一種蒸鍍複合金屬膜層用的子母坩堝裝置的製作方法

2023-04-24 06:51:07 1

本發明涉及一種蒸發製備金屬膜層裝置，尤其是一種蒸鍍複合金屬膜層用的子母坩堝裝置。

背景技術：

在材料表面處理應用領域，蒸發鍍膜製備金屬膜層是常採用的方法，通常的蒸發鍍膜是一個坩堝內放一種蒸發材料，由一把電子槍控制蒸發，要想獲得不同金屬+合金材料+不同金屬等的多層複合塗層，需要多個坩堝，多把電子槍。由於每個坩堝都存在一定的有效蒸鍍範圍，多個坩堝的蒸鍍範圍不同，會造成膜層的不均勻性。

為此，需要開發一種新型的坩堝電子槍蒸發製備金屬膜層的設備。

技術實現要素：

本發明的目的在於提供一種製備高效、膜層均勻和人成本低的蒸發製備金屬膜層的設備。

為了實現上述目的，本發明採用如下技術方案：

一種蒸鍍複合金屬膜層用的子母坩堝裝置，包括基座，其特徵是：在基座上設有母坩堝和若干個子坩堝模塊；所述基座上預留有母坩堝安裝槽，所述母坩堝安裝在所述母坩堝安裝槽中；所述的若干個子坩堝模塊是圍繞母坩堝的外輪廓均布在基座上的；每個所述的子坩堝模塊包括子坩堝底座、子坩堝、電子槍和驅動缸；所述子坩堝底座鉸接在所述基座的表面；所述子坩堝和電子槍均固定在所述子坩堝底座表面，所述驅動缸的推桿連接在所述子坩堝的底部；所述子坩堝可相對基座在母坩堝的外周上方翻轉；每個所述的子坩堝與母坩堝之間均設有傾斜於基座的表面設置的引流槽；所述引流槽的一端傾斜地延伸至母坩堝上方，另一端朝向子坩堝；所述子坩堝可相對基座翻轉至引流槽的上方。

本發明的工作原理如下：

將所需金屬放置於子堝內，通過控制各個電子槍預熱及開關。然後通過控制驅動裝置，從而控制送料，讓金屬從子坩堝中流出，通過引流槽，流向主坩堝，從而在主坩堝內形成合金溶液。通過配合周圍的子坩堝的不同單質金屬，最終可獲得多種組合的、膜層均勻性的不同種類合金複合塗層。

為了保證安裝設備時能準確定位，優選的是，所述基座還設置有供驅動缸的推桿通過的避空位。

為了確保坩堝內的金屬液能順利導入引流槽，優選的是，所述引流槽與所述基座形成傾斜度為10°～25°。

為了保證工作過程中的安全性、運輸方便且與達到設計效果，優選的是，所述基座外輪廓為扇形；坩堝外輪廓為圓盤狀。

附圖說明

圖1是實施例1中一種蒸鍍複合金屬膜層用的子母坩堝裝置的側視結構示意圖；

圖2是實施例1中一種蒸鍍複合金屬膜層用的子母坩堝裝置的立體結構示意圖。

附圖標記說明：1-基座；2-母坩堝；3-子坩堝模塊；4-母坩堝安裝槽；5-子坩堝底座；6-子坩堝；7-電子槍；8-驅動氣缸；9-避空位；10-引流槽。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本發明進行進一步說明。

如圖1-2所示，一種蒸鍍複合金屬膜層用的子母坩堝裝置，包括基座1，其特徵是：在基座1上設有1個母坩堝2和4個子坩堝模塊3；基座1上預留有母坩堝安裝槽4，母坩堝2安裝在母坩堝安裝槽4中；4個子坩堝模塊3是圍繞母坩堝的外輪廓均布在基座上的。

每個子坩堝模塊3包括子坩堝底座5、子坩堝6、電子槍7和驅動缸8；子坩堝底座5鉸接在基座1的表面；子坩堝6和電子槍7均固定在子坩堝6底座表面，驅動缸8的推桿連接在子坩堝6的底部；子坩堝6可相對基座1在母坩堝2的外周上方翻轉；每個子坩堝6與母坩堝2之間均設有傾斜於基座1的表面設置的引流槽10；引流槽10的一端傾斜地延伸至母坩堝2上方，另一端朝向子坩堝6；子坩堝6可相對基座2翻轉至引流槽10的上方

如圖2所示，基座1外輪廓為扇形，母坩堝2和子坩堝6外輪廓均為圓盤狀；基座1還設置有供驅動缸8的推桿通過的避空位9；引流槽10與基座1形成傾斜度為15°。

將所需金屬放置於各子坩堝6內，通過控制各個電子槍7預熱及開關。然後通過控制驅動缸8，從而控制送料，讓金屬從子坩堝6中流出，通過引流槽7，流向母坩堝2，從而在主坩堝2內形成合金溶液。通過配合周圍的子坩堝6的不同單質金屬，最終可獲得多種組合的、膜層均勻性的不同種類合金複合塗層。

雖然本發明是通過具體實施例進行說明的，本領域技術人員應當明白，在不脫離本發明範圍的情況下，還可以對本發明進行各種變換及等同替代。另外，針對特定情形或應用，可以對本發明做各種修改，而不脫離本發明的範圍。因此，本發明不局限於所公開的具體實施例，而應當包括落入本發明權利要求範圍內的全部實施方式。