曝光機的電路板對位裝置的製作方法

2023-10-04 04:09:49

專利名稱：曝光機的電路板對位裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種對位裝置，特別是涉及一種地位極為精準而符合精密曝光製程的對位精度要求的曝光機的電路板對位裝置。
現有曝光機的電路板對位裝置，是在曝光機的曝光框上設置若干定位銷，而於電路板相對設有定位孔，以由定位銷與定位孔間的套合關係，將電路板對位於曝光框；但為了套合的順暢性，一般會使定位孔的孔徑稍大於定位銷的直徑，如此所形成的對位誤差尚可供一般的曝光製程使用，不過對於要求高精密度的曝光製程，則存在有精密度不良率高的缺陷。
本實用新型的主要目的在於提供一種曝光機的電路板對位裝置，其於曝光框底框外端並設兩組微調機構，而底框的玻璃面設有兩個穿孔，供各微調機構的彈性伸縮對位銷穿設，另在上、下底片及電路板設有相互對位用的標靶，再於曝光框下方設置一CCD影像拾取系統的攝像機，用以檢視電路板的標靶是否已到達定位，同時由CCD影像拾取系統送出控制訊號至微調機構；藉此，具有對位極為精準而符合精密曝光製程的對位精度要求的增進功效。
本實用新型的目的是由以下技術方案實現的。依據本實用新型提出的一種曝光機的電路板對位裝置，其包括有兩組並設於曝光框底框外端底緣面的微調機構，其於一可移動的平板上縱橫設置一對微型精密伺服滑臺，其中，第一伺服滑臺帶動平板位移，而設於平板內側的第二伺服滑臺則帶動一延伸板位移，並於延伸板端部設置一具有上下伸縮彈性的對位銷，且該底框的玻璃面對應該對位銷設有供其穿伸且具遊移空間的穿孔；將上、下底片及電路板設有相互對位用的標靶，電路板相對對位銷設有對位孔；一CCD影像拾取系統，其將攝像機設置於曝光框下方預定處，並藉其所攝取的標靶疊合影像，控制該微調機構縱橫設置的二微型精密伺服滑臺動作。
本實用新型的目的還可以通過以下技術措施來進一步實現。
前述的曝光機的電路板對位裝置，其中所述對位銷的頂端設成錐狀體。
前述的曝光機的電路板對位裝置，其中所述上、下底片及上玻璃面相對於對位銷亦設有較大內徑的穿孔或凹槽。而不影響對位銷帶動中間的電路板遊移。
本實用新型與現有技術相比具有明顯的優點和積極效果。
由以上技術方案可知，本實用新型是以電路板對位的結構方式，較現有以定位銷與定位孔的套合對位方式，具有對位極為精準而符合精密曝光製程的對位精度要求的功效。且其是利用微調機構與CCD影像拾取系統，兩者相輔相成，而能自動對位，勿需使用人工逐一定位，故可增進效率及產能，完全符合高科技產業的需求。
綜上所述，本實用新型曝光機的電路板對位裝置，其不論在結構上或功能上皆有較大的改進，且在技術上有較大的進步，並產生了好用及實用的效果，而確實具有增進的功效，從而更加適於實用，誠為一新穎、進步、實用的新設計。
本實用新型的具體結構由以下實施例及其附圖詳細給出。


