提供化學物品的控制系統的製作方法

2023-12-01 01:35:56

提供化學物品的控制系統的製作方法
【專利摘要】本發明提出一種提供化學物品的控制系統，通過添加信號線直接連接輸入輸出控制盤與化學物品供應系統，製程設備機臺的需求信號能夠通過輸入輸出控制盤直接傳輸至化學物品供應系統，化學物品供應系統能夠根據需求信號做出相應的反應，同時輸入輸出控制盤也根據需求信號來控制閥門箱，並將相應的化學物品提供給製程設備機臺。從而避免了現有技術中出現從輸入輸出控制盤到化學物品供應系統中的信號線和中央數據採集盤出現的信號傳輸中斷問題，進而能夠根據製程設備機臺發出的需求信號正常的為製程設備機臺提供所需化學物品。
【專利說明】提供化學物品的控制系統
【技術領域】
[0001]本發明設計半導體製造領域，尤其涉及一種提供化學物品的控制系統。
【背景技術】
[0002]在半導體集成電路製造工藝中，通常需要用到大量的具有劇毒性和高腐蝕性的化學物品來滿足生產需要，例如氫氟酸、磷酸等。在正常的生產過程中，製程設備機臺向廠務的化學物品供應系統發出需求信號，廠務的化學物品供應系統接受到需求信號後會做出相應的反應並且發出反應信號，從而控制閥門打開，向製程設備機臺輸送所需的化學物品。
[0003]目前，半導體行業通常都是採用控制網線來傳遞需求信號，實現製程設備機臺和廠務的化學物品供應系統之間的通訊。請參考圖1，現有的提供化學物品的控制系統包括:製程設備機臺(POU) 10 ;與所述製程設備機臺10連接的閥門箱(VMB) 20 ;與所述閥門箱20連接的輸入輸出控制盤(I/O Panel)30 ;與所述輸入輸出控制盤30連接的中央數據採集盤(DCP Master) 40 ;以及與所述中央數據採集盤40連接的化學物品供應系統(CCSS Unit)50，所述化學物品供應系統50包括化學物品供應單元(圖未示)和信號輸入單元(圖未示)。此外，所述製程設備機臺10與閥門箱20之間設置有第一段管路61，所述閥門箱20與化學物品供應系統50之間設置有第二段管路62。
[0004]所述製程設備機臺10、閥門箱20、輸入輸出控制盤30、中央數據採集盤40以及化學物品供應系統50依次通過信號線進行信號連接。具體地說，所述製程設備機臺10提出需求信號並傳輸至所述閥門箱20 ;所述閥門箱20再將需求信號傳輸至所述輸入輸出控制盤30 ;所述輸入輸出控制盤30將需求信號傳輸至所述中央數據採集盤40 ;所述中央數據採集盤40將需求信號傳輸至所述化學物品供應系統50中的信號輸入單元；所述化學物品供應系統再根據所述需求信號做出相應的反應，控制所述化學物品供應單元通過第二段管路62向製程設備機臺10供應化學物品(例如是氫氟酸、磷酸等酸液);所述輸入輸出控制盤30會根據需求信號做出相應的反應，再將反應信號反饋至所述閥門箱20 ;所述閥門箱20根據所述反應信號來打開或者關閉所述閥門單元中的閥門，從而達到為所述製程設備機臺10提供或不提供所需化學物品的效果。這樣便能夠實現所述製程設備機臺10與所述化學物品供應系統50的化學物品的傳輸。
[0005]但是在實際生產過程中，輸入輸出控制盤30與中央數據採集盤40之間的信號線、中央數據採集盤40與化學物品供應系統50之間的信號線、或者中央數據採集盤40其中任何一處出現問題都將會導致信號傳輸的中斷，化學物品供應系統50無法接受到需求信號，從而致使製程設備機臺10無法獲得所需的化學物品。若製程設備機臺10無法獲得化學物品，必須停止生產。此時不但需要花費時間分別對各處信號線和中央數據採集盤40進行故障排查，而且還將導致製程設備機臺10中正在生產的晶圓損傷甚至報廢。因此，如何避免此類問題的發生，便成了本領域亟需解決的技術問題。

【發明內容】
