旋轉工作檯的吸嘴升降驅動機構的製作方法

2023-10-07 07:09:59

旋轉工作檯的吸嘴升降驅動機構的製作方法
【專利摘要】旋轉工作檯的吸嘴升降驅動機構，涉及半導體元件生產領域。包括電機支架，電機支架上安裝有電機，電機支架的下端面固定有豎向設置的滑軌座，滑軌座上固定有豎向的滑軌，滑軌上設置有滑塊，滑塊上固定有頂杆滑塊座，頂杆滑塊座的下端固定有用於連接吸嘴裝置的頂杆；所述頂杆滑塊座的一側連接有水平設置的固定軸，固定軸上連接有軸承，電機的輸出軸上連接有升降凸輪；所述滑軌座與頂杆滑塊座之間連接有復位壓簧。本發明的吸嘴升降是通過電機驅動升降凸輪下壓軸承實現的，通過升降凸輪的圓弧曲面逐漸下壓軸承，避免了吸嘴的快速下行對半導體元件造成的衝擊，減少了半導體元件的損壞，提高了經濟效益。
【專利說明】旋轉工作檯的吸嘴升降驅動機構

【技術領域】
[0001]本發明涉及半導體元件生產領域，具體為一種旋轉工作檯的吸嘴升降驅動機構。

【背景技術】
[0002]現有技術中，有一種用於半導體元件檢測並篩選的檢測裝置，包括有旋轉轉盤，旋轉轉盤包括轉盤，轉盤的環周均布有若干吸嘴，在吸嘴的上端連接有用於帶動吸嘴升降的驅動機構，該驅動機構是通過氣缸帶動吸嘴升降，因為氣缸的工作速度較快，衝擊力較高，容易造成吸嘴下端吸取的半導體元件損壞。


【發明內容】

[0003]本發明的目的是提供一種吸嘴升降驅動機構，該機構能夠實現吸嘴下降加速度的連續變化，減小對半導體元件的衝擊。
[0004]實現上述目的的技術方案是:旋轉工作檯的吸嘴升降驅動機構，包括電機支架，電機支架上安裝有電機，電機支架的下端面固定有豎向設置的滑軌座，滑軌座上固定有豎向的滑軌，滑軌上設置有滑塊，滑塊上固定有頂杆滑塊座，頂杆滑塊座的下端固定有用於連接吸嘴裝置的頂杆；所述頂杆滑塊座的一側連接有水平設置的固定軸，固定軸上連接有軸承，所述電機的輸出軸向下延伸到電機支架的下方，電機的輸出軸上連接有升降凸輪，所述升降凸輪包括空心圓柱體，空心圓柱體的下端一側設置有升降壓塊，所述升降壓塊與電機旋轉方向相同的一側端面為弧形曲面，電機旋轉帶動升降壓塊的弧形曲面下壓軸承帶動頂杆滑塊座下行；所述滑軌座與頂杆滑塊座之間連接有復位壓簧。
[0005]本發明的吸嘴升降是通過電機驅動升降凸輪下壓軸承實現的，升降凸輪的下端一側設置有升降壓塊，升降壓塊與電機旋轉方向相同的一側端面為弧形曲面，通過升降凸輪的圓弧曲面逐漸下壓軸承，避免了吸嘴的快速下行對半導體元件造成的衝擊，減少了半導體元件的損壞，提高了經濟效益。
[0006]本發明電機轉動控制吸嘴升降，頻率高、速度快，同時本發明可以通過更換不同高度的升降凸輪來調節吸嘴的升降高度。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0007]圖1為本發明的結構示意圖；
圖2為圖1的右視圖；
圖3為升降凸輪的結構示意圖。

【具體實施方式】
[0008]如圖1、2所示，包括電機支架1，電機支架I上安裝有電機2，電機支架I的下端面固定有豎向設置的滑軌座3，滑軌座3上固定有豎向的滑軌4，滑軌4上設置有滑塊5，滑塊5上固定有頂杆滑塊座6，頂杆滑塊座6的下端固定有用於連接吸嘴裝置的頂杆7。
[0009]頂杆滑塊座6的一側連接有水平設置的固定軸8，固定軸8上連接有軸承9，電機2的輸出軸向下延伸到電機支架I的下方，電機2的輸出軸上連接有升降凸輪10 ;滑軌座3的下部設置有彈簧座14，彈簧座14上連接有導杆15，導杆15上套置有復位彈簧16，復位彈簧16的上端與頂杆滑塊座6連接。
[0010]如圖3所示，升降凸輪10包括空心圓柱體11，空心圓柱體11的下端一側設置有弧形的升降壓塊12，所述升降壓塊12與電機2旋轉方向相同的一側端面為弧形曲面13。吸嘴下行時，電機2旋轉帶動升降壓塊12的弧形曲面13下壓軸承9帶動頂杆滑塊座6下行；吸嘴上行時，電機2旋轉帶動升降壓塊12轉動，使升降凸輪10未設置升降壓塊12 —側端面朝向軸承9，頂杆滑塊座6在復位彈簧16的作用下上行。
【權利要求】
1.旋轉工作檯的吸嘴升降驅動機構，其特徵在於:包括電機支架，電機支架上安裝有電機，電機支架的下端面固定有豎向設置的滑軌座，滑軌座上固定有豎向的滑軌，滑軌上設置有滑塊，滑塊上固定有頂杆滑塊座，頂杆滑塊座的下端固定有用於連接吸嘴裝置的頂杆；所述頂杆滑塊座的一側連接有水平設置的固定軸，固定軸上連接有軸承，所述電機的輸出軸向下延伸到電機支架的下方，電機的輸出軸上連接有升降凸輪，所述升降凸輪包括空心圓柱體，空心圓柱體的下端一側設置有升降壓塊，所述升降壓塊與電機旋轉方向相同的一側端面為弧形曲面，電機旋轉帶動升降壓塊的弧形曲面下壓軸承帶動頂杆滑塊座下行；所述滑軌座與頂杆滑塊座之間連接有復位壓簧。
【文檔編號】H01L21/67GK104332434SQ201410599736
【公開日】2015年2月4日 申請日期:2014年10月31日 優先權日:2014年10月31日
【發明者】李永備, 蔣豔麗, 張磊 申請人:揚州澤旭電子科技有限責任公司