一種局域加熱的矽片拋光裝置製造方法
2023-05-20 21:07:06 1
一種局域加熱的矽片拋光裝置製造方法
【專利摘要】本實用新型提供了一種局域加熱的矽片拋光裝置，包括滾輪、加熱燈管、反射罩、傳感器、槽體等。本實用新型結構合理，構造簡單，相比整槽藥液加熱的拋光裝置，因為採用了局域加熱的設計，有如下優點：僅在矽片處進行加熱，且無矽片時自動停止加熱，故能耗更低，節約了設備使用成本；由於非加熱處的藥液溫度較低，設備槽體可選擇性價比更高的材質製造，節約了設備的製造成本。
【專利說明】-種局域加熱的矽片拋光裝置
【技術領域】
[0001] 本實用新型涉及矽片拋光領域，具體涉及一種局域加熱的矽片拋光裝置。
【背景技術】
[0002] 在半導體及太陽能光伏行業，常常需要對矽片進行表面處理。拋光是較為常見的 一種表面處理工藝，經過拋光後的表面具有粗糙度低、反射率高、表面載流子複合速率低等 優點。拋光方法包括機械拋光、化學拋光等，其中化學拋光運用較為廣泛，它是利用酸鹼腐 蝕液快速腐蝕矽片表面，在近似各向同性的反應下，有效減少表面的高低起伏，達到拋光的 目的。
[0003] 常見的化學拋光設備是將腐蝕液加熱到較高溫度後通過矽片進行拋光。該方法的 不足之處在於，需要對整槽藥液進行加熱，且無矽片生產時不能停止加熱，故能耗較高，增 加了設備的使用成本；由於整槽藥液的溫度較高，同時又要兼顧耐腐蝕性，所以在設備槽體 材質的選擇上有較大限制，很多價格便宜、耐腐蝕性好的材料因為溫度的關係無法使用，這 就增加了設備的製造成本。
【發明內容】
[0004] 本實用新型目的在於提供一種局域加熱的矽片拋光裝置，該裝置克服了現有整槽 藥液加熱的拋光裝置的不足，更加易於滿足工業化生產的要求。
[0005] 為實現上述發明目的，本實用新型採取的技術方案為：
[0006] -種局域加熱的矽片拋光裝置，所述裝置包括滾輪、加熱燈管、反射罩、矽片探測 器及槽體，所述加熱燈管、所述反射罩及所述矽片探測器均位於所述槽體上方，所述反射罩 位於所述燈管正上方；其改進之處在於加熱方式為局域加熱。
[0007] 作為優選，所述加熱燈管使用非接觸方式對矽片進行加熱。
[0008] 作為優選，在所述加熱燈管的前端和後端至少各有一個所述矽片探測器。
[0009] 作為優選，所述槽體的材質為聚丙烯、聚四氟乙烯、聚偏氟乙烯、聚氯乙烯或不鏽 鋼。
[0010] 由於採用了上述技術方案，與現有設備相比，本實用新型的有益效果包括：
[0011] 本實用新型相比整槽藥液加熱的拋光裝置，因為採用了局域加熱的設計，故僅在 矽片處進行加熱，且無矽片時自動停止加熱，故能耗更低，節約了設備使用成本；由於非加 熱處的藥液溫度較低，設備槽體可選擇性價比更高的材質製造，節約了設備的製造成本。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0012] 下面結合附圖對本實用新型進一步說明。
[0013] 圖1是本實用新型實施例的設備結構示意圖；
[0014] 附圖標記：1-滾輪，2-加熱燈管，3-反射罩，4-矽片探測器，5-槽體，6-腐蝕液， 7 -娃片。
【具體實施方式】
[0015] 下面結合實例對本實用新型進行詳細的說明。
[0016] 具體實施例僅僅是對本實用新型的解釋，並不是對本實用新型的限制，本領域技 術人員在閱讀完本說明書後可以根據需要對本實施例做出沒有創造性貢獻的修改，但只要 在本實用新型的權利要求範圍內都受到專利法的保護。
[0017] 實施例：
[0018] 如圖1所示，局域加熱的矽片拋光裝置包括滾輪1、加熱燈管2、反射罩3、矽片探測 器4及槽體5。加熱燈管2、反射罩3及娃片探測器4均位於槽體5上方。反射罩3位於加 熱燈管2正上方；滾輪1的材質為不鏽鋼內芯外部包裹聚丙烯；槽體5的材質為聚丙烯；力口 熱燈管2選用紅外加熱管；反射罩3材質為鋁合金；矽片探測器4為光電開關。
【權利要求】
1. 一種局域加熱的矽片拋光裝置，所述裝置包括滾輪（1)、加熱燈管（2)、反射罩（3)、 矽片探測器（4)及槽體（5)，所述加熱燈管（2)、所述反射罩（3)及所述矽片探測器（4)均位 於所述槽體（5)上方，所述反射罩（3)位於所述加熱燈管（2)正上方；其特徵在於，加熱方式 為局域加熱。
2. 如權利要求1所述的局域加熱的矽片拋光裝置，其特徵在於：所述加熱燈管（2)使用 非接觸方式對矽片（7 )進行加熱。
3. 如權利要求1所述的局域加熱的矽片拋光裝置，其特徵在於：在所述加熱燈管（2)的 前端和後端至少各有一個矽片探測器（4)。
4. 如權利要求1所述的局域加熱的矽片拋光裝置，其特徵在於：所述槽體（5)的材質為 聚丙烯、聚四氟乙烯、聚偏氟乙烯、聚氯乙烯或不鏽鋼。
【文檔編號】H01L21/306GK203882956SQ201420067363
【公開日】2014年10月15日 申請日期:2014年2月17日 優先權日:2014年2月17日
【發明者】季根華, 劉鋒, 李翔 申請人:蘇州旭環光伏科技有限公司