可實現自動翻轉的基片架的製作方法
2023-04-28 14:10:06
專利名稱：可實現自動翻轉的基片架的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種真空鍍膜設備的基片架，尤其涉及一種可實現自動翻轉的基片架。
背景技術：
真空鍍膜設備根據其鍍膜原理及形式的不同，主要分為物理氣相沉積設備及化學氣相沉積設備。其中真空濺射鍍膜設備和真空蒸發鍍膜設備是最為常見、應用最廣的鍍膜設備。在鍍膜設備(無論是真空濺射鍍膜設備還是真空蒸發鍍膜設備)各部分結構中，基片架的結構是最為重要的。它是被鍍產品——基片安裝、固定的機構，基片架結構設計的 合理性直接關係到鍍膜的效果和質量。由於濺射鍍膜和蒸發鍍膜繞射性差(即基片面對鍍膜材料的一面可以沉積上薄膜而背對膜材的一面卻不能沉積上薄膜)，而更多的產品例如精密天文望遠鏡鏡片、晶體膜厚測控儀晶振片等都要求在基片兩面上沉積一種或幾種相同或不同的薄膜。採用現有技術中的基片架結構，就只能在完成基片一面的鍍膜工作後打開真空室，換成另一面進行鍍膜，不但影響了工作效率，而且損害了鍍膜質量。
發明內容本實用新型的目的是提供一種可實現自動翻轉的基片架，該基片架能實現在鍍膜工藝過程中基片的自由翻轉，使基片的兩個表面在一次鍍膜工藝過程中都能均勻、牢固地沉積上薄膜。本實用新型的目的是通過以下方案實現的本實用新型的可實現自動翻轉的基片架，基片架包括基片卡具，所述基片卡具通過迴轉軸安裝在支座上，所述迴轉軸的後端設有棘輪，所述支座固定在鍍膜設備的旋轉機構上；與所述棘輪對應的部位設有棘爪，所述棘爪連接有升降裝置；當所述棘爪上升時，所述棘爪與棘輪嚙合；當所述棘爪下降時,所述棘爪與棘輪分離。由上述本實用新型提供的技術方案可以看出，本實用新型實施例提供的可實現自動翻轉的基片架，由於基片卡具通過迴轉軸安裝在支座上，迴轉軸的後端設有棘輪，與棘輪對應的部位設有棘爪，棘爪連接有升降裝置；當棘爪上升時，棘爪與棘輪嚙合；當棘爪下降時，棘爪與棘輪分離。通過棘輪-棘爪機構可以在鍍膜過程中實現基片的自由翻轉，克服真空濺射鍍膜設備和真空蒸發鍍膜設備繞射性差的特點，使基片的兩個表面在一次鍍膜工藝過程中都能均勻、牢固的沉積上薄膜，以達到完成工藝要求、保證鍍膜質量同時提高工作效率的目的。
圖I為本實用新型實施例提供的可實現自動翻轉的基片架的結構示意圖；圖2為本實用新型實施例中基片架與棘輪的結構示意圖；圖3為本實用新型實施例中棘爪-棘輪的狀態示意圖。
具體實施方式
下面將結合附圖對本實用新型實施例作進一步地詳細描述。本實用新型的可實現自動翻轉的基片架，其較佳的具體實施方式
是基片架包括基片卡具，所述基片卡具通過迴轉軸安裝在支座上，所述迴轉軸的後端設有棘輪，所述支座固定在鍍膜設備的旋轉機構上；與所述棘輪對應的部位設有棘爪，所述棘爪連接有升降裝置；當所述棘爪上升時，所述棘爪與棘輪嚙合；當所述棘爪下降時,所述棘爪與棘輪分離。所述升降裝置包括氣缸，也可以採用直線電機或其它的升降裝置。所述棘爪和棘輪的材料選擇40Cr。本實用新型可以在保證鍍膜質量同時實現自動翻轉的基片架，使基片兩面的鍍膜在一次鍍膜工作中完成，提高工作效率。