溼蝕刻清洗機臺自動緊急補水系統的製作方法

2023-09-17 17:33:55

專利名稱：溼蝕刻清洗機臺自動緊急補水系統的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種溼蝕刻清洗機臺，具體地說，涉及溼蝕刻清洗機臺的緊急 補水系統。
背景技術：
目前現有技術中使用的溼蝕刻清洗機臺自動緊急補水系統包括超純水供應
裝置l,與超純水供應裝置1輸出端串連的常閉閥門2，與常閉閥門串連的蝕刻 槽3。超純水供應裝置用於提供稀釋氟化氫的超純水。常閉閥門在有電信號的時 候，可以自動開啟。蝕刻槽3包括一個酸槽31及嵌設在酸槽內部的內槽32。晶 圓置於酸槽內，內槽向酸槽供應氟化氫，用於清洗晶圓表面的氧化層，如果超 過蝕刻的預定時間，常閉閥門會自動開啟，超純水供應裝置將超純水注入蝕刻 槽內，以稀釋氟化氫。
然而，在實際製程中，會突遇斷電的情況，因為沒有電信號，常閉閥門就 不會開啟，如果此時晶圓蝕刻超過預定時間，超純水將沒有辦法注入蝕刻槽內， 導致晶圓報廢。

發明內容
本發明的目的在於提供改進的溼蝕刻清洗機臺自動緊急補水系統，其可以 在斷電的情況下自動將超純水注入蝕刻槽內。
為實現上述目的，本發明的溼蝕刻清洗機臺自動緊急補水系統包括超純水 供應裝置，與超純水供應裝置輸出端串連的常閉閥門，與常閉閥門輸出端串連 的蝕刻槽；超純水供應裝置用於提供稀釋氟化氫的超純水，該系統還包括一個 與常閉閥門並聯的常開閥門，其輸入端連接到超純水供應裝置的輸出端。
該系統還包括一個漏液探測器，用於檢測是否有水流過，如果有水流過， 該探測器會自動報警。
該漏液探測器的輸入端與常開閥門的輸出端串連，其僅在有電信號的時候 工作。
所述的單向閥門用以防止水倒流，該單向閥門的輸出端與常閉閥門的輸出 端並聯連至蝕刻槽。
所述的常閉閥門在有電信號的時候可自動開啟，沒有電信號的時候處於關 閉狀態。
所述的常開閥門在沒有電信號的時候可自動開啟，在電信號的作用下處於 關閉狀態。
與現有技術相比，本發明的系統在斷電的情況下，當晶圓蝕刻的時間超過 預定時間，常開閥門就會開啟，超純水經由常開閥門，漏液探測器，單向閥門 注入蝕刻槽內，從而有效防止斷電情況下超純水不能及時注入蝕刻槽而造成晶 圓報廢。


