Pecvd用矽片載片器的轉換裝置的製作方法

2023-05-03 07:12:41

專利名稱：Pecvd用矽片載片器的轉換裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種太陽能光伏產業工藝設備，具體地說是用於平板爐PECVD(等離子增強化學氣相沉積)中的配套裝置。
背景技術：
太陽能電池主要有125型(即125x125) 、156型(即156x156)等規格，相應的矽片載片器也有125型、156型等規格。在進行平板爐PECVD的工藝時，矽片是放在同一規格的C/C框的掛鈎上，由於平板爐是連續生產，配置的矽片載片器至少要IO只以上。因其價格很貴，有些廠家只配置了 156規格的矽片載片器，如果要生產125規格的產品就需要另外配備125型的矽片載片器，從而增加了採購成本。

發明內容本實用新型針對上述問題，提供一種PECVD用矽片載片器的轉換裝置，該裝置安裝於156型矽片載片器上，可將156型矽片載片器轉換成125型矽片載片器，可大幅度降低採購成本。 按照本實用新型的技術方案一種PECVD用矽片載片器的轉換裝置，包括正方形的框體，其特徵是所述框體的邊長與第一種規格的矽片載片器的邊長相等，所述框體內設
置有方形內孔，所述方形內孔的邊長與第二種規格的矽片載片器的邊長相等。 所述方形內孔的四個角為圓角。所述方形內孔的中心與所述框體的中心同心。所
述框體的四條邊上均設置有第一半腰圓槽，第一半腰圓槽的中心線垂直於對應的邊線，所
述框體內設置有第一腰圓孔，第一腰圓孔的縱向中心線與第一半腰圓槽的中心線重合。所
述方形內孔的四條邊上設置有第二半腰圓槽，第二半腰圓槽的中心線垂直於相應的邊線，
所述框體內設置有第二腰圓孔，第二腰圓孔的縱向中心線與第二半腰圓槽的中心線重合。
所述框體的邊長為156mm，所述方形內孔的邊長為125mm ;所述方形內孔為正方形。 本實用新型的技術效果在於本實用新型安裝於第一種規格的矽片載片器內，將
第一種規格的矽片載片器轉換為第二種規格的矽片載片器，用於生產第二種規格的產品，
可以節省採購成本；拆除本實用新型後，又可以生產第一種規格的產品，轉換方便；正方形
內孔帶有四個圓角，可以用來生產單晶矽片。

圖1為156型矽片載片器中的一個方框的結構示意圖；[0008] 圖2為本實用新型的結構示意圖； 圖3為本實用新型安裝於156型矽片載片器中的結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型的具體實施方式
作進一步的說明。[0011] 本實用新型是一種PECVD用矽片載片器的轉換裝置，具體實施例是將156型矽片載片器轉換為125型矽片載片器。 圖1為156型矽片載片器中的一個方框1的結構示意圖。 如圖2所示，本實用新型PECVD用矽片載片器的轉換裝置2，包括正方形的框體3，框體3的邊長與第一種規格的矽片載片器的邊長相等，在本實施例中為156mm，框體3內設置有正方形內孔4，內孔4的邊長與第二種規格的矽片載片器的邊長相等，在本實施例中為125mm，這樣就可以將156型矽片載片器轉換成125型矽片載片器，用來生產125型多晶矽片。正方形內孔4也可以帶有四個圓角，用來生產125型單晶矽片。正方形內孔4的中心與所述框體3的中心同心。 在所述框體3的四條邊上分別設置有第一半腰圓槽8，第一半腰圓槽8的中心線垂直於相應的邊線，在框體3內設置有第一腰圓孔9，第一腰圓孔9的縱向中心線在第一半腰圓槽8的中心線上。 在內孔4的四條邊上設置有第二半腰圓槽6，第二半腰圓槽6的中心線垂直於相應的邊線，在框體3內設置有第二腰圓孔7，第二腰圓孔7的縱向中心線在第二半腰圓槽8的中心線上。 第一半腰圓槽8與第一腰圓孔9相配合，第二半腰圓槽6與第二腰圓孔7相配合，分別用來安裝掛鈎。 如圖3所示，本實用新型PECVD用矽片載片器的轉換裝置2安裝於156型矽片載片器的一個方框1中，將156型矽片載片器轉換為125型矽片載片器，生產125型產品，可節省2/3的矽片載片器成本。拆除本實用新型後又可進行156規格產品的生產。本實用新型裝卸方便，使用效果好。
權利要求一種PECVD用矽片載片器的轉換裝置，包括正方形的框體(3)，其特徵是所述框體(3)的邊長與第一種規格的矽片載片器的邊長相等，所述框體(3)內設置有方形內孔(4)，所述方形內孔(4)的邊長與第二種規格的矽片載片器的邊長相等。
2. 按照權利要求1所述的PECVD用矽片載片器的轉換裝置，其特徵是所述方形內孔(4) 的四個角為圓角。
3. 按照權利要求2所述的PECVD用矽片載片器的轉換裝置，其特徵是所述方形內孔 (4)的中心與所述框體(3)的中心同心。
4. 按照權利要求3所述的PECVD用矽片載片器的轉換裝置，其特徵是所述框體(3)的 四條邊上均設置有第一半腰圓槽(8)，第一半腰圓槽(8)的中心線垂直於對應的邊線，所述 框體(3)內設置有第一腰圓孔(9)，第一腰圓孔(9)的縱向中心線與第一半腰圓槽(8)的中 心線重合。
5. 按照權利要求3或4所述的PECVD用矽片載片器的轉換裝置，其特徵是所述方形 內孔(4)的四條邊上設置有第二半腰圓槽(6)，第二半腰圓槽(6)的中心線垂直於相應的邊 線，所述框體(3)內設置有第二腰圓孔(7)，第二腰圓孔(7)的縱向中心線與第二半腰圓槽 (8)的中心線重合。
6. 按照權利要求1所述的PECVD用矽片載片器的轉換裝置，其特徵是所述框體(3)的 邊長為156mm，所述方形內孔(4)的邊長為125mm;所述方形內孔(4)為正方形。
專利摘要本實用新型涉及一種PECVD用矽片載片器的轉換裝置，其包括正方形的框體，框體的邊長與第一種規格的矽片載片器的邊長相等，框體內設置有正方形內孔，內孔的邊長與第二種規格的矽片載片器的邊長相等。本實用新型安裝於第一種規格的矽片載片器內，將第一種規格的矽片載片器轉換為第二種規格的矽片載片器，用於生產第二種規格的產品，可以節省採購成本；拆除本實用新型後，又可以生產第一種規格的產品，轉換方便。
文檔編號C23C16/54GK201495286SQ200920234839
公開日2010年6月2日 申請日期2009年8月7日 優先權日2009年8月7日
發明者尤耀明 申請人:無錫綠波新能源設備有限公司