[0006]本發明提出一種提供化學物品的控制系統，其目的在於解決現有技術中從輸入輸出控制盤到化學物品供應系統中的信號線和中央數據採集盤出現故障時不能繼續為製程設備機臺提供化學物品的問題。
[0007]為了實現上述目的，本發明提出一種提供化學物品的控制系統，包括:製程設備機臺(POU);與所述製程設備機臺連接的閥門箱(VMB);與所述閥門箱連接的輸入輸出控制盤(I/O Panel);以及化學物品供應系統(CCSS Unit);所述製程設備機臺與閥門箱之間設置有第一段管路，所述閥門箱與化學物品供應系統之間設置有第二段管路；其中，所述輸入輸出控制盤直接通過信號線與所述化學物品供應系統進行信號連接。
[0008]進一步的，所述閥門箱包括信號單元和閥門單元；所述信號單元與所述製程設備機臺與所述輸入輸出控制盤連接，所述閥門單元與所述製程設備機臺通過所述第一段管路連接，所述信號單元控制所述閥門單元中的閥門的開關。
[0009]進一步的，所述化學物品供應系統包括化學物品供應單元和信號輸入單元，所述化學物品供應單元與所述閥門箱通過所述第二段管路連接，所述信號輸入單元與所述輸入輸出控制盤通過信號線連接，所述信號輸入單元控制所述化學物品供應單元供應化學物
品O
[0010]進一步的，還包括一中央數據採集盤，與所述輸入輸出控制盤和所述信號輸入單元連接。
[0011]進一步的，所述輸入輸出控制盤包括數據輸出模塊和繼電器，所述數據輸出模塊與所述繼電器連接。
[0012]進一步的，所述繼電器與所述信號輸入單元的信號埠通過一根信號線連接，所述繼電器與所述信號輸入單元的公共埠通過另一根信號線連接。
[0013]進一步的，所述化學物品供應系統還包括一硬線故障報警單元，所述硬線故障報警單元用以檢測所述輸入輸出控制盤和中央數據採集盤是否傳輸信號至所述信號輸入單
J Li ο
[0014]進一步的，所述信號線為硬線(Hard cable)。
[0015]進一步的，所述硬線為24V的信號線。
[0016]與現有技術相比，本發明的主要有益效果在於:提出一種提供化學物品的控制系統，通過添加信號線直接連接輸入輸出控制盤與化學物品供應系統，製程設備機臺的需求信號能夠通過輸入輸出控制盤直接傳輸至化學物品供應系統，化學物品供應系統能夠根據需求信號做出相應的反應，同時輸入輸出控制盤也根據需求信號來控制閥門箱，並將相應的化學物品提供給製程設備機臺。從而避免了現有技術中出現從輸入輸出控制盤到化學物品供應系統中的信號線和中央數據採集盤出現的信號傳輸中斷問題，進而能夠根據製程設備機臺發出的需求信號正常的為製程設備機臺提供所需化學物品。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]圖1為現有技術中提供化學物品的控制系統的結構示意圖；
[0018]圖2為本發明實施例一中提供化學物品的控制系統的結構示意圖；
[0019]圖3為本發明實施例一中輸入輸出控制盤與化學物品供應系統連線的結構示意圖；[0020]圖4為本發明實施例二中提供化學物品的控制系統的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0021]為了便於理解，下面結合具體實施例對本發明進行詳細的描述。
[0022]實施例一
[0023]請參考圖2，一種提供化學物品的控制系統，包括:製程設備機臺(POU) 100 ;與所述製程設備機臺100連接的閥門箱(VMB) 200 ;與所述閥門箱200連接的輸入輸出控制盤(I/O Panel) 300 ;以及化學物品供應系統(CCSS Unit) 500 ;所述製程設備機臺100與閥門箱200之間設置有第一段管路610，所述閥門箱200與化學物品供應系統500之間設置有第二段管路620 ;其中，所述輸入輸出控制盤300直接通過信號線700與所述化學物品供應系統500進行信號連接。
