一種可連續化生產的加熱反應爐的製作方法

2023-05-19 22:28:06

專利名稱：一種可連續化生產的加熱反應爐的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種反應爐，尤其是一種可連續化生產的加熱反應爐。
技術背景目前，普通反應爐難以實現連續生產，且功能單一，效率不高，或結構復 雜，生產成本高。如韓國大田広域市漢沃克有限公司的樸根燮、南承宰、李喆魯、白秉峻發明並於2002年5月17日申請專利的"化合物半導體製造用的水 平反應爐"(申請號02119870，公開號1386898,
公開日2002年12月25 日)，它是一種可以形成大面積均勻薄膜的化合物半導體製造用水平反應爐，在 化合物半導體製造用水平反應爐中，含有密閉的容器形狀的反應爐外殼和具有 幾個容納基板的基板容納部分的上面，所述上面包括位於上述反應爐外殼內部的接受器、接受器加熱裝置、從該接受器的中央下部供給v族氣體的v族氣 體供應裝置、向著上述接受器上面的中央，從上部供給m族原料及輸送氣體的 m族原料及輸送氣體供應裝置以及把反應爐內的反應氣排出反應爐外部的反應 氣排出裝置，它結構複雜，生產成本高，且功能單一，效率不高。 發明內容本發明的目的是提供一種既可實現連續反應、也可用作真空蒸餾爐、且效 率較高的可連續化生產的加熱反應爐。本發明解決其技術問題所採用的技術方案是送料系統11與安裝了加熱器7的反應腔8相聯接，反應腔8的另一端與產品收集系統相聯接，控制系統分別 與送料系統11、反應腔8和產品收集系統相聯接；所述送料系統11包括螺旋送 料器10、中間倉12和密封料鬥倉13組成，密封料鬥倉13的下部與中間倉12 的上部密封聯接，中間倉12的下部與螺旋送料器10的內腔相聯接；螺旋送料 器10的內腔與反應腔8相聯接。也可在所述送料系統的螺旋送料器10、中間倉 12、或反應腔8上設置有介質輸入口。所述產品收集系統由過渡倉4、產品收集倉5和存儲倉15構成，過渡倉4的一端與反應腔8相聯接，產品收集倉5的上 部與過渡倉4的下部相配合聯接，產品收集倉5的下部與存儲倉15相配合聯接， 也可在存儲倉15上設置介質氣入口 6。也可在過渡倉4的上部設置有冷凝收集 器2。並可在過渡倉4與冷凝收集器2之間設置有安全洩壓閥3。本發明所述的反應腔8由金屬外套、旋轉腔體及其旋轉支撐架構成，旋轉 腔體和旋轉支撐架安裝在金屬外套內；反應腔8的金屬外套內安裝有加熱器7。 所述加熱器7可採用電阻絲、中頻感應器、微波、等離子弧、或雷射裝置、或 其任意組合形式製成。所述反應腔8的旋轉腔體可採用莫來石、石英材料、石 墨材料、或聚四氟乙烯材料、或其任意組合的材料製成，旋轉腔體的兩端分別 與螺旋送料器10和過渡倉4之間採用動態密封配合。所述反應腔(8)與產品收 集系統聯接端的高度小於與送料系統(ll)聯接端的高度，也可在反應腔8上設 置散熱系統。也可在與過渡倉4相聯接的冷凝收集器2連接管道上設置有真空 泵l。本發明的有益效果是本發明既可作為一種連續化生產的加熱真空反應爐， 也可以用作真空蒸餾爐，且生產效率較高。它可應用於合金的冶煉。


圖l是本發明的結構示意圖。圖中l-真空泵，2-冷凝收集器，3-安全洩壓閥，4-過渡倉，5-產品收集 倉，6-介質氣入口， 7-加熱器，8-反應腔，9-密封裝置，10-螺旋送料器，11-送料系統，12-中間倉，13-密封料鬥倉，14-物料倉，15-存儲倉。
具體實施方式
