Mems閥運行輪廓的製作方法
2023-05-21 03:55:36 2
專利名稱：Mems閥運行輪廓的製作方法
技術領域：
本公開總的涉及微機電系統(MEMS)，且更特定地涉及用於實現來自MEMS閥的修改的輸出響應的閥輪廓。
背景技術：
在此部分中的陳述僅提供了與本公開相關的背景信息且可以或可以不構成現有技術。典型的微機電系統(MEMS)控制閥是使用微製造技術合併在矽基片上的微閥。這些系統具有帶有在微米範圍內測量的特徵的機械部件和電部件。多種微閥裝置已用於控制流體迴路內的流體流動。典型的微閥裝置包括通過裝置的固定的體部分支承且運行地聯接到促動器的可移動閥。可移動閥能夠響應於提供到微閥的電信號而交替地阻斷口，這產生了液壓信號響應。在先前的應用中，通過微閥提供的液壓響應已適合於應用的要求。然而，當在進一步的應用中利用微閥技術時，應用的屬性已要求更精確的流體壓力信號，這使用當前的線性閥位置輸入已無法實現。作·為結果，當利用在要求這樣的響應的應用中時，存在對優化微閥的流體壓力響應的方法的需求。因此，當利用在要求此響應的應用中時，在現有技術中存在優化微閥的流體壓力響應的方法的餘地。
發明內容
提供了微機電流體控制裝置，所述裝置包括第一板、第二板和中間板。中間板定位在第一板和第二板之間。第一板包括一對電觸點腔。第二板包括第一口、第二口和第三口。中間板包括閥、閥腔和促動器。第一口、第二口和第三口與閥腔連通。閥布置在腔內。閥連接到促動器。閥包括細長部分和阻斷部分，且阻斷部分包括第一部分、第二部分和第三部分。在本發明的另一個示例中，阻斷部分的第一部分包括第一和第二凸表面和第一平面表面。第一凸表面與第二凸表面對置，且第一凸表面和第二凸表面通過第一平面表面連接。在本發明的另一個示例中，阻斷部分的第二部分包括第二和第三平面表面。第二平面表面連接到第一凸表面，且第三平面表面連接到第二凸表面。在本發明的再另一個示例中，阻斷部分的第三部分包括第三和第四凸表面和第四平面表面。第三凸表面與第四凸表面對置，第三和第四凸表面通過第四平面表面連接，第三凸表面連接到第二平面表面，且第四凸表面連接到第三平面表面。在本發明的再另一個示例中，阻斷部分的第一部分包括與第一口選擇地連通的第一流體通道。在本發明的再另一個示例中，阻斷部分的第二部分包括第二流體通道，且第二流體通道與第一流體通道和第二口連通。在本發明的再另一個示例中，阻斷部分的第三部分包括第三流體通道，第三流體通道與第二流體通道連通，且第三流體通道與第三口選擇地連通。在本發明的再另一個示例中，阻斷部分的第一部分包括通過如下等式限定的流動面積:
權利要求
1.一種微機電流體控制裝置，所述裝置包括: 第一板、第二板和中間板，其中中間板定位在第一板和第二板之間，第一板包括一對電觸點腔，第二板包括第一口、第二口和第三口，且中間板包括閥、閥腔和促動器；且 其中第一口、第二口和第三口與閥腔連通，閥布置在腔內，且閥連接到促動器；且 其中閥包括細長部分和阻斷部分，且阻斷部分包括第一部分、第二部分和第三部分。
2.根據權利要求1所述的微機電流體控制裝置，其中阻斷部分的第一部分包括第一和第二凸表面和第一平面表面，第一凸表面與第二凸表面對置，且第一凸表面和第二凸表面通過第一平面表面連接。
3.根據權利要求2所述的微機電流體控制裝置，其中阻斷部分的第二部分包括第二和第三平面表面，第二平面表面連接到第一凸表面，且第三平面表面連接到第二凸表面。
4.根據權利要求3所述的微機電流體控制裝置，其中阻斷部分的第三部分包括第三和第四凸表面和第四平面表面，第三凸表面與第四凸表面對置，第三和第四凸表面通過第四平面表面連接，第三凸表面連接到第二平面表面，且第四凸表面連接到第三平面表面。
5.根據權利要求1所述的微機電流體控制裝置，其中阻斷部分的第一部分包括與第一口選擇地連通的第一流體通道。
6.根據權利要求5所述的微機電流體控制裝置，其中阻斷部分的第二部分包括第二流體通道，且第二流體通道與第一流體通道和第二口連通。
7.根據權利要求6所述的微機電流體控制裝置，其中阻斷部分的第三部分包括第三流體通道，第三流體通道與第二流體通道連通，且第三流體通道與第三口選擇地連通。
8.根據權利要求1所述的微機電流體控制裝置，其中阻斷部分的第一部分包括通過如下等式限定的流動面積:—.1)M=-ιΗ--z~m 其中H表示對於第一部分和第二部分的總流動面積，k是對於閥設計的常數，且X是在阻斷部分的移動方向上的距離。
9.根據權利要求8所述的微機電流體控制裝置，其中阻斷部分的第三部分包括通過如下等式限定的流動面積: A2 = H~ j41 °
10.一種MEMS流體控制系統，包括: 微機電系統，所述系統包括多個口、腔、閥、促動器和一對電觸點，其中多個口與腔連通，閥布置在腔內，且閥連接到促動器；和 液壓迴路，所述液壓迴路具有與第一多個口連通的壓力供給管線，與第二多個口連通的控制管線，和與第三多個口連通的排出管線， 其中閥包括細長部分和阻斷部分，所述阻斷部分包括第一、第二和第三部分。
全文摘要
本發明涉及MEMS閥運行輪廓。提供了一種具有微機電系統的MEMS流體控制系統。所述系統包括多個口、腔、閥、促動器和一對電觸點。多個口與腔連通，閥布置在腔內，且閥連接到促動器。系統進一步包括液壓迴路，所述液壓迴路具有與第一多個口連通的壓力供給管線，與第二多個口連通的控制管線，和與第三多個口連通的排出管線。閥包括細長部分和阻斷部分，所述阻斷部分包括第一、第二和第三部分。
文檔編號F16K31/02GK103225702SQ201310035240
公開日2013年7月31日 申請日期2013年1月30日 優先權日2012年1月30日
發明者Z.謝 申請人:通用汽車環球科技運作有限責任公司