外延片生產用氮氣乾燥箱的製作方法

2023-10-04 21:01:14

外延片生產用氮氣乾燥箱的製作方法
【專利摘要】本實用新型提供一種外延片生產用氮氣乾燥箱，包括帶有蓋的箱體，所述箱體為中空結構，所述箱體側壁上設有一個與氣源相連接的進氣口，所述箱體側壁上還設有一個與排氣裝置相連接的排氣口。該外延片生產用氮氣乾燥箱及時將乾燥箱內多餘的的氣體回收，避免氮氣直接進入空氣中，造成工作環境缺氧發生危險，並且在排出多餘氣體的同時帶動了空氣流動，提高了乾燥效率。
【專利說明】外延片生產用氮氣乾燥箱
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種外延片生產用氮氣乾燥箱。
【背景技術】
[0002]氮氣是惰性氣體，不易與其他物質發生反應。在日常生產生活中，氮氣常作為氣源，且不與需要氣源的電器和氣動元器件產生氧化和腐蝕，既可杜絕細菌和噬菌體在元器件中滋生和汙染，也可延長電器元器件和氣動元器件使用壽命。氮氣廣泛存在與大氣中，乾燥潔淨且不含水，不含油，因此常作為乾燥氣體使用。
[0003]目前常用的外延片生產用氮氣乾燥箱通常將送入的氣體通過過濾網過濾分散後送入乾燥箱箱體內部，進而對需要乾燥的物體進行乾燥。此外，現有技術中的乾燥箱多將使用過的氮氣排放至環境中，易導致缺氧，且乾燥效率差。
實用新型內容
[0004]鑑於以上所述現有技術的缺點，本實用新型一種外延片生產用氮氣乾燥箱在於解決在氮氣乾燥過程中乾燥效率差且工作環境易缺氧發生危險的問題。
[0005]為實現上述目的，本實用新型提供一種外延片生產用氮氣乾燥箱，包括帶有蓋的箱體，所述箱體為中空結構，所述箱體側壁上設有一個與氣源相連接的進氣口，所述箱體側壁上還設有一個與排氣裝置相連接的排氣口。
[0006]進一步地，所述箱體內部設有向所述箱體內部送氣的送氣裝置，所述送氣裝置一端與進氣口相連通，所述送氣裝置上間隔設有多個噴氣口。
[0007]優選地，所述送氣裝置為管狀結構。
[0008]優選地是，所述噴氣口(21)為三個以上。
[0009]進一步地，所述箱體內部還設有向箱體內部噴射離子的離子發生器。
[0010]如上所述，本實用新型涉及的一種外延片生產用氮氣乾燥箱，利用氣體回收裝置將箱體內多餘的氣體回收，避免氮氣直接排放於空氣中，造成工作環境缺氧發生危險，並且在排出多餘氣體的同時帶動了空氣流動，提高了乾燥效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1顯示為本實用新型外延片生產用氮氣乾燥箱的結構示意圖。
[0012]元件標號說明
[0013]I 箱體
[0014]11 進氣口
[0015]12 排氣口
[0016]2 送氣裝置
[0017]21 噴氣口
[0018]3 離子發生器【具體實施方式】
[0019]以下由特定的具體實施例說明本實用新型的實施方式，熟悉此技術的人士可由本說明書所揭露的內容輕易地了解本實用新型的其他優點及功效。
[0020]請參閱圖1。須知，本說明書所附圖式所繪示的結構、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內容，以供熟悉此技術的人士了解與閱讀，並非用以限定本實用新型可實施的限定條件，故不具技術上的實質意義，任何結構的修飾、比例關係的改變或大小的調整，在不影響本實用新型所能產生的功效及所能達成的目的下，均應仍落在本實用新型所揭示的技術內容得能涵蓋的範圍內。同時，本說明書中所引用的如「上」、「下」、「左」、「右」、「中間」及「一」等的用語，亦僅為便於敘述的明了，而非用以限定本實用新型可實施的範圍，其相對關係的改變或調整，在無實質變更技術內容下，當亦視為本實用新型可實施的範疇。
