包含高工作量的物理吸附劑的流體貯藏和分送系統的製作方法

2023-12-03 14:22:26 1

專利名稱：：包含高工作量的物理吸附劑的流體貯藏和分送系統的製作方法
技術領域：
：，上述提到的流體貯藏和分送系統經常需要鑑別和使用改進的吸附劑材料，因此本發明的一個目的是提供一種利用高效吸附劑材料的流體貯藏和分送系統，該系統在價格、操作方便、性能特徵方面有許多的優點。從隨後公開的實施例和後附的權利要求中可以看出，本發明的的其它目的和優點將是更加明顯。本發明考慮一種系統，該系統用於貯藏和分送可被吸附的流體，例如氣體、蒸汽、液體、多相流體等，包括流體混合物以及單一組分的流體。本發明的流體貯藏和分送系統包括一個貯藏和分送容器，該容器作成用於容納對可被吸附流體有吸附親合力的固相物理吸附劑介質，並且選擇性地使吸附流體流入或流出該容器。對流體有吸附親合力的固相物理吸附劑在內部氣壓條件下放置在貯藏和分送容器中，流體物理吸附在上述固相物理吸附劑介質上。分送裝置與貯藏和分送容器氣體流動相通連接。分送裝置可製作成用於在貯藏和分送容器的外部提供低於其內部壓力的壓力，以便流體從固相物理吸附劑介質上解吸，並使被解吸的流體流過分送裝置。另一種可供選擇的方案是，貯藏和分送系統可以包括用於選擇性地加熱吸附劑材料的裝置，該裝置和與貯藏和分送容器氣體流動相通連接的分送裝置一起使得流體從固相物理吸附劑介質上解吸，貯藏和分送容器製作成在流體受熱解吸時可使解析的流體流過分送裝置。還有另外一種方式是，本發明的貯藏和分送系統作成可用來使流體從固相物理吸附劑介質上加熱解析和壓力差解吸結合起來。分送裝置包括合適的導管、輸送管、管道、流動通道、閥門、儀表、監測裝置、流體調節器、泵、增壓器、吸氣器、或適合於本發明的流體貯藏和分送裝置的具體最終用途場合的類似部件。本發明的貯藏和分送容器可以作成任何合適的形狀和大小，例如容器的內部體積可以大約為0.01升到20升。具體地說，本發明涉及以上所述類型的流體貯藏和分送系統，它用碳吸附劑材料作為固相物理吸附劑介質。在本發明的貯藏和分送系統中，多種碳吸附劑可用作高效吸附劑介質。本發明一方面涉及一種緊湊的、便攜的可在較小空間使用的流體貯藏和分送系統，該系統含有在內部壓力低於1200乇時，物理吸附在性能優良的吸附劑介質上的流體。此處所用的術語「緊湊的、便攜的、可在較小空間使用的流體源貯藏和分送系統」是指以上概述的一個系統，在該系統中貯藏和分送容器的內部體積可從大約0.01升至20升。通過提供真正小型的低壓流體源，本發明在本領域取得一個較大的進展，即，它完全能取代在多種需要氣體的應用場合普遍使用的高壓流體瓶，這些應用場合涉及焊接氣體、麻醉氣體、氧氣或富氧的呼吸氣體、生產半導體氣體、用於抑制燃燒或化學反應的諸如氮氣的惰性保護氣體等。尤其是在諸如半導體生產的工業應用場合，其中，用於離子注入或半導體攙雜的反應氣體的量是十分的小並且非常昂貴，而且其中半導體生產的設備是十分緊湊，設備佔地面積也要考慮，因此，採用低壓氣體源是對當前使用的有缺點的高壓氣瓶的一種改進。本發明的低壓貯藏和分送系統的裝有吸附劑的容器的內部壓力低於大約1200乇。該壓力低於800乇更好，低於700乇最好。通過給貯藏和分送容器中的吸附流體提供一個負壓，就可以排除吸附流體向外部環境洩漏和大量擴散的危險；與此相對照，在現有技術實踐中，流體高壓容器帶來持續的巨大危險以及相應的安全和運輸問題。