[0024]其中，所述閥門箱200包括信號單元和閥門單元(圖未示);所述信號單元與所述製程設備機臺100與所述輸入輸出控制盤300連接，所述閥門單元與所述製程設備機臺100通過所述第一段管路610連接，所述信號單元控制所述閥門單元中的閥門的開關。
[0025]在本實施例中，所述化學物品供應系統500包括化學物品供應單元(圖未示)和信號輸入單元510，所述化學物品供應單元與所述閥門箱300通過所述第二段管路620連接，所述信號輸入單元510與輸入輸出控制盤300通過信號線700連接，所述信號輸入單元510控制所述化學物品供應單元供應化學物品。
[0026]在本實施例中，所述製程設備機臺100提出需求信號，並傳輸至所述閥門箱200 ；所述閥門箱200再將需求信號傳輸至所述輸入輸出控制盤300 ;所述輸入輸出控制盤300再將需求信號傳輸至所述化學物品供應系統500 ;化學物品供應系統500根據所述需求信號做出相應的反應，控制所述化學物品供應單元通過第二段管路620向閥門箱200供應化學物品；所述輸入輸出控制盤300會根據需求信號做出相應的反應，再將反應信號反饋至所述閥門箱200 ;所述閥門箱200根據所述反應信號來打開所述閥門單元的閥門，從而達到化學物品供應系統通過第二段管路620和第一段管路610為所述製程設備機臺100提供所需化學物品的效果。
[0027]請參考圖3，在本實施例中，所述輸入輸出控制盤300包括數據輸出模塊310和繼電器320，所述數據輸出模塊310與所述繼電器320連接。所述繼電器320與所述信號輸入單元510的信號埠通過一根信號線700連接，所述繼電器320與所述信號輸入單元510的公共埠(即接地端)通過另一根信號線700連接，從而實現信號的傳輸。
[0028]其中，所述信號線700可以為硬線(Hard cable)，其規格為24V。
[0029]綜上所述，本實施例通過添加信號線直接連接輸入輸出控制盤與化學物品供應系統，製程設備機臺的需求信號能夠通過輸入輸出控制盤直接傳輸至化學物品供應系統，化學物品供應系統再根據所述需求信號做出相應的反應，控制所述化學物品供應單元通過第二段管路向閥門箱供應化學物品，閥門箱依據來自輸入輸出控制盤的反應信號的指示，將相應的化學物品提供給製程設備機臺。從而避免了現有技術中出現的信號傳輸出現中斷的問題，進而能夠根據製程設備機臺發出的需求信號正常的為製程設備機臺提供所需化學物品。
[0030]實施例二[0031]參考圖4，本實施例的提供化學物品的控制系統與實施例一相比，還包括一中央數據採集盤400，所述中央數據採集盤400與輸入輸出控制盤300和信號輸入單元510連接。本實施例中，當製程設備機臺100發出的需求信號通過所述閥門箱200傳輸至所述輸入輸出控制盤300之後，分成兩路，一路傳輸至所述中央數據採集盤400，所述中央數據採集盤400再將需求信號傳輸至所述信號輸入單元510，另一路直接傳輸至所述信號輸入單元510。同理，所述信號輸入單元510依據接收到的需求信號做出相應的反應，控制所述化學物品供應單元通過第二段管路向所述閥門箱200供應化學物品，所述閥門箱200再依據來自輸入輸出控制盤的相應反應信號打開所述閥門單元內的閥門並給所述製程設備機臺100提供所需化學物品。
[0032]在本實施例中，所述化學物品供應系統500還包括一硬線故障報警單元(圖未示)，所述硬線故障報警單元用以檢測所述輸入輸出控制盤300和中央數據採集盤400是否傳輸信號至所述信號輸入單元510。所述硬線故障報警單元與所述信號輸入單元510相連，用於檢測所述信號線700是否正常工作或出現故障。當所述製程設備機臺100提出需求信號，經過所述閥門箱200和所述輸入輸出控制盤300之後，需求信號會有兩條支路傳輸至所述信號輸入單元510，一條支路是經由所述信號線700直接傳輸至所述信號輸入單元510，另一條支路是經由所述中央數據採集盤400傳輸至所述信號輸入單元510。若所述信號輸入單元510隻接收到經由所述中央數據採集盤400傳輸的信號，那麼就說明所述信號線700出現了故障。此時所述硬線故障報警單元則會發出報警信號。