本發明的送料系統11與安裝了加熱器7的反應腔8相聯接，反應腔8的另 一端與產品收集系統相聯接，控制系統分別與送料系統11、反應腔8和產品收 集系統相聯接；所述送料系統11包括螺旋送料器10、中間倉12和密封料鬥倉 13組成，所述密封料鬥倉13可採用兩個密封料鬥倉並聯，也可在密封料鬥倉 13的上部安裝物料倉14;密封料鬥倉13的下部與中間倉12的上部密封聯接，中間倉12的下部與螺旋送料器10的內腔相聯接；螺旋送料器10的內腔與反應腔8相聯接。也可在所述送料系統的螺旋送料器10、中間倉12、或反應腔8上 設置有介質輸入口，以便於加入介質料。所述產品收集系統由過渡倉4、產品收 集倉5和存儲倉15構成，過渡倉4的一端與反應腔8相聯接，產品收集倉5的 上部與過渡倉4的下部相配合聯接，產品收集倉5的下部與存儲倉15相配合聯 接，固態或液態產物先進入產品收集倉5，再進入由l至多個帶密封裝置和保溫 裝置組成的可充填介質氣體的存儲倉15，也可在存儲倉15上設置介質氣入口 6， 以便於通過設置的介質氣入口 6向存儲倉15內加入介質氣，使存儲倉15內儲 存的物質與介質氣進行反應或對存儲倉15內儲存的物質進行處理。也可在過渡 倉4的上部設置有冷凝收集器2，所述冷凝收集器2上設有1個、或2個以上的 冷凝收集器，每個冷凝收集器可同時或分開單獨使用，以方便對產品進行蒸餾、 冷凝處理，也還可在過渡倉4與冷凝收集器2之間設置安全洩壓閥3，以防止各 種安全事故發生。也可在與過渡倉4相聯接的冷凝收集器2連接管道上設置真 空泵l，它可實現較高的真空度。本發明所述的反應腔8可由金屬外套、旋轉腔體及其旋轉支撐架構成，所 述反應腔(8)與產品收集系統聯接端的高度小於與送料系統(11)聯接端的高度， 即反應腔8可按一定傾斜角度安裝，以便於物料向下運動；旋轉腔體和旋轉支 撐架安裝在金屬外套內；反應腔8的金屬外套內安裝有加熱器7。所述加熱器7 可採用電阻絲、中頻感應器、微波、等離子弧、或雷射裝置、或其任意組合形 式製成，加熱器7可製成預熱段、反應段、蒸餾段3個功能段。所述反應腔8 的旋轉腔體可採用莫來石、石英材料、石墨材料、或聚四氟乙烯材料單獨製成、 或分段將上述材料任意形式製成，腔內壁可制為光滑面，也可製成帶肋的不規 則面，腔內中心可根據需要，可安裝撥料板混料；旋轉腔體可在0-90度之間調 整，旋轉腔體旋轉速度可根據需要調整。旋轉腔體的兩端分別與螺旋送料器10 和過渡倉4之間採用動態密封配合，既可採用機械密封，也可採用盤根密封、0 型圈密封、或上述幾種形式組合式密封、或其它組合式密封。也可在反應腔8上設置散熱系統，以增強散熱效果。所述控制系統可由計算機、電控櫃及自動 控制裝置構成，通過計算機、電控櫃及自動控制系統構成的控制系統可實現連 續化生產。具體工作原理簡要說明如下如物料由甲乙兩個物料倉14分別進入密封料鬥倉13，再通過控制倉門進入中間倉12進行布料，通過控制流量送入螺旋送料 器10,經螺旋送料器10給反應腔8供料，物料在旋轉的有一定傾斜角度的反應 腔8內進行攪拌加熱並進行相應的反應，同時物料在重力的作用下流向過渡倉4， 高溫反應產生的氣體由真空泵1抽入冷凝收集器2進行蒸餾、冷凝和除塵，可 對廢氣進行處理和再利用，如物料蒸汽可進入冷凝收集器2進行回收，固態、 或液物料則由產品收集倉5進行收集。冷凝收集器2和產品收集倉5可由多套 組成，以提高效率。本發明可作為一種連續化生產的加熱真空反應爐，也可以 用作真空蒸餾爐；它主要是應用於合金的冶煉。參閱圖l。
權利要求
