基片裝載架與磁導軌的連接結構的製作方法

2023-09-13 03:50:40 2

基片裝載架與磁導軌的連接結構的製作方法
【專利摘要】本發明公開一種基片裝載架與磁導軌的連接結構，包括基片裝載架、磁導軌和絕緣塊，所述磁導軌上有第一螺紋孔，絕緣塊上相應位置有沉孔，沉頭螺釘通過沉孔和第一螺紋孔將絕緣塊固定在磁導軌上；基片裝載架上開有通孔，絕緣塊相應位置處有第二螺紋孔，固定螺栓穿過通孔與第二螺紋孔配合，從而將裝載架固定在絕緣塊上，所述固定螺栓的螺帽與螺紋段之間有擋塊，所述擋塊的徑向長度大於所述通孔的深度，所述固定螺栓的螺紋段徑向長度小於第二螺紋孔的深度。本發明選用特定的固定螺栓，保證螺栓不會不接觸磁導軌，可以避免因基片裝載架短路而影響產品質量，也不會因磁導軌受熱變形而影響生產。
【專利說明】基片裝載架與磁導軌的連接結構
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種ITO鍍膜生產線玻璃基片裝載架的控制和導向裝置，特別涉及基片裝載架與磁導軌的連接結構。
【背景技術】
[0002]目前，ITO鍍膜生產線基片裝載架採用磁導軌替代齒輪、齒條傳動來控制和導向玻璃基片裝載架是一種趨勢。這些磁導軌均採用排斥式的方法來控制和導向玻璃基片架，這種傳動方式是通過基片裝載架上部的磁導向磁鐵產生的磁場力與箱體上的磁導向磁鐵產生相反的磁場力，使基片裝載架保持懸浮，與下傳動輪一起控制基片裝載架在導軌中的行進方向，達到導向的目的。現有的基片裝載架與磁導軌採用過緊固定方式，磁導軌上固定絕緣塊，基片裝載架通過固定螺栓固定在絕緣塊上，磁導軌與基片裝載架之間有絕緣塊隔離。這種固定方式存在以下問題:固定螺栓太長時會穿透絕緣塊而與磁導軌接觸，造成基片裝載架短路，從而影響產品質量；由於連續鍍膜生產線需要基片裝載架在溫度為400 V左右的真空箱體中一直運載，磁導軌會在高溫環境中一直烘烤會引起變形，如果固定螺栓的螺帽與基片裝載架之間沒有間隙，從而造成基片裝載架受熱變形而卡到真空箱體中影響產量。

