光罩推車的製作方法

2023-09-17 02:44:30 1

專利名稱：光罩推車的製作方法
技術領域：
光罩推車技術領域[0001]本實用新型涉及半導體製造領域，尤其涉及半導體製造領域內的一種光罩推車。
技術背景[0002]集成電路製造中利用光學-化學反應原理和化學、物理刻蝕方法，將電路圖形傳遞到單晶表面或介質層上，形成有效圖形窗口或功能圖形的工藝技術。隨著半導體技術的發展，光刻技術傳遞圖形的尺寸限度縮小了 2 3個數量級，已從常規學技術發展成應用電子束、X射線、微離子束、雷射等新技術，光刻技術成為了一種精密的微細加工技術。[0003]光罩在光刻技術中又稱光掩模版。現有技術中光罩主要採用防靜電箱或光罩推車進行運輸。其中，使用防靜電箱搬運光罩效率低，運輸量少(1次只能搬運6塊)，搬運過程中安全性低，人員摔倒易造成防靜電箱翻倒，進而導致光罩的損壞，並且，防靜電箱無防震系統易造成搬運過程中的震蕩，同樣會導致光罩的損壞，防靜電箱為密閉空間，潔淨度低， 容易引起微粒的堆積。使用現有的光罩推車搬運光罩，空間利用率低，光罩推車上設有用以放置光罩的縱向立柱式光罩櫃，光罩在光罩推車內一般都採用橫向平躺擺放，安全性低， 光罩容易傾倒出來且防震措施不完善，易造成光罩的損壞，穩定性低，光罩櫃與底部可以拆卸，防震效果不好易造成光罩的損壞。[0004]因此，針對上述技術問題，有必要提供一種具有改良結構的光罩推車，以克服上述缺陷。實用新型內容[0005]有鑑於此，本實用新型提供一種光罩推車，該光罩推車能解決光罩運輸數量少，運輸過程中光罩易摔壞，光罩推車無完善的減震措施，光罩推車內容易堆積微粒的問題。[0006]為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案[0007]—種光罩推車，其包括主支架以及置於主支架上用以放置光罩的層板，所述層板上固定有若干沿第一水平方向間隔排布的第一圓棒，所述相鄰兩個第一圓棒之間以及最外側的第一圓棒與主支架之間形成收容光罩的收容槽，所述光罩呈豎直間隔分離式擺放在層板上。[0008]優選的，在上述光罩推車中，所述若干第一圓棒包括至少兩列，所述兩列第一圓棒沿與第一水平方向垂直的第二水平方向間隔排布，所述相鄰兩列第一圓棒之間還設有區隔該兩列第一圓棒的第二圓棒。[0009]優選的，在上述光罩推車中，所述第一圓棒與第二圓棒皆呈「 π 」型，所述「 π 」型圓棒包括用以間隔分離光罩的限位部以及自限位部兩端彎折延伸的安裝部，所述安裝部與層板固定在一起。[0010]優選的，在上述光罩推車中，所述層板上設有若干貫通層板以避免小顆粒堆積的小孔。[0011]優選的，在上述光罩推車中，所述層板呈長方形，所述層板的四個角與主支架之間設有減震墊，所述減震墊與主支架固定在一起。[0012]優選的，在上述光罩推車中，所述主支架呈長方體結構且包括兩層，所述主支架每層的四面設有封板，所述四個封板與層板共同圍成一個收容光罩的收容空間。[0013]優選的，在上述光罩推車中，所述主支架的下方還設有防撞塊，所述防撞塊向外凸出主支架。[0014]優選的，在上述光罩推車中，還包括位於防撞塊下方的導向輪以及位於導向輪與防撞塊之間的避震連接件，所述避震連接件一端與導向輪連接固定，所述避震連接件另一端與主支架連接固定。[0015]優選的，在上述光罩推車中，所述導向輪為萬向輪，所述萬向輪上設有剎車系統。[0016]從上述技術方案可以看出，本實用新型實施例的光罩推車通過設置若干間隔排布的第一圓棒，使得光罩間隔分離式擺放在層板上，充分利用空間，光罩運輸數量多，該光罩推車還具有完善的減震措施以及防止光罩傾翻的結構設計，在運輸過程中保證光罩不被傾翻，進而防止光罩損壞。


[0017]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對於本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。[0018]圖1是本實用新型光罩推車的立體示意圖；[0019]圖2是本實用新型光罩推車中圓棒安裝在層板上的俯視圖；[0020]圖3是本實用新型光罩推車中減震墊安裝位置的局部放大圖。[0021]100、光罩推車1、主支架11、連接杆12、封板13、防撞塊14、導向輪15、避震連接件 16、剎車系統2、層板21、小孔3、減震墊4、第一圓棒41、限位部42、安裝部5、第二圓棒具體實施方式
