具有熱排風機自動控制系統的pecvd設備的製作方法

2023-12-04 12:26:46 1

具有熱排風機自動控制系統的pecvd設備的製作方法
【專利摘要】具有熱排風機自動控制系統的PECVD設備，涉及太陽能矽電池片生產設備領域，尤其涉及製作減少矽片表面反射的SiN薄膜設備，包括爐管，爐管的一側設置舟託裝置，舟託裝置上設置石墨舟和推拉裝置，石墨舟與推拉裝置連接，舟託裝置的上方間隔設置熱排裝置，熱排裝置包括風機電控櫃，所述風機電控櫃內設置繼電器，所述舟託裝置上連接感應器，感應器的信號輸出端與繼電器連接。本發明利用感應器採集信號，在出舟時控制風機開啟，排放熱量。而當舟臂在PECVD爐管內則不需要排放熱量，自動關閉風機，節約能源。
【專利說明】具有熱排風機自動控制系統的PECVD設備
【技術領域】
[0001]本發明涉及太陽能矽電池片生產設備領域，尤其涉及製作減少矽片表面反射的SiN薄膜設備。
【背景技術】
[0002]PECVD即等離子體增強化學氣相沉積設備，製作減少矽片表面反射的SiN薄膜。現有的PECVD設備包括爐管，爐管的一側設置舟託裝置，舟託裝置上設置石墨舟和推拉裝置，石墨舟與推拉裝置連接，舟託裝置的上方間隔設置熱排裝置。這種結構的缺陷是:當石墨舟出舟時熱排裝置工作，當石墨舟入爐管時熱排裝置一直在工作，排風無控制，處於常開狀態，耗電量大。

【發明內容】

[0003]本發明的目的是為了克服現有技術的不足，提供一種減少耗電量的具有熱排風機自動控制系統的PECVD設備。
[0004]本發明的目的是這樣實現的:具有熱排風機自動控制系統的PECVD設備，包括爐管，爐管的一側設置舟託裝置，舟託裝置上設置石墨舟和推拉裝置，石墨舟與推拉裝置連接，舟託裝置的上方間隔設置熱排裝置，熱排裝置包括風機電控櫃，所述風機電控櫃內設置繼電器，所述舟託裝置上連接感應器，感應器的信號輸出端與繼電器連接。
[0005]本發明通過在裝有石墨舟的舟託裝置上安裝感應器，感應器輸出直流電壓信號，控制繼電器通斷，繼電器控制風機電源。當石墨舟舟進入爐管時，風機電源斷開。當舟退出爐管時，風機電源接通，風機工作。
本發明利用感應器採集信號，在出舟時控制風機開啟，排放熱量。而當舟臂在PECVD爐管內則不需要排放熱量，自動關閉風機，節約能源。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0006]圖1為本發明的一種結構示意圖。
【具體實施方式】
[0007]如圖1所示，為具有熱排風機自動控制系統的PECVD設備，包括爐管1，爐管I的一側設置舟託裝置3，舟託裝置3上設置石墨舟4和推拉裝置5，石墨舟4與推拉裝置5連接，舟託裝置3的上方間隔設置熱排裝置8，熱排裝置8包括風機電控櫃6，風機電控櫃6內設置繼電器7，舟託裝置3上連接感應器2，感應器2的信號輸出端與繼電器7連接。
【權利要求】
1.具有熱排風機自動控制系統的PECVD設備，包括爐管，爐管的一側設置舟託裝置，舟託裝置上設置石墨舟和推拉裝置，石墨舟與推拉裝置連接，舟託裝置的上方間隔設置熱排裝置，熱排裝置包括風機電控櫃，其特徵在於:所述風機電控櫃內設置繼電器，所述舟託裝置上連接感應器，感 應器的信號輸出端與繼電器連接。
【文檔編號】C23C16/52GK103526188SQ201210233581
【公開日】2014年1月22日 申請日期:2012年7月8日 優先權日:2012年7月8日
【發明者】朱守權 申請人:揚州鑫晶光伏科技有限公司