單晶爐新熱場的製作方法
2023-09-27 05:57:30
專利名稱:單晶爐新熱場的製作方法
技術領域:
本實用新型涉及ー種單晶爐熱場。
背景技術:
從單晶的生長速度來看,由於現有的熱場保溫性能差、熱導快,導致液面溫度高,氧化物偏多,造成生長速度只有平均O. 86_/分鐘。現有熱場的導流筒是石墨導流筒,由於保溫性能差,使得拉速慢且不穩,導致晶棒表面不光滑,粗細不均勻。
實用新型內容為了克服上述缺陷,本實用新型的目的是提供ー種單晶爐新熱場。為了實現上述目的,本發明採用如下技術方案單晶爐熱場,其包括導流筒、固化氈、桶體,導流筒固定在桶體內,桶體外加設有固化氈,單晶爐熱場的的中心部分設有通孔。優選地,上述導流筒是鑰導流筒。本實用新型的固化氈使用進ロ的軟氈,加強了保溫性能,底部能起到保溫的作用,而用到上部更能保持液面溫度。從而使單晶生長速度増加到了 I. 13_/分鐘,提高了拉晶的工作效率。鑰導流筒,由於鑰導流筒的材質能夠隔絕和反射加熱器和熱場所帯來的加熱溫度,使得導流筒內部處於相対的低溫空間,這樣用鑰製成的導流筒能更有效的使單晶的結晶降溫速度比原來的更快,更安全。由於在保溫方面的出色發揮,能將溫度控制在熱場內部,功率明顯降低,由於本身保溫性能好,功率低且平穩,能使晶棒生長時的拉速液相對穩定,從而成品表面光滑平整。
圖I為本實用新型的結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖進ー步說明如圖I所示,ー種單晶爐新熱場,其包括鑰導流筒I、固化氈3、桶體2,鑰導流筒I固定在桶體2內,桶體2外加設有固化氈3,單晶爐熱場的的中心部分設有通孔4。
權利要求1.單晶爐新熱場,其特徵在於包括導流筒、固化氈、桶體,導流筒固定在桶體內,桶體外加設有固化氈,單晶爐熱場的的中心部分設有通孔。
2.如權利要求I所述的單晶爐新熱場,其特徵是上述導流筒是鑰導流筒。
專利摘要本實用新型公開了一種單晶爐新熱場,其特徵在於包括導流筒、固化氈、桶體,導流筒固定在桶體內,桶體外加設有固化氈,單晶爐熱場的中心部分設有通孔。本實用新型保溫性能好,使單晶生長速度增加到了1.13mm/分鐘,提高了拉晶的工作效率;鉬導流筒的材質能夠隔絕和反射加熱器和熱場所帶來的加熱溫度,使得導流筒內部處於相對的低溫空間,這樣用鉬製成的導流筒能更有效的使單晶的結晶降溫速度比原來的更快,更安全;本身保溫性能好,功率低且平穩,晶棒生長時的拉速液相對穩定,從而成品表面光滑平整。
文檔編號C30B15/14GK202450187SQ20122001996
公開日2012年9月26日 申請日期2012年1月17日 優先權日2012年1月17日
發明者沈志華 申請人:浙江好亞能源股份有限公司