一種蒸汽輸送mo源連續供應系統的製作方法

2023-12-01 19:15:36

一種蒸汽輸送mo源連續供應系統的製作方法
【專利摘要】本發明提供一種蒸汽輸送MO源連續供應系統，設置MO源儲存罐往MO源鋼瓶充MO源氣，兩個裝置都有液位探頭，MO源儲存罐加熱，MO源鋼瓶恆溫，MO源儲罐溫度只要高於低溫鼓泡器溫度即可；當MO源鋼瓶液位高時，便直接從MO源鋼瓶內輸出MO源；當MO源鋼瓶處於低液位時，便採用MO源儲存罐向MO源鋼瓶輸送MO源，再從MO源鋼瓶輸出MO源，可連續使用；本系統通過在MO源儲存罐和MO源鋼瓶增加液位探頭，滿足了MO源監控計量問題；通過MO源鋼瓶可以有效控制MO源蒸汽濃度，因此MO源儲罐溫度只要高於低溫鼓泡器溫度即可，不需要精確控溫，整個過程只需要根據MO源鋼瓶液位控制切換使用模式，適用於MO源供應中。
【專利說明】一種蒸汽輸送MO源連續供應系統
【技術領域】
[0001]本發明涉及MO源的供應領域，尤其涉及一種蒸汽輸送MO源連續供應系統。
【背景技術】
[0002]MO源為高純金屬有機化合物，或叫化合物半導體微結構材料，是先進的金屬有機化學氣相沉積(簡稱M0CVD)、金屬有機分子束外延(簡稱Μ0ΜΒΕ)等技術生長半導體微結構材料的支撐材料，其優異的電學、光學和磁學等性能，可將半導體和集成電路推向更高的頻率、更快的速度、更低的噪音和更大的功率。半導體微結構材料技術的發展狀況是衡量一個國家電子信息技術發展水平的重要標誌。在我國MO源已被大量用於LED、太陽能電池、航空航天技術等多個領域，是一項高新材料生產技術。隨著MOCVD (金屬有機化學氣相沉積技術)外延技術發展，設備大型化已經成為必然趨勢，隨之而來的原材料供應問題越來越突出。MO源(金屬有機化合物)作為其中最重要的原材料，持續穩定的MO供應是提高MOCVD設備使用效率的重要手段。 [0003]現如今的MO源使用方法:MO源在使用時需要保持恆溫(±0.1 0C )，恆壓(± Itorr),穩定氣體流量(± Isccm), MO源存儲在鋼瓶(一般稱為鼓泡器)中，惰性氣體(一般用氫氣或者氮氣)通過深入鋼瓶內部的管道進入鼓泡器中，經過MO源時產生鼓泡效應，MO源在鼓泡過程中大量蒸發，形成MO源的飽和蒸汽與惰性氣體混合輸送出來，這樣的供應方式在鼓泡器中MO源消耗完後，需要將鼓泡器拆卸並更換I個新的鼓泡器。由於MO源具有可燃性和遇空氣自燃的特性，因此鼓泡器拆裝過程需要對管道系統進行充分置換，並且需要對管道接頭進行氦質譜檢漏。操作過程繁瑣，持續時間較長，且操作不當會有著火等風險；更換新的鼓泡器後，需要在恆溫水浴槽中進行充分的熱交換，需要較長時間才能夠使鼓泡器的溫度達到恆定，鼓泡器中MO源沒有計量和監控設備，無法準確判斷殘餘量。因此解決上述問題就顯得十分必要了。

【發明內容】

[0004]本發明提供一種蒸汽輸送MO源連續供應系統，通過設置MO源儲存罐往MO源鋼瓶充MO源氣，兩個裝置都設置有液位探頭，MO源儲存罐加熱，MO源鋼瓶恆溫，MO源儲罐溫度只要高於低溫鼓泡器溫度即可，不需要精確控溫；當MO源鋼瓶液位高時，便直接從MO源鋼瓶內輸出MO源；當MO源鋼瓶處於低液位時，便採用MO源儲存罐向MO源鋼瓶輸送MO源，再從MO源鋼瓶輸出MO源，可連續使用，解決了【背景技術】中出現的問題。
[0005]本發明的目的是提供一種蒸汽輸送MO源連續供應系統，包括兩個MO源儲存罐，一個正常使用、另一個備用，還有MO源鋼瓶，在兩個MO源儲存罐上左側設置帶有進氣閥門的進氣管、右側設置帶有出氣閥門的出氣管；在兩個MO源儲存罐內都設置有液位探頭探測液位、外部都設置有有加熱包對MO源儲存罐進行加熱；同時還在兩個MO源儲存罐的進氣管上還設置有總進氣管，出氣管上設置有總出氣管，在總出氣管上設置有至少3個分支氣管連接在底部外設置有恆溫水浴槽MO源鋼瓶上，MO源鋼瓶頂部也設置有液位探頭探測液位；MO源鋼瓶頂部右側設置有出源管。
