一種源瓶恆溫阱的製作方法
2023-04-25 03:45:36 2
專利名稱：一種源瓶恆溫阱的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及太陽電池製造領域，具體涉及一種源瓶恆溫阱。
背景技術：
在太陽能電池製造過程中，需要在矽片表面擴散形成PN結。現在大部分採用液態源進行擴散，將惰性氣體或氮氣通入源液(如三氯氧磷液體)中攜帶源的蒸汽到擴散爐管內。為確保擴散的均勻性，通常會將擴散用的液態源的源瓶設置在源瓶恆溫阱中，源瓶恆溫阱通過其源溫調整模塊將源溫控制在預設範圍內，從而確保擴散的穩定性。如圖1所示，裝有三氯氧磷的源瓶包括短管閥Vl和長管閥V2，短管閥Vl通過短管Pl連接至瓶體，長管閥V2通過長管P2連接至瓶體，該長管P2伸入瓶內腔底部且沒入液體中，短管閥Vl和長管閥V2分別具有對應的出入口 Gl和G2。在進行擴散工藝時，將惰性氣體或氮氣連接至長管閥V2的出入口 G2，將短管閥Vl的出入口 Gl連通至擴散爐管，開啟短管閥Vl和長管閥V2後，氣體從長管閥V2進入源瓶並對瓶內的三氯氧磷液體進行鼓泡，三氯氧磷的飽和蒸汽壓較高易汽化，汽化後的三氯氧磷就由氣體攜帶至擴散爐管。如圖2所示，現有技術中的源瓶恆溫阱具有基座10和設置在基座中且與源瓶相匹配的凹槽11，所述凹槽11的底面與基座10的放置面平行。如圖3所示，源瓶水平放置在源瓶恆溫阱中。源瓶在使用一段時間以後，隨著源液的減少，氣體與源液的接觸面積就會逐漸變小，氣體無法對源液正常鼓泡，從而使得進入擴散爐內的蒸汽逐漸變少。現有技術下，源瓶中源液使用到剩餘80毫升時就需要更換新源，該剩餘量約佔整瓶源量的20%。從而造成較大的浪費。因此，如何提供一 種源瓶恆溫阱以提高源利用率並降低生產成本，已成為業界亟待解決的技術問題。
實用新型內容本實用新型的目的是要提供一種源瓶恆溫阱，該源瓶恆溫阱可以提高源利用率，降低生產成本，並且減少有毒物質的排放，減輕環境汙染。為實現上述目的，本實用新型將提供一種源瓶恆溫阱，所述源瓶恆溫阱具有基座和設置在基座中且與源瓶相匹配的凹槽，所述凹槽的底面與基座的放置面間的夾角範圍為5度至60度。在上述源瓶恆溫阱中，所述源瓶上設置有短管閥與長管閥，短管閥和長管閥分別通過短管和長管連接至瓶體，該長管伸入瓶內腔底部。在上述源瓶恆溫阱中，所述長管對應的一側底面設置在所述凹槽的最底側。在上述源瓶恆溫阱中，所述凹槽的底面與基座的放置面間的夾角為25度。 在上述源瓶恆溫阱中，所述源瓶恆溫阱還設置有源溫調整模塊。與現有技術中源瓶恆溫阱中容納源瓶的凹槽底面與源瓶恆溫阱放置面平行相比，本實用新型的源瓶恆溫阱的凹槽底面與基座的放置面間的夾角的範圍為5度至60度，從而使源瓶傾斜設置在其中，可以提高源利用率，降低生產成本，並且減少有毒物質的排放，減輕環境汙染。
圖1為源瓶的組成結構示意圖。圖2為現有技術中的源瓶恆溫阱的組成結構示意圖。圖3為現有技術中的放置有源瓶的源瓶恆溫阱的組成結構示意圖。圖4為本實用新型的源瓶恆溫阱的組成結構示意圖。圖5為本實用新型的放置有源瓶的源瓶恆溫阱的組成結構示意圖。
具體實施方案下面結合具體實施例及附圖來詳細說明本實用新型的目的及功效。參見圖4和圖5，本實用新型的源瓶恆溫阱具有基座20、凹槽21和源溫調整模塊(未圖示)，凹槽21設置在基座20中且與源瓶相匹配，所述凹槽21的底面與基座20的放置面間的夾角的範圍為5度至60度，如此可確保源瓶傾斜設置在源瓶恆溫阱中且確保源液不會未汽化而進入擴散爐。所述源溫調整模塊將源瓶的溫度控制在預設範圍內，從而確保擴散的穩定性。如圖5所示，源瓶傾斜設置在本實用新型的源瓶恆溫阱中，結合參見圖1，長管P2對應的一側底面設置在所·述凹槽21的最底側。在進行擴散工藝時，將惰性氣體或氮氣連接至長管閥V2的出入口 G2，將短管閥Vl的出入口 Gl連通至擴散爐管，開啟短管閥Vl和長管閥V2後，氣體從長管閥V2進入源瓶並對瓶內的三氯氧磷液體進行鼓泡，汽化後的三氯氧磷由氣體攜帶至擴散爐管。在本實用新型的最佳實施例中，所述凹槽21的底面與基座20的放置面間的夾角為25度。此時，源瓶中的三氯氧磷可以使用到僅剩40毫升時再進行更換，與現有技術中的用到80毫升就需要進行更換相比，大大提高了源的利用率。綜上所述，本實用新型的源瓶恆溫阱的凹槽底面與基座的放置面間的夾角的範圍為5度至60度，從而使源瓶傾斜設置在其中，可以提高源利用率，降低生產成本，並且減少有毒物質的排放，減輕環境汙染。
權利要求1.一種源瓶恆溫阱，其特徵在於，所述源瓶恆溫阱具有基座和設置在基座中且與源瓶相匹配的凹槽，所述凹槽的底面與基座的放置面間的夾角範圍為5度至60度。
2.按照權利要求1所述的源瓶恆溫阱，其特徵在於，所述源瓶上設置有短管閥與長管閥，短管閥和長管閥分別通過短管和長管連接至瓶體，該長管伸入瓶內腔底部。
3.按照權利要求2所述的源瓶恆溫阱，其特徵在於，所述長管對應的一側底面設置在所述凹槽的最底側。
4.按照權利要求1所述的源瓶恆溫阱，其特徵在於，所述凹槽的底面與基座的放置面間的夾角為25度。
5.按照權利要求1所述的源瓶恆溫阱，其特徵在於，所述源瓶恆溫阱還設置有源溫調整模 塊。
專利摘要本實用新型提供一種源瓶恆溫阱。現有技術源瓶只能水平放置在源瓶恆溫阱中會導致源瓶中殘留較多的源液從而造成浪費。本實用新型的源瓶恆溫阱具有基座和設置在基座中且與源瓶相匹配的凹槽，所述凹槽的底面與基座的放置面間的夾角的範圍為5度至60度，從而使源瓶傾斜設置在源瓶恆溫阱中。本實用新型可提高源液利用率，降低生產成本，並且減少有毒物質的排放，有效減輕環境汙染。
文檔編號H01L31/18GK203134758SQ20132004260
公開日2013年8月14日 申請日期2013年1月23日 優先權日2013年1月23日
發明者白留飛, 蘇正賓, 王廣軍, 陳華偉 申請人:洛陽尚德太陽能電力有限公司, 無錫尚德太陽能電力有限公司