【發明內容】

[0003]本發明的要解決的技術問題是提供一種基片裝載架與磁導軌的連接結構，即將基片裝載架連接到磁導軌上，又避免因基片裝載架短路而影響產品質量的目的，也不會因磁導軌受熱變形而影響 生產。
[0004]為解決上述技術問題，本發明提供了一種基片裝載架與磁導軌的連接結構，包括基片裝載架、磁導軌、絕緣塊，所述磁導軌上有第一螺紋孔，絕緣塊上相應位置有沉孔，沉頭螺釘通過沉孔和第一螺紋孔將絕緣塊固定在磁導軌上；基片裝載架上開有通孔，絕緣塊相應位置處有第二螺紋孔，固定螺栓穿過通孔與第二螺紋孔配合，從而將裝載架固定在絕緣塊上，所述固定螺栓的螺帽與螺紋段之間有擋塊，所述擋塊的徑向長度大於所述通孔的深度，所述固定螺栓的螺紋段徑向長度小於第二螺紋孔的深度。
[0005]所述擋塊是墊圈、套管。
[0006]所述擋塊與固定螺栓一體成型。
[0007]本發明的有益效果是:固定螺栓的螺帽與螺紋段之間有擋塊，所述擋塊的徑向長度大於所述通孔的徑向長度，這樣就使螺帽與基片裝載架之間有間隙，當基片裝載架在400°C左右真空箱體中運行使，基片裝載架受熱膨脹，由於螺帽與基片裝載架之間有間隙，就能保證螺帽不會卡在絕緣塊的通孔中，保證基片裝載架不會因變形卡在箱體中；
固定螺栓的螺紋段徑向長度小於第二螺紋孔的深度，就能保證螺栓不會不接觸磁導軌，可以避免因基片裝載架短路而影響產品質量。【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]圖1是本發明【具體實施方式】的示意圖。
[0009]圖2是圖1的M部放大圖。
[0010]圖3是本發明中固定螺栓的示意圖。
【具體實施方式】
[0011]下面結合附圖和實施例對本發明作進一步說明。
[0012]實施例1
如圖1~圖2所示，基片裝載架與磁導軌的連接結構，包括基片裝載架1、磁導軌2和絕緣塊3，所述磁導軌2上有第一螺紋孔，絕緣塊3上相應位置有沉孔，沉頭螺釘4通過沉孔和第一螺紋孔將絕緣塊3固定在磁導軌2上；基片裝載架I上開有通孔11，絕緣塊3相應位置處有第二螺紋孔32，固定螺栓5穿過通孔11與第二螺紋孔32配合，從而將基片裝載架I固定在絕緣塊3上。
[0013]固定螺栓5的結構示意圖如圖3所示，固定螺栓5的螺帽51與螺紋段53之間有擋塊52，所述擋塊52是墊圈，墊圈套在螺紋段53上，墊圈與固定螺栓5 —體成型，墊圈在固定螺栓上形成臺階，螺紋段53上擋塊52的徑向長度大於所述通孔11的深度，從而使螺帽51位於通孔11外，螺帽51與基片裝載架I的間隙為d，從而當基片裝載架I受熱時，螺帽51不會卡在通孔11中；所述固定螺栓5的螺紋段53徑向長度小於第二螺紋孔32的深度，從而避免固定螺栓5與磁導軌2接觸，防止基片裝載架I短路。
[0014]實施例2
如圖1~圖2所示，基片裝載架與磁導軌的連接結構，包括基片裝載架1、磁導軌2和絕緣塊3，所述磁導軌2上有第一螺紋孔，絕緣塊3上相應位置有沉孔，沉頭螺釘4通過沉孔和第一螺紋孔將絕緣塊3固定在磁導軌2上；基片裝載架I上開有通孔11，絕緣塊3相應位置處有第二螺紋孔32，固定螺栓5穿過通孔11與第二螺紋孔32配合，從而將基片裝載架I固定在絕緣塊3上。
[0015]固定螺栓5的結構示意圖如圖3所示，固定螺栓5的螺帽51與螺紋段53之間有擋塊52，所述擋塊52是套管，套管是耐高溫材料，套管套在螺紋段53上，擋塊52的徑向長度大於所述通孔11的深度，從而使螺帽51位於通孔11外，螺帽51與基片裝載架I的間隙為d，從而當基片裝載架I受熱時，螺帽51不會卡在通孔11中；所述固定螺栓5的螺紋段53徑向長度小於第二螺紋孔32的深度，從而避免固定螺栓5與磁導軌2接觸，防止基片裝載架I短路。
【權利要求】
1.基片裝載架與磁導軌的連接結構，包括基片裝載架、磁導軌、絕緣塊，所述磁導軌上有第一螺紋孔，絕緣塊上相應位置有沉孔，沉頭螺釘通過沉孔和第一螺紋孔將絕緣塊固定在磁導軌上；基片裝載架上開有通孔，絕緣塊相應位置處有第二螺紋孔，固定螺栓穿過通孔與第二螺紋孔配合，從而將裝載架固定在絕緣塊上，其特徵在於:所述固定螺栓的螺帽與螺紋段之間有擋塊，所述擋塊的徑向長度大於所述通孔的深度，所述固定螺栓的螺紋段徑向長度小於第二螺紋孔的深度。
2.如權利要求1所述的基片裝載架與磁導軌的連接結構，其特徵在於:所述擋塊是墊圈、套管。
3.如權利要求1或2所述的基片裝載架與磁導軌的連接結構，其特徵在於:所述擋塊與固定螺栓一體成型。`
【文檔編號】C23C14/56GK103695861SQ201310708858
【公開日】2014年4月2日 申請日期:2013年12月20日 優先權日:2013年12月20日
【發明者】任丹, 劉月豹, 王共志, 楊向東 申請人:安徽省蚌埠華益導電膜玻璃有限公司