聚合性組合物、濾色器、濾色器的製造方法和固體攝像元件的製作方法
2023-05-20 11:34:16
專利名稱：聚合性組合物、濾色器、濾色器的製造方法和固體攝像元件的製作方法
技術領域：
本發明涉及聚合性組合物、濾色器、濾色器的製造方法和固體攝像元件。
背景技術：
作為聚合性組合物，例如有在具有烯屬不飽和鍵的聚合性化合物中加入光聚合引 發劑而成的組合物。這樣的聚合性組合物由於通過照射光發生聚合固化，因此在光固化性 墨液、感光性印刷版、濾色器、各種光致抗蝕劑等中使用。另外，作為聚合性組合物，例如也有通過光的照射而產生酸，將產生的酸作為催化 劑的其他的方式。具體而言，利用將產生的酸作為催化劑的色素前體的發色反應，在用來圖 像形成、防偽、能量線量檢測的材料中使用，或者在利用將產生的酸作為催化劑的分解反應 的半導體製造用、TFT製造用、濾色器製造用、超小機器部件製造用等的正性抗蝕劑等中使用。近年，在各種的用途中都特別地需要對短波長(365nm或405nm)的光源具有感受 性的聚合性組合物，對於這樣的對短波長的光源顯示優良的感度的化合物而言，例如，其對 光聚合引發劑的要求也逐漸提高。然而，一般地說，感度方面優良的光聚合引發劑在穩定性 方面有欠缺，因此，需要一種在感度提高的同時也滿足經時穩定性的光聚合引發劑。因此，作為在聚合性組合物中使用的光聚合引發劑，在美國專利第4255513號說 明書、美國專利第4590145號說明書、日本特開2000-80068號公報和日本特開2001-233842 號公報中提出了肟酯衍生物。但是，這些公知的肟酯化合物對于波長365nm、波長405nm的 吸光度低，因此從感度的觀點出發，還並不是滿足要求的化合物。另外，作為聚合性組合物，現狀也是期待一種經時穩定性優良並且對於365nm、 405nm等短波長的光具有優良的感度的組合物。進而，例如，在日本特開2000-314956號公報中，公開了含肟化合物的濾色器用的 著色放射線敏感性組合物，該聚合物的經時穩定性以及對短波長的光的感度還並不充分。 另外，在濾色器用的著色放射線敏感性組合物中，圖案形成後的色相的再現性也是新的課 題，迫切希望對因經時而著色性發生變化的問題進行改善。另一方面，對於圖像傳感器用濾色器而言，為了實現基於CCD等的固體攝像元件 的高聚光性以及基於高色分離性的畫質提高，因此對於濾色器的高著色濃度、薄膜化有著 高要求。為了得到高著色濃度而大量添加色材時，在忠實地再現2. 5μπι以下的細微的像 素圖案的形狀時感度會不足，整體上存在多發生圖案的缺失的趨勢。此外，為了消除這種缺 失，需要更高能量的光照射，因此曝光時間變長，製造上的成品率下降明顯。基於以上的事 實，對於濾色器用的著色放射線敏感性組合物來說為如下現狀，從高濃度地含有色材(著 色劑)且需要得到良好的圖案形成性方面考慮，希望感度較高。
發明內容
本發明的第1個目的在於提供一種聚合性組合物，其對波長365nm、405nm的光的感度高，經時穩定性優異，進而能夠形成可以抑制因加熱經時而造成的變色的固化膜。本發明的第2個目的在於提供一種濾色器，其圖案形狀良好，與支持體的密接性 優異，進而，具有因加熱經時而造成的變色得到了抑制的著色圖案，本發明還提供可以以高 生產率製造該濾色器的製造方法以及具備該濾色器的固體攝像元件。本發明人等不斷地進行了深入研究，結果發現，通過使用在特定位置具有雙鍵或 三鍵的肟化合物，對于波長365nm、405nm的光具有良好的吸光度，且經時穩定性也優異，進 一步也可以抑制因加熱經時而造成的著色。用於解決上述課題的具體的方法示出如下。用於實現上述課題的具體的方法如以下所述。 一種聚合性組合物，其特徵在於，至少含有(A)下述通式(1)所表示的光聚合 引發劑、(B)著色劑、(C)聚合性單體、(D)粘結劑聚合物和(E)溶劑。
權利要求
一種聚合性組合物，其至少含有(A)下述通式(1)所表示的光聚合引發劑、(B)著色劑、(C)聚合性單體，(D)粘結劑聚合物和(E)溶劑，所述通式(1)中，R1表示芳香族基團，R2表示用所述通式(2 1)～(2 3)中的任一個所表示的基團，R3表示碳數1～5的烷基或芳基，A表示單鍵或 C(＝O) ，另外，所述通式(2 1)～(2 3)中，X1、X2和Y各自獨立地表示氫原子、烷基或芳基，Z表示能夠形成含碳 碳雙鍵的任意的環結構的原子團。FPA00001231127000011.tif
2.根據權利要求1所述的聚合性組合物，其中，所述通式(1)中的R1為下述通式(3) 所示的取代基，
3.根據權利要求1或2所述的聚合性組合物，其中，所述(B)著色劑為顏料或染料。
4.根據權利要求3所述的聚合性組合物，其中，相對於聚合性組合物的總固體成分，顏 料或染料為50質量％以上80質量％以下。
5.根據權利要求1 4中的任一項所述的聚合性組合物，其中，所述(C)聚合性單體具有酸性基團。
6.根據權利要求1 5中的任一項所述的聚合性組合物，其中，所述⑶粘結劑聚合物 具有雙鍵。
7.根據權利要求1 6中的任一項所述的聚合性組合物，其還含有(F)增感劑。
8.根據權利要求7所述的聚合性組合物，其還含有(G)共增感劑。
9.一種濾色器，其在支持體上具有使用所述權利要求1 8中的任一項所述的聚合性 組合物形成的著色圖案。
10.一種濾色器的製造方法，其包括在支持體上塗布所述權利要求1 8中的任一項所述的聚合性組合物，形成聚合性組 合物層的工序；隔著掩模曝光該聚合性組合物層的工序；顯影曝光後的所述聚合性組合物層，形成著色圖案的工序。
11. 一種固體攝像元件，其具備權利要求9所述的濾色器。
全文摘要
本發明提供一種聚合性組合物，其特徵在於，至少包含(A)下述通式(1)所表示的光聚合引發劑、(B)著色劑、(C)聚合性單體、(D)粘結劑聚合物和(E)溶劑，其中通式(1)中，R1表示芳香族基團，R2表示通式(2-1)～(2-3)中的任一個所表示的基團，R3表示烷基等，A表示單鍵或-C(＝O)-。X1、X2和Y表示氫原子、烷基等，Z表示能夠形成含碳-碳雙鍵的任意的環結構的原子團。
文檔編號C08F2/44GK101981063SQ200980110850
公開日2011年2月23日 申請日期2009年2月23日 優先權日2008年3月28日
發明者土村智孝, 牧野雅臣 申請人:富士膠片株式會社