圖1是本實用新型實施例設置於曝光機的立體示意圖；圖2是本實用新型實施例設置於曝光機的相關位置示意圖3是本實用新型實施例的微調機構設置於曝光框的相關位置示意圖；圖4是本實用新型實施例的微調機構的結構俯視圖；圖5是圖4中A-A剖面的剖視圖；圖6是本實用新型實施例的微調機構與CCD影像拾取系統的搭配關係示意圖(一)；圖7是本實用新型實施例的微調機構與CCD影像拾取系統的搭配關係示意圖(二)；圖8是本實用新型實施例的上、下底片及電路板藉其標靶相互對位的示意圖(一)；圖9是本實用新型實施例的上、下底片及電路板藉其標靶相互對位的示意圖(二)。
圖號說明(1)曝光框(22)、(23)第一、二伺服滑臺(52)穿孔(11)底框 (24)對位銷 (61)標靶(111)玻璃面(241)錐狀體(62)對位孔(112)穿孔 (3)CCD影像拾取系統 (5)下底片(12)櫃面 (31)攝像機 (6)電路板(121)玻璃面(4)上底片(122)凹槽 (41)標靶(2)微調機構(42)穿孔(21)平板 (51)標靶
以下結合附圖及較佳實施例，對依據本實用新型提出的曝光機的電路板對位裝置，其具體結構、特徵及其功效，詳細說明如後。
首先，請參閱
圖1至圖3所示，本實用新型是將兩組微調機構2並設於曝光框1、底框11外端底緣面，而微調機構2的構成則如圖4至圖6所示，在一可移動的平板21上縱橫設置一對微型精密伺服滑臺22、23，其中，第一伺服滑臺22是帶動平板21位移(X軸方向)，而設於平板21內側的第二伺服滑臺23則帶動一延伸板231位移(Y軸方向)，並於延伸板231端部設置一具有上下伸縮彈性的對位銷24，進而使得對位銷24具有X、Y軸二度平面空間的微調位移功能，且該底框11的玻璃面111對應該對位銷24設有供其穿伸且具有遊移空間的穿孔112。
又，該對位銷24的頂端設成錐狀體241。
再者，如圖2、圖6、圖7所示，另於曝光框1下方預定處設置一CCD影像拾取系統3的攝像機31，而CCD影像拾取裝置3則設於機臺正上方，並具有顯示攝像機31所拍攝標靶定位的螢幕畫面32(
圖1所示)。至於CCD影像拾取系統3的內部結構，其為現有技術，非本案特徵，故在此不再贅述；本實用新型僅是利用其來控制兩組微調機構2；又如圖7至圖9所示，再將上、下底片4、5及電路板6設有相互對位用的標靶41、51、61，且使電路板6相對該對位銷24設有一略小的對位孔62，使其可套置定位在頂端的錐狀體241處；且該上、下底片4、5及上玻璃面121相對於對位銷24則設有較大內徑的穿孔42、52或凹槽122，而不影響對位銷24帶動中間的電路板6遊移。
基於上述結構，本實用新型是藉CCD影像拾取系統3，先將上、下底片4、5對位於臺面12與底框11的玻璃面121、111上，而再將待曝光的電路板6置於底框11的下底片5上方，並使其對位孔62套設於微調機構2的對位銷24(如圖6、圖7所示)；於是，該CCD影像拾取系統3就可藉其攝像機31所攝取的標靶41、51、61疊合影像(如圖8所示)，進而控制該微調機構2縱橫設置的微型精密第一、二伺服滑臺22、23動作，而以對位銷24帶動電路板6遊移，此時上、下兩玻璃面121、111如圖6所示，尚未抽真空吸附在一起，而二支對位銷24則猶如雙手的手指夾住電路板在作微調定位，僅需數秒時間待電路板的標靶61已正確位於上、下底片的標靶41、51中心，則使第一、二伺服滑臺22、23停止動作，即可將電路板6相對於上、下底片4、5精準地對位，則如圖9所示，使上、下底片4、5因上、下玻璃面121、111吸附在一起(圖9未示)，而精準疊合於電路板6上、下表面，以使電路準確曝光。經測試本實用新型的定位精準度可控制在±0.01mm，故適用於高精度的電路板。
以上所述，僅是本實用新型的較佳實施例而已，並非對本實用新型作任何形式上的限制，凡是依據本實用新型的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬於本實用新型技術方案的範圍內。
權利要求1.一種曝光機的電路板對位裝置，其包括有兩組並設於曝光框底框外端底緣面的微調機構，其於一可移動的平板上縱橫設置一對微型精密伺服滑臺，其中，第一伺服滑臺帶動平板位移，而設於平板內側的第二伺服滑臺則帶動一延伸板位移，並於延伸板端部設置一具有上下伸縮彈性的對位銷，且該底框的玻璃面對應該對位銷設有供其穿伸且具遊移空間的穿孔；將上、下底片及電路板設有相互對位用的標靶，電路板相對對位銷設有對位孔；一CCD影像拾取系統，其將攝像機設置於曝光框下方預定處。
2.根據權利要求1所述的曝光機的電路板對位裝置，其特徵在於所述對位銷的頂端設成錐狀體。
3.根據權利要求1所述的曝光機的電路板對位裝置，其特徵在於所述上、下底片及上玻璃面相對於對位銷亦設有較大內徑的穿孔或凹槽。
專利摘要一種曝光機的電路板對位裝置,其包括:兩組並設於曝光框底框外端的微調機構,在一移動的平板上縱橫設置微型精密伺服滑臺,並擇一滑臺設置一具伸縮彈性的對位銷,且底框的玻璃面對應對位銷設有穿孔;將上、下底片及電路板設相互對位用的標靶,電路板相對對位銷設對位孔;一CCD影像拾取系設置於曝光框下方預定處,並藉其所攝取的標靶疊合影像,控制微調機構縱橫設置的微型精密伺服滑臺動作。具有對位極為精準而符合精密曝光製程的對位精度要求的功效。
文檔編號G03F7/20GK2475052SQ0121881
公開日2002年1月30日 申請日期2001年4月3日 優先權日2001年4月3日
發明者張鴻明 申請人:川寶科技股份有限公司