[0033]在本實施例中，當輸入輸出控制盤300與中央數據採集盤400之間的信號線、中央數據採集盤400與化學物品供應系統500之間的信號線、或者中央數據採集盤400其中任何一處出現故障時，製程設備機臺100提出的需求信號可以通過所述信號線700傳輸至所述化學物品供應系統500，從而化學物品供應系統500依舊可以接收信號並為所述製程設備機臺100提供所需的化學物品。由此可見，本實施例不僅僅可以有效的避免現有技術存在的問題，還能檢測信號線700或數據收集器400是否處於正常狀態，起到雙重保護的作用。
[0034]本說明書中各個實施例採用遞進的方式描述，每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。
[0035]以上僅為本發明的優選實施例而已，並不對本發明起到任何限制作用。任何所屬【技術領域】的技術人員，在不脫離本發明的技術方案的範圍內，對本發明揭露的技術方案和技術內容做任何形式的等同替換或修改等變動，均屬未脫離本發明的技術方案的內容，仍屬於本發明的保護範圍之內。
【權利要求】
1.一種提供化學物品的控制系統，包括:製程設備機臺；與所述製程設備機臺連接的閥門箱；與所述閥門箱連接的輸入輸出控制盤；以及化學物品供應系統；所述製程設備機臺與閥門箱之間設置有第一段管路，所述閥門箱與化學物品供應系統之間設置有第二段管路；其特徵在於，所述輸入輸出控制盤直接通過信號線與所述化學物品供應系統進行信號連接。
2.如權利要求1所述的提供化學物品的控制系統，其特徵在於:所述閥門箱包括信號單元和閥門單元；所述信號單元與所述製程設備機臺與所述輸入輸出控制盤連接，所述閥門單元與所述製程設備機臺通過所述第一段管路連接，所述信號單元控制所述閥門單元中的閥門的開關。
3.如權利要求1所述的提供化學物品的控制系統，其特徵在於:所述化學物品供應系統包括化學物品供應單元和信號輸入單元，所述化學物品供應單元與所述閥門箱通過所述第二段管路連接，所述信號輸入單元與所述輸入輸出控制盤通過信號線連接，所述信號輸入單元控制所述化學物品供應單元供應化學物品。
4.如權利要求3所述的提供化學物品的控制系統，其特徵在於:還包括一中央數據採集盤，與所述輸入輸出控制盤和所述信號輸入單元連接。
5.如權利要求4所述的提供化學物品的控制系統，其特徵在於:所述輸入輸出控制盤包括數據輸出模塊和繼電器，所述數據輸出模塊與所述繼電器連接。
6.如權利要求5所述的提供化學物品的控制系統，其特徵在於:所述繼電器與所述信號輸入單元的信號埠通過一根信號線連接，所述繼電器與所述信號輸入單元的公共埠通過另一根信號線連接。
7.如權利要求4所述的提供化學物品的控制系統，其特徵在於:所述化學物品供應系統還包括一硬線故障報警單元，所述硬線故障報警單元用以檢測所述輸入輸出控制盤和中央數據採集盤是否傳輸信號至所述信號輸入單元。
8.如權利要求3中所述的提供化學物品的控制系統，其特徵在於:所述信號線為硬線。
9.如權利要求7所述的提供化學物品的控制系統，其特徵在於:所述硬線為24V的信號線。
【文檔編號】G05B19/04GK103792856SQ201210434971
【公開日】2014年5月14日 申請日期:2012年11月2日 優先權日:2012年11月2日
【發明者】張文武, 朱江寧, 刁春華, 周鵬 申請人:中芯國際集成電路製造(上海)有限公司