一種用於裝載擴散磷源的源瓶的製作方法

2023-10-05 23:35:04

專利名稱：一種用於裝載擴散磷源的源瓶的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種用於裝載擴散磷源的源瓶，特別涉及太陽能電池製作過程中用於裝載擴散磷源的源瓶。
背景技術：
擴散工序是太陽能電池生產過程中的一個核心工序，其是在矽晶體表面進行擴散形成PN結，在這一工序中是將源瓶中的磷源以氣體的形式經出氣管引入到石英爐中進行擴散反應。在擴散工序中常用的是三氯氧磷液態源擴散，將液態三氯氧磷裝載在源瓶中。現有的源瓶包括瓶體、設置在瓶體上的進氣管和出氣管，在需要測量溫度時，必須在灌入三氯氧磷前或取出源瓶後測量溫度，碰到有毒、易揮發和溫度過高的環境時，測量溫度的危險性較大，不容易進行測量。
發明內容本實用新型所要解決的技術問題是克服現有技術的不足，提供一種用於裝載擴散磷源的源瓶，無需取出源瓶就可直接測量瓶內溫度。為解決上述技術問題，本實用新型採用如下技術方案一種用於裝載擴散磷源的源瓶，其包括瓶體、設置在瓶體上的進氣管和出氣管，所述源瓶還包括設置在所述瓶體內的熱電偶保護管。所述瓶體的材料優選為熔凝石英，其中以高純度熔凝石英為最佳。熱電偶保護管作為溫度傳感器，與溫度變送器，調節器及顯示儀表等配套，即可直接測量或控制各種生產過程中0-1800°C範圍內的流體的溫度。根據本實用新型，所述的熱電偶保護管的材質可優選為高純度熔凝石英。優選地，所述瓶體的底部內表面為自中部向四周逐漸降低的凸面，出氣管位於瓶體的邊緣使得出氣管的下埠對應位於瓶體的較低的表面上方，如此，利於出氣管更多的將磷源帶出，最大程度地使用磷源，避免浪費。由於採用以上技術方案的實施，本實用新型與現有技術相比具有如下優點本實用新型具有設置在瓶體內的熱電偶保護管，在需要測量瓶體內溫度時，無需取出瓶源，只需將熱電偶保護管與溫度變送器，調節器及顯示儀表等配套連接，即可獲得溫度數據，溫度測量既方便又安全。

下面結合具體的實施例，對本實用新型做進一步詳細的說明。圖1為用於裝載擴散磷源的源瓶的主視剖視圖；圖2為圖1的俯視圖；其中1、瓶體；2、進氣管；3、出氣管；30、下埠 ；4、熱電偶保護管。
具體實施方式
如 圖1和2所示，按照本實施例的用於裝載擴散磷源的源瓶包括瓶體1、設置在瓶體1上的進氣管2和出氣管3以及設置在瓶體1內的熱電偶保護管4。瓶體1的材質為石英，其底部內表面為自中部向四周逐漸降低的凸面，出氣管3位於瓶體1的邊緣使得出氣管3的下埠 30對應位於瓶體1的較低的表面上方，如此，利於出氣管更多的將磷源帶出， 最大程度地使用磷源，避免浪費。熱電偶保護管4的材質為高純度熔凝石英，優點是耐酸、 耐腐蝕、耐高溫。本實用新型通過在瓶體內增設熱電偶保護管，使得無需取出源瓶就可直接測量溫度，方便、安全。以上對本實用新型做了詳盡的描述，其目的在於讓熟悉此領域技術的人士能夠了解本實用新型的內容並加以實施，並不能以此限制本實用新型的保護範圍，凡根據本實用新型的精神實質所作的等效變化或修飾，都應涵蓋在本實用新型的保護範圍內。
權利要求1.一種用於裝載擴散磷源的源瓶，包括瓶體(1)、設置在所述瓶體(1)上的進氣管(2) 和出氣管(3)，其特徵在於所述源瓶還包括設置在所述瓶體(1)內的熱電偶保護管(4)。
2.根據權利要求1所述的用於裝載擴散磷源的源瓶，其特徵在於所述的瓶體(1)的材質為熔凝石英。
3.根據權利要求1或2所述的用於裝載擴散磷源的源瓶，其特徵在於所述的熱電偶保護管(4)的材質為熔凝石英。
4.根據權利要求1所述的用於裝載擴散磷源的源瓶，其特徵在於所述瓶體(1)的底部內表面為自中部向四周逐漸降低的凸面，所述的出氣管(3)位於所述瓶體(1)的邊緣使得出氣管(3)的下埠(30)對應位於所述瓶體(1)的較低的表面上方。
專利摘要本實用新型涉及一種用於裝載擴散磷源的源瓶，其包括瓶體、設置在瓶體上的進氣管和出氣管，所述源瓶還包括設置在所述瓶體內的熱電偶保護管。本實用新型具有設置在瓶體內的熱電偶保護管，在需要測量瓶體內溫度時，無需取出瓶源，只需將熱電偶保護管與溫度變送器，調節器及顯示儀表等配套連接，即可獲得溫度數據，溫度測量既方便又安全。
文檔編號F17C1/10GK202032285SQ20112013349
公開日2011年11月9日 申請日期2011年4月29日 優先權日2011年4月29日
發明者沈法松 申請人:蘇州凱西石英電子有限公司