晶體生長爐用速率可調式真空泵的製作方法
2023-05-21 21:27:11 2
專利名稱：晶體生長爐用速率可調式真空泵的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種真空泵，尤其涉及一種晶體生長爐用速率可調式真空泵。
背景技術：
目前，晶體生長爐都採用控制電動閥門打開角度的方法來實現對爐腔真空壓力的控制，控制真空閥門打開的角度只是改變了真空管路的通徑，來間接的改變真空泵對爐腔的抽空速率，也就是說這個運行過程中真空泵都是滿負荷工作，無形間造成了嚴重的電力資源浪費同時加快了泵的磨損速度，大大縮短了真空泵的使用壽命；而且閥門打開角度無法保證較高的控制精度，容易造成爐腔壓力波動影響晶體生長；此外，電動閥門在真空管路中時間長了會沉積一些揮發物，時間久了會導致真空管路的不通暢，對抽空會有一定的影響，而真空管路的清理會增加工時，降低工作效率，且經常拆裝真空管路也會對真空管件產生損壞。
實用新型內容本實用新型的目的在於針對上述問題，提供一種晶體生長爐用速率可調式真空泵，以解決傳統晶體生長爐用真空泵通過調節電動閥門來控制抽空速率的控制精度不高，且電動閥門會沉積揮發物造成真空管路不通的問題。本實用新型的目的是通過以下技術方案來實現一種晶體生長爐用速率可調式真空泵，包括泵體，所述泵體的進氣管與晶體生長爐相連，且泵體通過傳動機構與電機相連，所述電機與變頻器電連接。進一步的，所述晶體生長爐內設置有壓力傳感器。進一步的，所述泵體的排氣管設置有消聲器。進一步的，所述消聲器為阻性消聲器。進一步的，所述電機為減速電機。本實用新型的有益效果為，所述晶體生長爐用速率可調式真空泵通過採用變頻器來調節電機轉速，從而使得真空泵抽空速度相應改變，實現了對晶體生長爐爐腔壓力的控制，在長晶過程中通過調節頻率降低電機轉速從而可以顯著節約電能30% 40%，且大大減少真空泵高速運轉的時間，從而減少了真空泵的磨損，可延長真空泵使用壽命3 4倍，此外，可省去真空管路中的電動閥門，從而解決了電動閥門沉積雜物造成真空管路不通暢的問題。
圖I為本實用新型晶體生長爐用速率可調式真空泵的模塊結構示意圖；圖中I、泵體；2、電機；3、變頻器。
具體實施方式
以下結合附圖並通過具體實施方式
來進一步說明本實用新型的技術方案。請參照圖I所示，圖I為本實用新型晶體生長爐用速率可調式真空泵的結構示意圖；於本實施例中，一種晶體生長爐用速率可調式真空泵，包括泵體1，所述泵體I的進氣管與晶體生長爐相連，所述晶體生長爐內設置有壓力傳感器，所述泵體I通過傳動機構與電機2相連，所述電機2為減速電機，且泵體I的排氣管設置有消聲器，所述消聲器為阻性消聲器，所述電機2與變頻器3電連接。工作時，只需通過變頻器3來調節電機2轉速，從而使得真空泵抽空速度相應改變，晶體生產爐內設置有壓力傳感器，根據壓力傳感器檢測的數據來相應的調節，從而實現對晶體生長爐爐腔壓力的控制；本實用新型在長晶過程中，通過調節頻率降低電機2的轉 速從而可以顯著節約電能30% 40%，且大大減少真空泵高速運轉的時間，從而減少了真空泵的磨損，可延長真空泵使用壽命3 4倍，此外，可省去真空管路中的電動閥門，從而解決了電動閥門沉積雜物造成真空管路不通暢的問題。以上實施例只是闡述了本實用新型的基本原理和特性，本實用新型不受上述實施例限制，在不脫離本實用新型精神和範圍的前提下，本實用新型還有各種變化和改變，這些變化和改變都落入要求保護的本實用新型範圍內。本實用新型要求保護範圍由所附的權利要求書及其等效物界定。
權利要求1.一種晶體生長爐用速率可調式真空泵，包括泵體，其特徵在於所述泵體的進氣管與晶體生長爐相連，且泵體通過傳動機構與電機相連，所述電機與變頻器電連接。
2.根據權利要求I所述的晶體生長爐用速率可調式真空泵，其特徵在於所述晶體生長爐內設置有壓力傳感器。
3.根據權利要求I所述的晶體生長爐用速率可調式真空泵，其特徵在於所述泵體的排氣管設置有消聲器。
4.根據權利要求3所述的晶體生長爐用速率可調式真空泵，其特徵在於所述消聲器為阻性消聲器。
5.根據權利要求I所述的晶體生長爐用速率可調式真空泵，其特徵在於所述電機為減速電機。
專利摘要本實用新型公開一種晶體生長爐用速率可調式真空泵，包括泵體，所述泵體的進氣管與晶體生長爐相連，且泵體通過傳動機構與電機相連，所述電機與變頻器電連接。所述晶體生長爐用速率可調式真空泵通過採用變頻器來調節電機轉速，從而使得真空泵抽空速度相應改變，實現了對晶體生長爐爐腔壓力的控制，在長晶過程中通過調節頻率降低電機轉速從而可以顯著節約電能30%～40%，且大大減少真空泵高速運轉的時間，從而減少了真空泵的磨損，可延長真空泵使用壽命3～4倍，此外，可省去真空管路中的電動閥門，從而解決了電動閥門沉積雜物造成真空管路不通暢的問題。
文檔編號C30B35/00GK202673645SQ20122028571
公開日2013年1月16日 申請日期2012年6月15日 優先權日2012年6月15日
發明者惠夢君, 於永貴, 徐向眾, 徐瑞豐, 楊勝建 申請人:無錫力匯光電科技有限公司