[0022]下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行詳細的描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基於本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬於本實用新型保護的範圍。[0023]集成電路製造中利用光學-化學反應原理和化學、物理刻蝕方法，將電路圖形傳遞到單晶表面或介質層上，形成有效圖形窗口或功能圖形的工藝技術。隨著半導體技術的發展，光刻技術傳遞圖形的尺寸限度縮小了 2 3個數量級，已從常規學技術發展成應用電子束、X射線、微離子束、雷射等新技術，光刻技術成為了一種精密的微細加工技術。[0024]光罩在光刻技術中又稱光掩模版。現有技術中光罩主要採用防靜電箱或光罩推車進行運輸。其中，使用防靜電箱搬運光罩效率低，運輸量少(1次只能搬運6塊)，搬運過程中安全性低，人員摔倒易造成防靜電箱翻倒，進而導致光罩的損壞，並且，防靜電箱無防震系統易造成搬運過程中的震蕩，同樣會導致光罩的損壞，防靜電箱為密閉空間，潔淨度低， 容易引起微粒的堆積。使用現有的光罩推車搬運光罩，空間利用率低，光罩推車上設有用以放置光罩的縱向立柱式光罩櫃，光罩在光罩推車內一般都採用橫向平躺擺放，安全性低， 光罩容易傾倒出來且防震措施不完善，易造成光罩的損壞，穩定性低，光罩櫃與底部可以拆卸，防震效果不好易造成光罩的損壞。[0025]本實用新型公開了一種光罩推車，所述光罩推車通過設置若干間隔排布的第一圓棒，使得光罩間隔分離式擺放在層板上，充分利用空間，光罩運輸數量多，該光罩推車還具有完善的減震措施以及防止光罩傾翻的結構設計，在運輸過程中保證光罩不被傾翻，進而防止光罩損壞。[0026]請參閱圖1及圖2所示，所述光罩推車100包括主支架1以及置於主支架1上且用以放置光罩的層板2。所述主支架1由若干連接杆11搭接而成，所述主支架1整體呈長方體框架結構，該長方體框架結構的主支架1中設有沿上下方向排布且用以收容光罩的兩層空間，所述主支架1每層空間的四面分別設有封板12，所述四個封板12與該層的層板2 共同圍成一個收容光罩的收容空間。所述主支架1的每層空間內放置有四列光罩。每列可放8塊光罩，其中，前三列光罩用若干第一圓棒4(容後詳述)分隔。第四列無第一圓棒4 分隔，特供放置專用光罩版盒。[0027]請參閱圖1及圖3所示，所述主支架1的下方還設有防撞塊13，所述防撞塊13向外凸出主支架1。如此設置，當外界物體與光罩推車100碰撞時，首先與防撞塊13接觸，經過防撞塊13的減震，減小了碰撞對光罩的破壞。所述光罩推車100還包括位於防撞塊13 下方的四隻導向輪14以及位於導向輪14與防撞塊13之間的避震連接件15，所述避震連接件15 —端與導向輪14連接固定，所述避震連接件15另一端與主支架1連接固定，所述導向輪14為萬向輪，所述萬向輪14上設有剎車系統16，如此設置，通過設置四隻帶剎車系統 16的萬向輪14，可防止靜電產生。[0028]請繼續參閱圖1及圖2所示，所述層板2包括兩塊，該兩塊層板2分別安裝在主支架1的兩層空間內。所述層板2上設有若干貫通層板2小孔21。如此設置，通過在層板2 上設有若干小孔21，可避免光罩推車100內微粒堆積。[0029]所述層板2呈長方形，所述層板2的四個角與主支架1之間設有減震墊3。所述減震墊3安裝固定在光罩推車100的主支架1上。所述層板2可拆裝的放置在四個減震墊3 上。如此設置，在光罩推車100晃動或者受碰撞時，減震墊3可以削減一些震動，減小晃動或者碰撞對光罩造成破壞。所述層板2上固定有若干沿第一水平方向間隔排布的第一圓棒 4，所述相鄰兩個第一圓棒4之間以及最外側的第一圓棒4與安裝在主支架1上的封板12 之間形成收容光罩的收容槽，所述光罩呈豎直間隔分離式擺放在層板2上。如此設置，通過設置若干間隔排布的第一圓棒4，使得光罩間隔分離式擺放在層板上，充分利用空間，光罩運輸數量多，並且第一圓棒4可以限制光罩在第一水平方向上的運動範圍，保證光罩不被傾倒。[0030]請參閱圖2所示，所述若干第一圓棒4包括三列，所述三列第一圓棒4沿與第一水平方向垂直的第二水平方向間隔排布，所述相鄰兩列第一圓棒4之間還設有對該兩列第一圓棒4進行區隔的第二圓棒5。如此設置，可以限制光罩在第二水平方向上的運動範圍，保證光罩不被傾倒。