[0021]如圖1所示，本實用新型提供一種外延片生產用氮氣乾燥箱，該外延片生產用氮氣乾燥箱包括帶有蓋的箱體I，箱體I為中空結構，箱體I的蓋可開合，便於將所需乾燥的物品置於箱體I內；箱體I側壁上設有一個與外部氣源相連接的進氣口 11，外部氣源向乾燥箱箱體內部提供氮氣；箱體I側壁上還設有一個與外部排氣裝置相連接的排氣口 12，在乾燥過程中，排氣裝置及時將多餘氣體排出，且加速氣體流動，提高了乾燥效率。
[0022]箱體I內部還設有向箱體內部送氣的送氣裝置2，送氣裝置2 —端與進氣口 11相連通，外部氣源通過進氣口 11將氮氣輸送至送氣裝置2中，進氣裝置2上間隔設有多個噴氣口 21，各噴氣口 21的噴射角度均不相同，方便將氮氣均勻送至箱體I內的各個位置，使氮氣充滿箱體I內。本實施例優選三個噴嘴21。
[0023]該外延片生產用氮氣乾燥箱內的送氣裝置2優選軟管狀結構，軟管價格低廉且易彎折，安裝方便。
[0024]該外延片生產用氮氣乾燥箱的箱體I內部還設有向箱體內部噴射離子的離子發生器3，離子發生器3為棒狀結構，可生成離子並向箱體I內噴射，離子可有效消除氣體流經物體表面時產生的靜電，減少顆粒附著，大幅提高了乾燥效率。
[0025]實際生產過程中，打開箱體I的蓋，將需乾燥的物體放入外延片生產用氮氣乾燥箱的箱體I內，打開外部氣源，通過進氣口 11將氮氣輸送至送氣裝置2的軟管中，並利用軟管上設有的多個不同方向的噴氣口 21將氮氣充滿箱體I內部，利用氮氣的特性對被乾燥物體進行乾燥；在進行乾燥的同時，離子發生器3產生的離子即時進入箱體I內部，有效消除氮氣流經物體表面時產生的靜電，減少顆粒附著在物體表面上；同時，外部的排氣裝置通過排氣口 12將箱體I內多餘的氣體排出，大幅提高了乾燥效率。
[0026]綜上所述，該氮氣發生器結構簡單，使用方便，利用外設的排氣裝置將箱體I內多餘的氣體排出，加速了箱體I內的空氣流通，提高了乾燥效率，並可有效地避免因氮氣外洩造成缺氧事故的發生，大幅提高了乾燥效率。
[0027]上述實施例僅例示性說明本實用新型的原理及其功效，而非用於限制本實用新型。任何熟悉此技術的人士皆可在不違背本實用新型的精神及範疇下，對上述實施例進行修飾或改變。因此，舉凡所屬【技術領域】中具有通常知識者在未脫離本實用新型所揭示的精神與技術思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應由本實用新型的權利要求所涵蓋。
【權利要求】
1.一種外延片生產用氮氣乾燥箱，其特徵在於，包括帶有蓋的箱體(I)，所述箱體(I)為中空結構，所述箱體(I)側壁上設有一個與氣源相連接的進氣口(11)，所述箱體(I)側壁上還設有一個與排氣裝置相連接的排氣口(12);所述箱體(I)內部設有向所述箱體內部送氣的送氣裝置(2)，所述送氣裝置(2) —端與進氣口(11)相連通，所述送氣裝置(2)上間隔設有多個噴氣口(21);所述噴氣口(21)為三個以上。
2.根據權利要求1所述的外延片生產用氮氣乾燥箱，其特徵在於，所述送氣裝置(2)為管狀結構。
3.根據權利要求1所述的外延片生產用氮氣乾燥箱，其特徵在於，所述箱體(I)內部還設有向箱體內部噴射離子的離子發生器(3)。
【文檔編號】F26B9/06GK203744662SQ201420047835
【公開日】2014年7月30日 申請日期:2014年1月24日 優先權日:2014年1月24日
【發明者】鄒崇生, 金秋聯, 顧廣安 申請人:上海晶盟矽材料有限公司