鈍化層壓點腐蝕溶液的製作方法
2023-05-03 22:01:36
專利名稱：鈍化層壓點腐蝕溶液的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種用於集成電路工藝製造中的鈍化層壓點腐蝕的溶液。
目前集成電路鈍化層(SIO2-PSG-SIO2)壓點腐蝕的溶液主要由氟化物、冰醋酸等成份組成。採用此種腐蝕溶液，腐蝕出的鈍化層壓點鋁易發黃、發黑，無光澤，且壓點焊接不牢，易造成虛焊，嚴重影響了集成電路的穩定性和可靠性。
本發明的目的在於提供一種可使集成電路鈍化層壓點光亮、光滑，鋁膜平整具有鋁光澤的鈍化層壓點腐蝕溶液。
本發明的目的是這樣實現的鈍化層壓點腐蝕溶液，其特點在於包含有濃度為38％-42％的氟化銨溶液、濃度96％-99．5％的冰醋酸、濃度95％-99．5％的丙三醇及去離子水(DI水)，配比關係如下(體積比)氟化銨∶冰醋酸∶丙三醇∶DI水為0．8-1∶0．8-1∶0．1-0．3∶0．1-0．3。氟化銨主要對PSGSIO2起腐蝕作用，DI水防止溶液結晶，冰醋酸是一種弱電解質，起緩衝作用，可減少對鋁層的損傷，丙三醇是一種非電解質，它的吸溼性快，在溶液中對鋁產生吸附作用，當SIO2腐蝕時，丙三醇以膠體形式吸附在鋁層表面，形成一層保護層，阻止鋁與溶液發生電化學反應，從而阻止了溶液中的金屬離子Ca+、Ag+、Fe+及其它雜質離子，溶液與鋁電化反應，避免了這些金屬及雜質在鋁上沉積，從而使這些金屬離子，與溶液中的NH3結合而溶於水中。
本發明的配製方法上述濃度及比例關係的氟化銨溶液，放入塑料筒中，再加入上述體積比例的DI水，搖晃均勻，之後加入上述濃度的冰醋酸和丙三醇，配置後進行3-5天溶液充分混合(避免光貯存)後使用，使用為常溫。
下面結合實施例對本發明進一步詳細描述。
實施例1，取濃度40％的氟化銨溶液1份放入塑料筒中，再加入0．2份的DI水，搖晃均勻，加入濃度99．5％的冰醋酸1份，之後再加入濃度98％的丙三醇0．2份，配置後進行3-5天溶液充分混合(避免光貯存)後使用，使用為常溫。配置前要徹底清洗容器、量杯，使用塑料容器，禁止使用石英及玻璃器皿，嚴防在灰塵雜質帶入溶液。
本實施例2，取濃度為38％的氟化銨溶液1份放入塑料筒中，再加入0．3份的DI水，搖晃均勻，加入濃度99．5％的冰醋酸1份，之後再加入的濃度為95％的丙三醇0．3份，配置後進行3-5天溶液充分混合(避免光貯存)後使用，使用為常溫。
實施例3，取濃度為42％的氟化銨溶液0．8份放入塑料筒中，再加入0．1份的DI水，搖晃均勻，加入濃度為96％的冰醋酸1份，之後再加入濃度95％的丙三醇0．3份，配置後進行3-5天溶液充分混合(避免光貯存)後使用，使用為常溫。
發明與現有技術的優點如下對鈍化層腐蝕速度快、對鋁腐蝕速度慢，具有良好的選擇比，加上專用的使用方法，克服了壓點發黃髮黑的缺點，得到了光亮、光滑，有鋁光澤的鋁壓點，使壓點腐蝕合格率大大提高。經過一年2萬多4英寸的矽片使用，壓點腐蝕合格率大超出預料，也相應節約了原材料，加快工藝周期，本發明已完全在科研及生產中使用，達到了優良的效果。
權利要求
1．鈍化層壓點腐蝕溶液，其特徵在於包含有濃度38％-42％的氟化銨溶液、濃度96％-99．5％的冰醋酸、濃度95％-99．5％的丙三醇及去離子水(D1水)，配比關係如下(體積比)氟化銨∶冰醋酸∶丙三醇∶D1水為0．8-1∶0．8-1∶0．1-0．3∶0．1-0．3。
2．如權利要求1所述鈍化層壓點腐蝕溶液，其特徵在於包含有濃度為40％的氟化銨溶液、濃度99．5％的冰醋酸、濃度98％的丙三醇及去離子水(D1水)，配比關係如下(體積比)氟化銨∶冰醋酸∶丙三醇∶D1水為1∶1∶0．2∶0．2。
全文摘要
鈍化層壓點腐蝕溶液,包含有濃度為38%－42%的氟化銨溶液、濃度96%－99.5%的冰醋酸、濃度95%－99.5%的丙三醇及去離子水(DI水),配比關係為(體積比):氟化銨∶冰醋酸∶丙三醇∶DI水為0.8—1∶0.8—1∶0.1—0.3∶0.1—0.3。本發明克服了壓點發黃髮黑的缺點,得到了光滑光亮的壓點,其腐蝕合格率大大提高。經過一年2萬多4英寸矽片的使用,壓點腐蝕合格率大超出預料,節約了原材料,加快工藝周期,該溶液已完全在科研及生產中使用。
文檔編號C23F1/10GK1281062SQ0012154
公開日2001年1月24日 申請日期2000年8月11日 優先權日2000年8月11日
發明者劉振芳 申請人:中國航天科技集團公司第九研究院七七一研究所