膜厚檢測探頭結構的製作方法

2023-12-04 08:32:41 1

專利名稱：膜厚檢測探頭結構的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種製造業檢測結構，尤其涉及一種能夠檢測膜厚的探頭結構。
背景技術：
膜厚探頭檢測裝置是對基片膜厚的檢測類設備。通過外置機械手自動傳輸基片進行無接觸式檢測，並根據檢測結果分別的放進不同定義的片盒內的一種必要檢測過程。用戶可以將不同參數的基片進行後續的再加工、銷售和選用，能實時的為用戶提供準確數據並自動分類，便於用戶方便設置。但是，在國內，目前沒有單位生產、提供類似的產品，國外製造公司也主要集中在不多的幾家公司，且售價很高(平均約30萬美元)。而國內大部分企業都是通過人工進行相關的檢測，但人工方法極易造成檢測精度不高。

實用新型內容本實用新型的目的在於提供一種能夠檢測膜厚的探頭結構，以解決現有基片膜厚採用人工檢測導致檢測精度不高的問題。為了實現上述目的，本實用新型採取的技術方案為一種膜厚檢測探頭結構，包括一工作檯，其中，所述工作檯的正上方設有一垂直設置的超聲波探頭。本實用新型膜厚檢測探頭結構的一實施例中，其中，所述工作檯分為上層和下層， 所述上層面積小於所述下層面積。本實用新型膜厚檢測探頭結構的一實施例中，其中，還包括一平臺，所述工作檯水平置於所述平臺上。本實用新型膜厚檢測探頭結構的一實施例中，其中，還包括支架，所述超聲波探頭固定在所述支架上。本實用新型膜厚檢測探頭結構的一實施例中，其中，所述上層與所述下層均為厚度較薄的矩形臺。本實用新型膜厚檢測探頭結構的一實施例中，其中，所述支架與所述平臺的材料均為大理石。本實用新型由於採用了上述技術，使之具有的積極效果是膜厚檢測探頭結構，通過該結構的能夠裝置以自動對基片膜厚進行探測，減少人工檢測導致的精度不高的問題，能有有效地提高產品的良品率。

圖1是本實用新型的膜厚檢測探頭結構的示意圖。
具體實施方式

以下結合附圖給出本實用新型膜厚檢測探頭結構的具體實施方式
。[0015]圖1為本實用新型的膜厚檢測探頭結構的示意圖，請參見圖1所示。本實用新型的一種膜厚檢測探頭結構，該結構主要由一工作檯6和位於該工作檯6的正上方的一垂直設置的超聲波探頭1。其中，工作檯6分為兩層，上層4的面積小於下層5的面積，上層4與所述下層5的形狀均可為厚度較薄的矩形臺。該工作檯6水平置於一平臺3上，平臺3上固定有支架2，超聲波探頭1固定在支架2上。其中，上述支架2與平臺3的材料均可以為大理石。綜上所述，本實用新型膜厚檢測探頭結構，通過該結構的能夠裝置以自動對基片膜厚進行探測，減少人工檢測導致的精度不高的問題，能有有效地提高產品的良品率。以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，並不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本實用新型的保護範圍之內。
權利要求1.一種膜厚檢測探頭結構，包括一工作檯，其特徵在於，所述工作檯的正上方設有一垂直設置的超聲波探頭。
2.根據權利要求1所述的結構，其特徵在於，所述工作檯分為上層和下層，所述上層面積小於所述下層面積。
3.根據權利要求1所述的結構，其特徵在於，還包括一平臺，所述工作檯水平置於所述平臺上。
4.根據權利要求1所述的結構，其特徵在於，還包括支架，所述超聲波探頭固定在所述支架上。
5.根據權利要求2所述的結構，其特徵在於，所述上層與所述下層均為厚度較薄的矩形臺。
6.根據權利要求4所述的結構，其特徵在於，所述支架與所述平臺的材料均為大理石。
專利摘要本實用新型公開了一種膜厚檢測探頭結構，包括一工作檯，其中，所述工作檯的正上方設有一垂直設置的超聲波探頭。本實用新型膜厚檢測探頭結構，通過該裝置能夠自動對基片的缺陷和汙染進行探測，減少人工檢測導致的精度不高的問題，能有有效地提高產品的良品率。
文檔編號G01B17/02GK202229742SQ201120265430
公開日2012年5月23日 申請日期2011年7月26日 優先權日2011年7月26日
發明者丁天祥, 李正賢 申請人:上海卓晶半導體科技有限公司