具體實施例如圖I、圖2所示，基片架包括基片卡具2，基片卡具2通過迴轉軸5安裝在支座3上，迴轉軸的後端設有棘輪4，支座3固定在鍍膜設備的旋轉機構6上。基片I是鍍膜材料沉積的區域，為最終的產品，其安裝、固定在基片卡具2上。可以通過棘輪4的旋轉來帶動基片架的自由翻轉，棘爪7與棘輪4嚙合，是基片架實現自動翻轉的動力裝置，棘爪7連接有升降裝置，本實施例中採用的是氣缸8，通過氣缸杆的伸縮運功帶動棘爪7的升降，使棘爪7與棘輪4嚙合或分離，來提供或消除基片架自動翻轉的動力。具體工作的過程是如圖3所示，當基片I裝入基片架後，開啟旋轉機構6，進行基片I的一個表面的鍍膜工作，完成後氣缸杆自動收縮帶動棘爪7上升與棘輪4嚙合71，在旋轉機構6旋轉過程中，棘爪7便可以帶動棘輪4旋轉，提供基片架翻轉動力，使基片架自動翻轉；當基片I全部完成翻轉後，氣缸杆自動拉伸，帶動棘爪7下降與棘輪4脫離72，使基片架停止翻轉，然後進行基片I另一表面的鍍膜工作。本實用新型可根據真空鍍膜設備的具體尺寸及基片架的具體數量來實際設計棘爪的尺寸。在本實用新型中，通過棘爪與棘輪的準確設計保證了棘爪與棘輪嚙合良好，尤其通過設計確保了棘爪能夠通過棘輪旋轉帶動了基片架翻轉到位及時、準確。避免出現了棘爪卡住棘輪或是翻轉不到位的現象。具體實施例中，在一些關鍵部件的選材上，如棘爪、棘輪，材料選擇了 40Cr，並進行了表面熱處理工藝，具有較高的硬度及較強的耐磨性。以上所述，僅為本實用新型較佳的具體實施方式
，但本實用新型的保護範圍並不局限於此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本實用新型披露的技術範圍內，可輕易想到的變化或替換，都應涵 蓋在本實用新型的保護範圍之內。因此，本實用新型的保護範圍應該以權利要求書的保護範圍為準。
權利要求1.一種可實現自動翻轉的基片架，其特徵在於，基片架包括基片卡具，所述基片卡具通過迴轉軸安裝在支座上，所述迴轉軸的後端設有棘輪，所述支座固定在鍍膜設備的旋轉機構上； 與所述棘輪對應的部位設有棘爪，所述棘爪連接有升降裝置； 當所述棘爪上升時，所述棘爪與棘輪嚙合；當所述棘爪下降時，所述棘爪與棘輪分離。
2.根據權利要求I所述的可實現自動翻轉的基片架，其特徵在於，所述升降裝置包括氣缸或直線電機。
3.根據權利要求I或2所述的可實現自動翻轉的基片架，其特徵在於，所述棘爪和棘輪的材料選擇40Cr。
專利摘要本實用新型公開了一種可實現自動翻轉的基片架，基片架包括基片卡具，基片卡具通過迴轉軸安裝在支座上，迴轉軸的後端設有棘輪，與棘輪對應的部位設有棘爪，棘爪連接有升降裝置；當棘爪上升時，棘爪與棘輪嚙合；當棘爪下降時，棘爪與棘輪分離。通過棘輪-棘爪機構可以在鍍膜過程中實現基片的自由翻轉，克服真空濺射鍍膜設備和真空蒸發鍍膜設備繞射性差的特點，使基片的兩個表面在一次鍍膜工藝過程中都能均勻、牢固的沉積上薄膜，以達到完成工藝要求、保證鍍膜質量同時提高工作效率的目的。
文檔編號C23C14/50GK202499902SQ20122010166
公開日2012年10月24日 申請日期2012年3月16日 優先權日2012年3月16日
發明者李輝 申請人:北京北儀創新真空技術有限責任公司