[0006]進一步改進在於:在分支氣管上設置有流量控制器控制氣體流量，出源管上設置壓力控制器控制壓力。
[0007]進一步改進在於:在總進氣管上第一分支氣管的左側設置第二分支氣管進高純載氣，第二分支氣管連接在第一分支氣管上，流量控制器在，第二分支氣管的後面，在第一分支氣管和第二分支氣管上均設置有控制閥門控制閥門的開啟進氣。
[0008]進一步改進在於:在第一分支氣管上流量控制器下的右側設置有第三分支氣管，第三分支氣管連接在出源管上，這樣第一分支氣管和第二分支氣管來的氣體直接出去，第三分支氣管上設置有控制閥門。
[0009]進一步改進在於:在第一分支氣管上位於第三分支氣管下從上到下依次設置有控制閥門和支管進氣閥門，出源管上位於第三分支氣管下設置有兩個出源閥門。
[0010]進一步改進在於:在MO源鋼瓶上的液位探頭以及控制閥門均連接有PLC控制器控制它們的開啟關閉。
[0011]本發明的有益效果:本系統通過在MO源儲存罐和MO源鋼瓶增加液位探頭，滿足了MO源監控計量問題，客戶可以直觀的了解到MO源的使用現狀；通過設備自帶的MO源鋼瓶(低溫恆溫鼓泡器)可以有效控制MO源蒸汽濃度，因此MO源儲罐溫度只要高於低溫鼓泡器溫度即可，不需要精確控溫，整個過程只需要根據MO源鋼瓶(低溫恆溫鼓泡器)液位控制切換使用模式，結構簡單 ，整個生產過程一直保持持續供源，因此沒有MO源恆溫的問題，適用於MO源供應中。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1是本發明的示意圖。
[0013]其中:1_第一 MO源儲存罐，2-第二 MO源儲存罐，3-M0源鋼瓶，4-高純載氣進氣管，5-高純載氣出氣管，6-進氣閥門，7-出氣閥門，8-液位探頭，9-加熱包，10-總進氣管，
11-總出氣管，12-第一分支氣管，13-恆溫水浴槽，14-出源管，15-流量控制器，16-壓力控制器，17-第二分支氣管，18-控制閥門，19-第三分支氣管，20-支管進氣閥門，21-出源閥門，22-PLC控制器。
【具體實施方式】
[0014]為了加深對本發明的理解，下面將結合實施例對本發明作進一步詳述，該實施例僅用於解釋本發明，並不構成對本發明保護範圍的限定。
[0015]如圖1所示，本實施例提供一種蒸汽輸送MO源連續供應系統，包括有兩個儲存MO源的第一 MO源儲存罐I和第二 MO源儲存罐2，其中一個使用、另一個備用，還包括有MO源鋼瓶3，在兩個MO源儲存罐上左側設置帶有進氣閥門6的高純載氣進氣管4、右側設置帶有出氣閥門7的高純載氣出氣管5 ;在兩個MO源儲存罐內都設置有液位探頭8探測液位、外部都設置有有加熱包9對MO源儲存罐進行加熱；同時還在兩個MO源儲存罐的高純載氣進氣管4上還設置有總進氣管10，高純載氣出氣管5上設置有總出氣管11，在總出氣管11上設置有3個第一分支氣管12連接在底部外設置有恆溫水浴槽13的MO源鋼瓶3上，MO源從總出氣管11出來往MO源鋼瓶3內輸送MO源，MO源鋼瓶3頂部也設置有液位探頭8探測液位；M0源鋼瓶3頂部右側設置有出源管14，MO源從MO源鋼瓶3出來往MOCVD設備中輸送；在第一分支氣管12上設置有流量控制器15控制氣體流量，出源管14上設置壓力控制器16控制壓力。在總進氣管11上第一分支氣管12的左側設置第二分支氣管17直接進高純載氣，第二分支氣管17連接在第一分支氣管12上，流量控制器15在第二分支氣管17的後面，在第一分支氣管12和第二分支氣管17上均設置有控制閥門18控制氣體的進氣。