1、一種可連續化生產的加熱反應爐，其特徵是送料系統(11)與安裝了加熱器(7)的反應腔(8)相聯接，反應腔(8)的另一端與產品收集系統相聯接，控制系統分別與送料系統(11)、反應腔(8)和產品收集系統相聯接，所述送料系統(11)包括螺旋送料器(10)、中間倉(12)和密封料鬥倉(13)組成，密封料鬥倉(13)的下部與中間倉(12)的上部密封聯接，中間倉(12)的下部與螺旋送料器(10)的內腔相聯接；螺旋送料器(10)的內腔與反應腔(8)相聯接。
2、 根據權利要求1所述的一種可連續化生產的加熱反應爐，其特徵是 所述送料系統的螺旋送料器(IO)、中間倉(12)、或反應腔(8)上設置有介質輸 入口。
3、 根據權利要求1所述的一種可連續化生產的加熱反應爐，其特徵是 所述產品收集系統由過渡倉(4)、產品收集倉(5)和存儲倉(15)構成，過渡倉(4) 的一端與反應腔(8)相聯接，產品收集倉(5)的上部與過渡倉(4)的下部相配合 聯接，產品收集倉(5)的下部與存儲倉(15)相配合聯接；或在存儲倉(15)上設 置介質氣入口(6)。
4、 根據權利要求1所述的一種可連續化生產的加熱反應爐，其特徵是 過渡倉(4)的上部設置有冷凝收集器(2)。
5、 根據權利要求4所述的一種可連續化生產的加熱反應爐，其特徵是 在過渡倉(4)與冷凝收集器(2)之間設置有安全洩壓閥(3)。
6、 根據權利要求1所述的一種可連續化生產的加熱反應爐，其特徵是 所述反應腔(8)由金屬外套、旋轉腔體及其旋轉支撐架構成，旋轉腔體和旋轉 支撐架安裝在金屬外套內；反應腔(8)的金屬外套內安裝有加熱器(7)。
7、 根據權利要求7所述的一種可連續化生產的加熱反應爐，其特徵是 所述加熱器(7)採用電阻絲、中頻感應器、微波、等離子弧、或雷射裝置、或 其任意組合形式製成。
8、 根據權利要求7所述的一種可連續化生產的加熱反應爐，其特徵是所述反應腔(8)的旋轉腔體採用莫來石、石英材料、石墨材料、或聚四氟乙烯 材料、或其任意組合的材料製成，旋轉腔體的兩端分別與螺旋送料器(10)和過 渡倉(4)之間採用動態密封配合。
9、 根據權利要求1所述的一種可連續化生產的加熱反應爐，其特徵是 所述反應腔(8)與產品收集系統聯接端的高度小於與送料系統(11)聯接端的高 度，或在反應腔(8)上設置散熱系統。
10、 根據權利要求1所述的一種可連續化生產的加熱反應爐，其特徵是 與過渡倉(4)相聯接的冷凝收集器(2)連接管道上設置有真空泵(1)。
全文摘要
一種可連續化生產的加熱反應爐。它主要是解決現有普通反應爐難以實現連續生產，且功能單一，效率不高，或結構複雜，生產成本高等技術問題。其技術方案要點是送料系統(11)與安裝了加熱器(7)的反應腔(8)相聯接，反應腔(8)的另一端與產品收集系統相聯接，控制系統分別與送料系統(11)、反應腔(8)和產品收集系統相聯接，所述送料系統(11)包括螺旋送料器(10)、中間倉(12)和密封料鬥倉(13)組成，密封料鬥倉(13)的下部與中間倉(12)的上部密封聯接，中間倉(12)的下部與螺旋送料器(10)的內腔相聯接；螺旋送料器(10)的內腔與反應腔(8)相聯接。它既可作為一種可連續生產的加熱真空反應爐，也可以用作真空蒸餾爐，且生產效率較高。它可應用於合金的冶煉。
文檔編號C30B25/14GK101265572SQ20081003111
公開日2008年9月17日 申請日期2008年4月18日 優先權日2008年4月18日
發明者科 劉, 鄒愛華 申請人:劉 科;鄒愛華