電解蝕刻用的組合電極的製作方法

2023-04-22 18:30:11 1

專利名稱：電解蝕刻用的組合電極的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種電解蝕刻設備，特別是有關電解蝕刻設備的電極裝置。
背景技術：
目前，在現有的電解蝕刻設備中，噴電解蝕刻液的噴管一般安裝在電極旁邊，而且當被電解蝕刻板從電極上表面上方通過時，被電解蝕刻板下表面與電極上表面之間的間隙無法保持恆定，使得電解蝕刻液在板表面分布厚度不均，影響導電效果，加工後的被電解蝕刻板上圖案蝕刻深度不均勻，產品質量不高。
發明內容
本實用新型的目的在於提供一種能保持被電解蝕刻板下表面與電極上表面之間的間隙恆定、導電效果好的電解蝕刻用的組合電極。為了達到上述目的，本實用新型的技術方案是，一種電解蝕刻用的組合電極，包括電極本體，所述電極本體上具有若干個出液通道，出液通道的出口設在電極本體的上表面，所述電極本體的頂部裝有帶出液槽的支撐板，電極本體上的出液通道與支撐板的出液槽相通。所述電極本體內有本體進液通道，本體進液通道與出液通道連通，電極本體側面開有通往本體進液通道的進液口。所述電極本體內有本體進液通道，本體進液通道與出液通道連通，所述電極本體的底部連接有通往本體進液通道的進液管。所述電極本體下部裝有電極架，電極架內具有電極架進液通道，電極架進液通道與電極本體的出液通道連通。採用上述技術方案後，由於電極本體的頂部裝有帶出液槽的支撐板，電極本體上的出液通道與支撐板的出液槽相通，因此在使用時，支撐板與被電解蝕刻板(工件)的下表面接觸，以使電極本體上表面與被電解蝕刻板的下表面之間保持恆定的距離；還由於電極本體上具有若干個出液通道，出液通道的出口設在電極本體的上表面，因此出液通道噴出的電解蝕刻液能夠到達被電解蝕刻板的下表面，使電解蝕刻液分布在上述恆定的距離中，電極與被電解蝕刻板通過電解蝕刻液而導電，導電效果好，蝕刻深度均勻，產品質量高；同時，本實用新型還具有整體結構緊湊、便於組裝的特點。

圖I是本實用新型的電解蝕刻用的組合電極第一個實施例的結構正視示意圖；圖2是圖I的俯視圖；圖3是圖I的左視圖；圖4是圖I沿A— A線的剖視圖；圖5是圖2沿B — B線的剖視圖；[0014]圖6是本實用新型第二個實施例的結構正視示意圖；圖7是圖6沿C — C線的剖視圖；圖8是本實用新型第三個實施例的結構正視示意圖；圖9是圖8的左視圖；圖10是圖8沿D — D線的剖視圖；圖11是圖9沿E — E線的剖視圖； 圖12是本實用新型第四個實施例的結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖給出的實施例對本實用新型作進一步詳細地說明。如圖I飛所示，本實用新型的第一個實施例，一種電解蝕刻用的組合電極，包括電極本體1，所述電極本體I上具有若干個出液通道1-2，出液通道1-2的出口設在電極本體I的上表面,所述電極本體I的頂部裝有帶出液槽7-1的支撐板7，電極本體I上的出液通道1-2與支撐板7的出液槽7-1相通。如圖3、4、5所示,所述電極本體I內有本體進液通道1-1，本體進液通道1_1與出液通道1-2連通，電極本體I側面開有通往本體進液通道1-1的進液口 1-1-1。如圖6、7所示，在本實用新型的第二個實施例中，電極本體I內有本體進液通道1-1，本體進液通道1-1與出液通道1-2連通，所述電極本體I的底部連接有通往本體進液通道1-1的進液管5。其餘結構與上述第一個實施例相同。如圖8 11所示，本實用新型的第三個實施例，一種電解蝕刻用的組合電極，包括電極本體1，所述電極本體I上具有若干個出液通道1-2，出液通道1-2的出口設在電極本體I的上表面,所述電極本體I的頂部裝有帶出液槽7-1的支撐板7，電極本體I上的出液通道1-2與支撐板7的出液槽7-1相通。如圖8 11所示，所述電極本體I下部裝有電極架4，電極架4內具有電極架進液通道4-1,電極架進液通道4-1與電極本體I的出液通道1-2連通。如圖9、11所示，所述電極架4側面開有通往電極架進液通道4-1的電極架進液口4-1-1。如圖12所示，在本實用新型的第四個實施例中，電極架4的底部連接有通往電極架進液通道4-1的進液管5。其餘結構與上述第三個實施例相同。
權利要求1.一種電解蝕刻用的組合電極，包括電極本體(1)，其特徵在於 a、所述電極本體(I)上具有若干個出液通道(1-2)，出液通道(1-2 )的出口設在電極本體(I)的上表面， b、所述電極本體(I)的頂部裝有帶出液槽(7-1)的支撐板(7)，電極本體(I)上的出液通道(1-2)與支撐板(7)的出液槽(7-1)相通。
2.根據權利要求I所述的電解蝕刻用的組合電極，其特徵在於所述電極本體(I)內有本體進液通道(1-1 )，本體進液通道(1-1)與出液通道(1-2)連通，電極本體(I)側面開有通往本體進液通道(1-1)的進液口(1-1-1)。
3.根據權利要求I所述的電解蝕刻用的組合電極，其特徵在於所述電極本體(I)內有本體進液通道(1-1)，本體進液通道(1-1)與出液通道(1-2)連通，所述電極本體(I)的底部連接有通往本體進液通道(1-1)的進液管(5)。
4.根據權利要求I所述的電解蝕刻用的組合電極，其特徵在於所述電極本體(I)下部裝有電極架(4),電極架(4)內具有電極架進液通道(4-1),電極架進液通道(4-1)與電極本體(I)的出液通道(1-2)連通。
專利摘要本實用新型公開了一種電解蝕刻用的組合電極，包括電極本體，所述電極本體上具有若干個出液通道，出液通道的出口設在電極本體的上表面，所述電極本體的頂部裝有帶出液槽的支撐板，電極本體上的出液通道與支撐板的出液槽相通。本實用新型能保持被電解蝕刻板下表面與電極上表面之間的間隙恆定、導電效果好。
文檔編號C25F7/00GK202595322SQ201220189760
公開日2012年12月12日 申請日期2012年4月29日 優先權日2012年4月29日
發明者周丁政 申請人:常州正成機電科技有限公司