在第一分支氣管12上流量控制器15下的右側設置有第三分支氣管19，第三分支氣管19連接在出源管14上，這樣第一分支氣管12和第二分支氣管17來的氣體直接出去，在第三分支氣管19上設置有控制閥門18。在第一分支氣管12上位於第三分支氣管19下從上到下依次設置有控制閥門18和支管進氣閥門20，出源管14上位於第三分支氣管19下設置有兩個出源閥門21。在MO源鋼瓶3上的液位探頭8以及控制閥門18均連接有PLC控制器22控制它們的開啟關閉。本系統當MO源鋼瓶3液位高時，便直接從MO源鋼瓶3內輸出MO源；當MO源鋼瓶3處於低液位時，便採用MO源儲存罐向MO源鋼瓶3輸送MO源，再從MO源鋼瓶3輸出MO源，可連續使用；本系統通過在MO源儲存罐和MO源鋼瓶3增加液位探頭，滿足了MO源監控計量問題，客戶可以直觀的了解到MO源的使用現狀；通過設備自帶的MO源鋼瓶3(低溫恆溫鼓泡器)可以有效控制MO源蒸汽濃度，因此MO源儲存罐溫度只要高於MO源鋼瓶
3 (低溫鼓泡器溫度)即可，不需要精確控溫，整個過程只需要根據MO源鋼瓶3 (低溫恆溫鼓泡器)液位控制切換使用模式，結構簡單，整個生產過程一直保持持續供源，因此沒有MO源恆溫的問題，適用於MO源供應中。
【權利要求】
1.一種蒸汽輸送MO源連續供應系統，包括有第一 MO源儲存罐(I )、第二 MO源儲存罐(2)和MO源鋼瓶(3)，其特徵在於:所述第一MO源儲存罐(I)和第二 MO源儲存罐(2)上左側垂直位置設置有高純載氣的進氣管(4)、右側設置有高純載氣出氣管(5);高純載氣進氣管(4)在進口處設置有進氣閥門(6 )，高純載氣出氣管(4)在出口處設置有出氣閥門(7 );第一 MO源儲存罐(I)和第二 MO源儲存罐(2)內頂部均設置有液位探頭(8)、外部包有加熱包(9);所述第一MO源儲存罐(I)和第二 MO源儲存罐(2)的高純載氣進氣管(4)上水平位置設置總進氣管(10)，高純載氣出氣管(5)上水平位置設置有總出氣管(11);總出氣管(11)上設置有至少3個第一分支氣管(12)，第一分支氣管(12)連接著MO源鋼瓶(3)，MO源鋼瓶(3)底部外設置有恆溫水浴槽(13)、頂部也設置有液位探頭(8)；MO源鋼瓶(3)頂部右側設置有出源管(14)。
2.如權利要求1所述一種蒸汽輸送MO源連續供應系統，其特徵在於:所述第一分支氣管(12)上設置有流量控制器(15)，出源管(14)上末段設置有壓力控制器(16)。
3.如權利要求1所述一種蒸汽輸送MO源連續供應系統，其特徵在於:所述總進氣管(10)上在第一分支氣管(12)的左側設置有第二分支氣管(17)，第二分支氣管(17)連接在位於流量控制器(15)前端的第一分支氣管(12)上，第一分支氣管(12)和第二分支氣管(17)上均設置有控制閥門(18)。
4.如權利要求2所述一種蒸汽輸送MO源連續供應系統，其特徵在於:所述第一分支氣管(12)上流量控制器(15)下的右側設置有第三分支氣管(19)，第三分支氣管(19)連接在出源管(14)上，第三分支氣管(19)上設置有控制閥門(18)。
5.如權利要求4所述一種蒸汽輸送MO源連續供應系統，其特徵在於:所述第一分支氣管(12)上位於第三分支氣管(19)下從上到下依次設置有控制閥門(18)和支管進氣閥門(20)，出源管(14)上位於第三分支氣管(19)下設置有兩個出源閥門(21)。
6.如權利要求3或4或5所述一種蒸汽輸送MO源連續供應系統，其特徵在於:所述MO源鋼瓶(3)上的液位探頭(8)以及控制閥門(18)均連接有PLC控制器(22)。
【文檔編號】C23C16/448GK103924214SQ201410168891
【公開日】2014年7月16日 申請日期:2014年4月25日 優先權日:2014年4月25日
【發明者】俞冬雷, 武利曙, 徐昕 申請人:安徽亞格盛電子新材料有限公司