鑄錠爐爐體的製作方法

2023-05-03 05:54:51

專利名稱：鑄錠爐爐體的製作方法
技術領域：
本實用新型屬於多晶矽生產設備領域，尤其是一種用於生產多晶矽的鑄錠爐爐體。
背景技術：
目前多晶矽鑄錠爐，主要用於以鑄錠方式生產矽半導體材料，傳統的多晶矽鑄錠爐由爐體和爐蓋所組成，通常爐蓋位於爐體上端，電加熱器分布在爐膛的坩堝周邊，存在裝卸料不方便，電控加熱和控制系統的帶電元件下置，安全操作性能籌，爐體內隔熱體設置分布不合理，隔熱體設置過於複雜，使熔煉鑄錠多晶矽速度慢，設備使用壽命短等缺點。
發明內容本實用新型的目的是針對上述技術中鑄錠爐爐體存在的隔熱體設置過於複雜的缺點，提出一種隔熱體簡單、熔煉鑄錠多晶矽速度快的鑄錠爐爐體。實現本實用新型目的的技術方案如下鑄錠爐爐體，它包括爐身、爐蓋與爐底，爐蓋、爐身與爐底壁上分別設有冷卻夾層， 每個冷卻夾層上均有冷卻通道，爐蓋上為爐蓋冷卻通道，爐身上為爐身冷卻通道，爐底上為爐底冷卻通道，爐蓋冷卻通道與爐身冷卻通道由在冷卻夾層裡的隔水板設置而成，爐底冷卻通道包括上爐底冷卻通道與下爐底冷卻通道。所述的上爐底冷卻通道與下爐底冷卻通道為冷卻夾套。本實用新型的優點是隔熱的冷卻夾層結構簡單、實用，提高了熔煉鑄錠多晶矽的速度，延長了設備使用壽命。

圖1為本實用新型的結構示意圖。
具體實施方式
如圖1所示，鑄錠爐爐體，它包括爐身2、爐蓋1與爐底3，爐蓋、爐身與爐底壁上分別設有冷卻夾層，每個冷卻夾層上均有冷卻通道，爐蓋上為爐蓋冷卻通道11，爐身上為爐身冷卻通道22，爐底上為爐底冷卻通道，爐蓋冷卻通道與爐身冷卻通道由在冷卻夾層裡的隔水板4設置而成，爐底冷卻通道包括上爐底冷卻通道31與下爐底冷卻通道32。所述的上爐底冷卻通道與下爐底冷卻通道為冷卻夾套。
權利要求1.鑄錠爐爐體，其特徵在於它包括爐身、爐蓋與爐底，爐蓋、爐身與爐底壁上分別設有冷卻夾層，每個冷卻夾層上均有冷卻通道，爐蓋上為爐蓋冷卻通道，爐身上為爐身冷卻通道，爐底上為爐底冷卻通道，爐蓋冷卻通道與爐身冷卻通道由在冷卻夾層裡的隔水板設置而成，爐底冷卻通道包括上爐底冷卻通道與下爐底冷卻通道。
2.根據權利要求1所述的鑄錠爐爐體，其特徵在於所述的上爐底冷卻通道與下爐底冷卻通道為冷卻夾套。
專利摘要本實用新型屬於多晶矽生產設備領域，尤其是一種用於生產多晶矽的鑄錠爐爐體。它包括爐身、爐蓋與爐底，爐蓋、爐身與爐底壁上分別設有冷卻夾層，每個冷卻夾層上均有冷卻通道，爐蓋上為爐蓋冷卻通道，爐身上為爐身冷卻通道，爐底上為爐底冷卻通道，爐蓋冷卻通道與爐身冷卻通道由在冷卻夾層裡的隔水板設置而成，爐底冷卻通道包括上爐底冷卻通道與下爐底冷卻通道。本實用新型的優點是隔熱的冷卻夾層結構簡單、實用，提高了熔煉鑄錠多晶矽的速度，延長了設備使用壽命。
文檔編號C30B35/00GK202064034SQ201120106220
公開日2011年12月7日 申請日期2011年4月13日 優先權日2011年4月13日
發明者潘燕萍 申請人:常州市天龍光電設備有限公司