一種用於矽片倒角機自動收料裝置及實現方法與流程

2023-05-05 12:39:16 1

本發明涉及一種自動收料裝置，特別涉及一種用於矽片倒角機自動收料裝置及實現方法。

背景技術：

晶片製造部各工序之間矽片交接，受各工序設備加工能力限制，未能實現片籃交接，從而造成各工序之間重複實施矽片插籃工作，以部分cz矽片為例，受國產d37-378/yl型倒角設備無自動收料功能影響，矽片倒角前需要人工插片進行裝料，倒角後矽片傳遞到清洗工序時，需要再次進行人工插片後進行清洗等後續操作。目前，受國產倒角機及生產車間空間限制，市場現有自動收料機無法與之相匹配，需重新設計定做與之相匹配的自動收料裝置。

技術實現要素：

鑑於現有技術存在的問題，本發明提供一種用於矽片倒角機自動收料裝置及實現方法，具體技術方案是，一種用於矽片倒角機自動收料裝置，包括收料機固定架、片籃、片籃升降架、伺服升降機構、矽片自動翻版機構及傳送帶，其特徵在於：所述的片籃升降架為有數個上下排列隔板的框架，隔板上表面兩側有不同尺寸的卡槽可以固定不同尺寸的片籃，所述的伺服升降機構包括伺服電機、絲槓及絲母，伺服電機帶動絲槓轉動，絲母在絲槓上上下運動，所述的矽片自動翻版機構包括槽箱、翻版、傳感器，翻版上端有接片盒，內側面有凹槽，凹槽內可使矽片自由出入，翻版固定於無上面的槽箱內，在矽片倒角機取片器氣動裝置的驅動下可同步正反90°+90°翻轉，傳感器固定於槽箱一側，所述的傳送帶，分為左傳送帶、右傳送帶，分別從左、右伸入並固定於矽片自動翻版機構的槽箱上，使左傳送帶的後端、右傳送帶的前端分別位於翻版的兩側、並與翻版在同一條中心線上，片籃升降架固定於伺服升降機構的絲母上，數個片籃依次置於片籃升降架的隔板上，矽片自動翻版機構固定於國產d37-378/yl型倒角機矽片取片器一側，使固定於矽片自動翻版機構的左傳送帶前端置於矽片取片器的正下方，伺服升降機構固定於矽片倒角機上，且使伺服升降機構向後傾斜2度，並使固定在其上的片籃升降架內的片籃與右傳送帶後端對接，向後傾斜2度，使置於片籃的矽片不易脫出。

自動收料步驟如下，步驟1、矽片倒角機倒角加工後的矽片自動放入左傳送帶自動收料裝置，即設備原接片水槽位置；步驟2、將由左傳送帶將加工後矽片傳送至翻板收片位置，同時傳感器（5-3）檢測到接到矽片信息；步驟3、翻板的收片盒接到矽片後，翻板將順時針翻轉90°，矽片垂直於設備平面，使加工後矽片表面殘留研削液排出，翻板將順時針再次翻轉90°，將矽片放置至右傳送帶，將由右傳送帶從翻板的收片盒中取出並傳送至待收料的片籃中暫存，同時翻板自動逆時針翻轉180°復位待料；步驟4、傳感將檢測信息傳送伺服電機，伺服電機帶動絲母及片籃升降架自動上升一個片籃槽位，等待下一片加工矽片，

步驟5、重複步驟1-4，直至每個片籃滿載，自動收料裝置會報警提示，員工取片後重新放置空片籃點擊復位鍵，即可循環使用。

本發明的技術效果是，實現了國產倒角設備自動收料插籃功能，可實現片籃傳遞，避免後續清洗工序重複插籃。

附圖說明

圖1是本發明的結構立體圖；

圖2是本發明的結構主視圖；

圖3是本發明的結構主視剖面圖；

圖4是本發明的結構俯視圖；

圖5是本發明在國產d37-378/yl型倒角機上的安裝圖。

具體實施方式

下面以在國產d37-378/yl型倒角機上安裝自動收料裝置為例說明。

如圖1、2、3、4、5所示，自動收料裝置包括收料機固定架1、片籃2、片籃升降架3、伺服升降機構4、矽片自動翻版機構5及傳送帶6，所述的片籃升降架3為有四個上下排列隔板3-1的框架，隔板3-1上表面兩側有四種尺寸的卡槽可以固定四種尺寸的片籃2，所述的伺服升降機構4包括伺服電機4-1、絲槓4-2及絲母4-3，伺服電機4-1帶動絲槓4-2轉動，絲母4-3在絲槓4-2上上下運動，所述的矽片自動翻版機構5包括槽箱5-1、翻版5-2、傳感器5-3，翻版5-2上端有接片盒，內側面有凹槽，凹槽內可使矽片自由出入，翻版5-2固定於無上面的槽箱5-1內，在國產d37-378/yl型倒角機矽片取片器氣動裝置的驅動下可同步正反90°+90°翻轉，傳感器5-3固定於槽箱5-1一側，所述的傳送帶6，分為左傳送帶6-1、右傳送帶6-2，分別從左、右伸入並固定於矽片自動翻版機構5的槽箱5-1上，使左傳送帶6-1的後端、右傳送帶6-2的前端分別位於翻版5-2的兩側、與翻版5-2在同一條立體中心線上，片籃升降架（3）固定於伺服升降機構4的絲母4-3上，數個片籃2依次置於片籃升降架3的隔板3-1上，矽片自動翻版機構5固定於國產d37-378/yl型倒角機矽片取片器一側，使固定於矽片自動翻版機構5的左傳送帶6-1前端置於矽片取片器的正下方，伺服升降機構4固定於國產d37-378/yl型倒角機上，且使伺服升降機構4向後傾斜2度，並使固定在其上的片籃升降架3內的片籃2與右傳送帶6-2後端對接。

自動收料步驟如下，

步驟1、矽片倒角機倒角加工後的矽片自動放入左傳送帶6-1自動收料裝置，即設備原接片水槽位置；

步驟2、將由左傳送帶6-1將加工後矽片傳送至翻板5-2收片位置，同時傳感器5-3檢測到接到矽片信息；

步驟3、翻板5-2的收片盒接到矽片後，翻板5-2將順時針翻轉90°，矽片垂直於設備平面，使加工後矽片表面殘留研削液排出後，翻板5-2將順時針再次翻轉90°，將矽片放置至右傳送帶6-2，將由右傳送帶6-2從翻板5-2的收片盒中取出並傳送至待收料的片籃2中暫存，同時翻板5-2自動逆時針翻轉180°復位待料；

步驟4、傳感器5-3將檢測信息傳送伺服電機4-1，伺服電機4-1帶動絲母4-3及片籃升降架3自動上升一個片籃槽位，等待下一片加工矽片；

步驟5、重複步驟1-4，直至每個片籃2滿載，自動收料裝置會報警提示，員工取片後重新放置空片籃2點擊復位鍵，即可循環使用。