下克 服向上方被施加的拉引力而下降。另外，若回收側可動輥226下降而 到達下限位置，則停止回收側驅動軸242的旋轉。
在該狀態下，通過放開帶夾緊機構(未圖示)而解除ACF帶51的 夾緊，並停止回收側驅動軸242的旋轉驅動，在該狀態下，若藉助帶 拉出機構237向圖示方向拉出ACF帶51，則應由自動回收機構240回 收的使用後的ACF帶51產生鬆弛，在未圖示的重錘的作用下回收側可 動輥上升。而且，若藉助帶拉出機構237將應貼附在粘結對象部 件52上的所需的長度的ACF帶51拉出，則回收側可動輥26到達上限 位置。
根據本實施方式，藉助由回收側驅動軸242驅動旋轉的回收側巻 軸241以使用後的ACF帶51巻繞在其外周槽241a的一部分上的狀態 運送該ACF帶51，之後，將ACF帶51在該回收巻軸241的下遊側的既 定的拉離位置(參照圖12的附圖標記R)拉離，以藉助其自重在上下 方向(回收側可動輥226的移動方向)上下垂的狀態被運送，最終由 回收箱224回收，所以，不需要回收巻軸241的交換作業，可提高裝 置的工作效率。
此外，根據本實施方式，巻繞在回收巻軸241上的使用後的ACF 帶51，以該ACF帶51中所包含的覆蓋帶51b中沒有貼附ACF部件51a 側的面與回收巻軸241的外周槽241a接觸的方式被巻繞，所以，可有 效地防止使用後的殘留在ACF帶51上的ACF部件51a附著在回收巻軸 241等上，可無需維修。
權利要求
1.一種粘結膜帶饋送機構，運送含有帶狀的粘結膜的粘結膜帶，其特徵在於，包括第1帶饋送機構，對在第1平面內運送的粘結膜帶施加扭轉，同時向與上述第1平面不同的第2平面運送該粘結膜帶；第2帶饋送機構，為了使以被上述第1帶饋送機構施加有扭轉的狀態運送的粘結膜帶在上述第2平面內運送，使施加在該粘結膜帶上的扭轉復元，同時運送該粘結膜帶。
2. 如權利要求1所述的粘結膜帶饋送機構，其特徵在於，上述第 1帶饋送機構具有位於上述笫1平面內的直徑比較大的大輥、和以相對 於上述第1平面傾斜的狀態位於比該大輥靠下遊側的直徑比較小的小。
3. 如權利要求1或2所述的粘結膜帶饋送機構，其特徵在於，上 述第2帶饋送機構具有位於上述第2平面內的直徑比較大的大輥、和 以相對於上述第2平面傾斜的狀態位於比該大輥靠上遊側的直徑比較 小的小輥。
4. 如權利要求2所述的粘結膜帶饋送機構，其特徵在於，上述大 輥具有凹型槽，該凹型槽具有與粘結膜帶的寬度對應的大小且截面為 矩形。
5. 如權利要求2所述的粘結膜帶饋送機構，其特徵在於，上述小 輥具有倒梯形槽，該倒梯形槽具有與粘結膜帶的寬度對應的大小且截 面為倒梯形。
6. 如權利要求1所述的粘結膜帶饋送機構，其特徵在於，被上述 第1帶饋送機構以及上述第2帶饋送機構運送的粘結膜帶是其上遊側的部分和下遊側的部分相互立體地交叉。
7. 如權利要求1所述的粘結膜帶饋送機構，其特徵在於，上述粘 結膜帶是作為上述粘結膜含有帶狀的各向異性導電膜的各向異性導電 膜帶。
全文摘要
本發明提供一種粘結膜帶饋送機構，以高自由度設定由粘結膜貼附裝置運送的粘結膜帶的運送路徑，可柔性地對應粘結膜貼附裝置的構成的變更等。在運送含有帶狀的粘結膜的粘結膜帶的粘結膜帶饋送機構中，包括第1帶饋送機構，對在第1平面內運送的粘結膜帶施加扭轉，同時向與上述第1平面不同的第2平面運送該粘結膜帶；第2帶饋送機構，為了使以被上述第1帶饋送機構施加有扭轉的狀態運送的粘結膜帶在上述第2平面內運送，使施加在該粘結膜帶上的扭轉復元，同時運送該粘結膜帶。
文檔編號B65H23/04GK101602446SQ20091014894
公開日2009年12月16日 申請日期2005年8月16日 優先權日2004年9月30日
發明者鈴木正廣, 高橋利男 申請人:芝浦機械電子裝置股份有限公司