所述第一圓棒4與第二圓棒5皆呈「 π 」型，所述「 π，，型圓棒包括用以間隔分離光罩的限位部41以及自限位部41兩端彎折延伸的安裝部42，所述安裝部42與層板2固定在一起。[0031]本實用新型光罩推車100通過在第一水平方向上設置若干第一圓棒4對光罩進行區隔以及在第二水平方向上設置若干第二圓棒5對相鄰兩列第一圓棒4進行區隔，使得光罩呈豎直間隔分離式擺放在層板2上。如此設置，充分利用空間，光罩運輸數量多，並且第一圓棒4可以限制光罩在第一水平方向上的運動範圍，第二圓棒5可以限制光罩在第二水平方向上的運動範圍，共同避免光罩被傾倒出光罩推車100。[0032]本實用新型光罩推車100通過在層板2的四個角與主支架1之間設置減震墊3，通過在推車底部與導電輪14之間設置避震連接件15，通過在主支架1的下方設置防撞塊13， 藉助該三層減震系統，最大限度降低光罩推車100在運輸過程中產生晃動量。[0033]本實用新型光罩推車100通過在層板2上設有若干貫通層板2的小孔21，可以以避免小顆粒在層板2上堆積。[0034]本實用新型光罩推車100的導向輪採用帶剎車的萬向輪，可防止靜電產生。[0035]對所公開的實施例的上述說明，使本領域專業技術人員能夠實現或使用本實用新型。對這些實施例的多種修改對本領域的專業技術人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或範圍的情況下，在其它實施例中實現。因此，本實用新型將不會被限制於本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的範圍。
權利要求1.一種光罩推車(100)，其特徵在於包括主支架(1)以及置於主支架(1)上用以放置光罩的層板O)，所述層板( 上固定有若干沿第一水平方向間隔排布的第一圓棒，所述相鄰兩個第一圓棒(4)之間以及最外側的第一圓棒(4)與主支架(1)之間形成收容光罩的收容槽，所述光罩呈豎直間隔分離式擺放在層板( 上。
2.根據權利要求1所述光罩推車，其特徵在於所述若干第一圓棒(4)包括至少兩列， 所述兩列第一圓棒(4)沿與第一水平方向垂直的第二水平方向間隔排布，所述相鄰兩列第一圓棒(4)之間還設有區隔該兩列第一圓棒的第二圓棒(5)。
3.根據權利要求2所述光罩推車，其特徵在於所述第一圓棒(4)與第二圓棒(5)皆呈「π」型，所述「π」型圓棒包括用以間隔分離光罩的限位部以及自限位部兩端彎折延伸的安裝部(42)，所述安裝部02)與層板O)固定在一起。
4.根據權利要求1所述光罩推車，其特徵在於所述層板(2)上設有若干貫通層板以避免小顆粒堆積的小孔01)。
5.根據權利要求1所述光罩推車，其特徵在於所述層板(2)呈長方形，所述層板(2) 的四個角與主支架(1)之間設有減震墊(3)，所述減震墊(3)與主支架(1)固定在一起。
6.根據權利要求1所述光罩推車，其特徵在於所述主支架(1)呈長方體結構且包括兩層，所述主支架每層的四面設有封板(12)，所述四個封板(1 與層板( 共同圍成一個收容光罩的收容空間。
7.根據權利要求1所述光罩推車，其特徵在於所述主支架(1)的下方還設有防撞塊(13)，所述防撞塊(13)向外凸出主支架(I)0
8.根據權利要求7所述光罩推車，其特徵在於還包括位於防撞塊(13)下方的導向輪(14)以及位於導向輪(14)與防撞塊(13)之間的避震連接件(15)，所述避震連接件(15) 一端與導向輪(14)連接固定，所述避震連接件(1 另一端與主支架(1)連接固定。
9.根據權利要求8所述光罩推車，其特徵在於所述導向輪(14)為萬向輪，所述萬向輪上設有剎車系統(16)。
專利摘要一種光罩推車，其包括主支架以及置於主支架上用以放置光罩的層板，所述層板上固定有若干沿第一水平方向間隔排布的第一圓棒，所述相鄰兩個第一圓棒之間以及最外側的第一圓棒與主支架之間形成收容光罩的收容槽，所述光罩呈豎直間隔分離式擺放在層板上。本實用新型光罩推車通過設置若干間隔排布的第一圓棒，使得光罩間隔分離式擺放在層板上，充分利用空間，光罩運輸數量多，該光罩推車還具有完善的減震措施以及防止光罩傾翻的結構設計，在運輸過程中保證光罩不被傾翻，進而防止光罩損壞。
文檔編號B65D81/02GK202295868SQ201120424069
公開日2012年7月4日 申請日期2011年10月31日 優先權日2011年10月31日
發明者王睿, 胡晶 申請人:無錫華潤上華科技有限公司