通過以下對本發明一實施例結合其附圖的描述，可以進一步理解其發明的
目的、具體結構特徵和優點。其中，附圖為
圖1為採用現有技術中溼蝕刻清洗機臺自動緊急補水系統的架構圖； 圖2為採用本發明溼蝕刻清洗機臺自動緊急補水系統的架構圖。
具體實施例方式
本發明的溼蝕刻清洗機臺自動緊急補水系統包括超純水供應裝置1,與超純 水供應裝置1輸出端串連的常閉閥門2，與常閉閥門2串連的蝕刻槽3。超純水 供應裝置1輸出超純水。常閉閥門2在有電信號的時候，可以自動開啟。蝕刻 槽3包括一個外槽31 ;SJ殳置在外槽31內部的內槽32。
本發明還包括T型管4，常開閥門5，漏液探測器6以及單向閥門7。 T型 管4有兩個輸出端和一個輸入端，其輸入端連接到超純水供應裝置1,第一輸出 端連接至常閉閥門2，第二輸出端連接至常開閥門5的輸入端。常開閥門5的輸 出端與漏液探測器6的輸入端串連，單向閥門7的輸入端與漏液探測器6的輸 出端，單向閥門7的輸出端與常閉閥門2的輸出端並連至蝕刻槽3。常開閥門5
在沒有接收到電信號的時候可以自動開啟，當有電信號時候始終處於關閉狀態。
當有電信號的時候，由於常開閥門5不工作，所以常開閥門5，漏夜探測器6以 及單向閥門7構成的支路不應該有水流過。漏液探測器6隻在有電信號的時候 工作，檢測是否有水流過，如果一旦檢測到有水流過，就會自動報警。單向閥 門7用於保證超純水的水流方向，防止水倒流。
晶圓置於酸槽31內，內槽32向酸槽31供應氟化氫，用於清洗酸槽31內 晶圓表面的氧化層，在電源正常供電的情況下，常開閥門5處於關閉狀態，如 果清洗氧化層的時間超出預定的時間時，超純水供應裝置1通過T型管4的第 一輸出端以及常閉閥門2，向內槽32注入超純水，從而達到稀釋酸槽31內的氟 化氫，減緩晶圓表面氧化層的清洗過程。
在電源非正常供電的情況下，常閉閥門2處於關閉狀態，超純水供應裝置l 通過T型管4的第二輸出端，常開閥門5,漏液探測器6以及單向閥門7向內槽 32注入超純水。
權利要求
1、溼蝕刻清洗機臺自動緊急補水系統包括提供超純水的超純水供應裝置，與超純水供應裝置輸出端串連的常閉閥門，與常閉閥門輸出端串連的蝕刻槽；其特徵在於，該系統還包括一個與常閉閥門並聯的常開閥門，該常開閥門的輸入端連接到超純水供應裝置的輸出端。
2、 如權利要求1所示的溼蝕刻清洗機臺自動緊急補水系統，其特徵在於， 該系統還包括一個漏液探測器，用於檢測是否有水流過，如果有水流過，該探 測器會自動報警。
3、 如權利要求2所示的溼蝕刻清洗機臺自動緊急補水系統，其特徵在於， 該漏液探測器的輸入端與常開閥門的輸出端串連，其僅在有電信號的時候工作。
4、 如權利要求1所示的溼蝕刻清洗機臺自動緊急補水系統，其特徵在於， 該系統還包括一個單向閥門用以防止水倒流，該單向閥門的輸入端與漏液探測 器的輸出端串連。
5、 如權利要求1所示的溼蝕刻清洗機臺自動緊急補水系統，其特徵在於， 單向閥門的輸出端與常閉閥門的輸出端並聯連至蝕刻槽。
6、 如權利要求1所示的溼蝕刻清洗機臺自動緊急補水系統，其特徵在於， 所述的常閉閥門在有電信號的時候可自動開啟，沒有電信號的時候處於關閉狀態。
7、 如權利要求1所示的溼蝕刻清洗機臺自動緊急補水系統，其特徵在於， 所述的常開閥門在沒有電信號的時候可自動開啟，在電信號的作用下處於關閉狀態。
全文摘要
本發明公開一種溼蝕刻清洗機臺自動緊急補水系統，其包括提供超純水的超純水供應裝置，與超純水供應裝置輸出端串連的常閉閥門，與常閉閥門輸出端串連的蝕刻槽；該系統還包括一個與常閉閥門並聯的常開閥門，其輸入端連接到超純水供應裝置的輸出端。與現有技術相比，本發明的系統在斷電的情況下，當晶圓在蝕刻槽內蝕刻的時間超過預定時間，常開閥門就會開啟，超純水經由常開閥門，漏液探測器，單向閥門注入蝕刻槽內，從而有效防止斷電情況下超純水不能及時注入蝕刻槽而造成晶圓報廢。
文檔編號B08B3/00GK101185928SQ20061011834
公開日2008年5月28日 申請日期2006年11月15日 優先權日2006年11月15日
發明者偉 劉, 邵業明 申請人:中芯國際集成電路製造(上海)有限公司