在另一具體方面，本發明涉及一種以上概述的流體貯藏和分送系統，它包括一種具有高工作量的吸附劑介質。適用於本發明貯藏和分送情況的吸附劑工作特性包括吸附劑吸附容量(單位重量的吸附劑介質上貯藏的吸附流體量)和吸附劑的工作量Cw，它被定義為在特定壓力和溫度條件下，單位體積的吸附劑介質在流體分送作業中從吸附劑介質上釋放出來的最初吸附在吸附劑介質上的吸附物重量，即Cw＝[吸附物重量-解吸後仍保留的吸附物重量]/吸附劑體積其中，吸附物重量和解吸後仍保留的吸附物重量是以克為單位計量，而吸附劑介質體積是以升為單位計量。在這種定義中使用的吸附劑介質體積是指吸附劑介質床的體積。吸附劑介質通常以球團、粒子、擠壓物、顆粒或其它分割形式提供，因此，在工作量定義中的體積要考慮吸附劑材料的填實密度和孔隙(間隙空間)體積。在本發明的廣泛實踐中普遍採用的測定吸附劑材料的功效的是吸附劑材料的吸附物解吸率，它定義為在25βC，在760乇時吸附在吸附劑介質上的吸附氣體僅通過連續地壓力解吸到10乇時被解吸的百分率，即，吸附物解吸率＝[吸附物重量-解吸後仍保留的吸附物重量]/吸附物重量×100％理想的吸附物解吸率大約至少為15％，至少為25％更好，當然至少為50％更好，至少為60％最好。此外，在本發明的實踐中採用的吸附劑材料最好有如下特性在開始就以合適的高速率快速地吸附吸附物，並且在貯藏和分送系統處於流體分送作業狀態時隨著(1)貯藏和分送容器的內部空間和壓力較低的外部空間之間的壓力差別，和/或(2)加熱吸附劑，而相應地以較快方式釋放先前被吸附的流體。在本發明的流體貯藏和分送系統中優先選用的有用吸附劑材料包括孔體積(累積的孔隙體積)在每克吸附劑材料有大約0.1至大約5.0立方釐米孔體積範圍內的材料，最好是每克吸附劑材料的孔體積大約在0.5至2.0立方釐米範圍內。較理想的是吸附劑材料的孔體積的大部分，即50％以上是由直徑在大約2埃到大約100埃範圍內的孔組成，80％以上更好，最好是吸附劑其大體全部孔體積都在這個範圍內。優先選用的材料包括平均孔直徑在大約2到大約20埃範圍內的吸附劑，並且孔體積的大部分落在這個範圍。80％以上更好，最好是孔體積基本上全部都在這個範圍內。在本發明的廣泛實踐中有用的高性能吸附劑包括那些用砷化氫氣體在40乇和650乇測定的吸附劑工作量，Cw，至少為50，更好至少為100，再更好至少為150，最好至少為200的吸附劑；Cw的單位為克砷化氫/升吸附劑材料，按下述測定Cw＝在25℃650乇條件下，每升吸附劑上的砷化氫氣體重量(單位以克計)-在25℃40乇條件下，每升吸附劑上的砷化氫氣體重量(單位以克計)。其中，砷化氫是為表示Cw特性的參考流體，吸附劑的升算法，如上所述，是床形態的升體積，包括吸附劑介質床的空隙或間隙空間。應注意的是，把壓力值降到1乇時，提高工作量是可能的。在本發明的流體貯藏和分送系統中有用的吸附劑材料可以具有任何合適的大小、形狀、結構包括珠狀、粒狀、丸狀、片狀、粉狀、顆粒狀、壓出物、編織或絲網形式材料、蜂窩狀的脈石塊、和複合材料(吸附劑與其它組分)以及吸附劑材料上述結構的粉碎或碾碎形式。吸附劑材料可由任何合適的材料構成，包括聚合物(例如多孔的聚四氟乙烯，大網狀的聚合物，玻璃質的聚合物等)，磷矽酸鋁(ALPOS)，粘土，沸石，多孔矽，蜂窩狀的脈石材料，碳材料等。最優先選用的吸附劑材料包括沸石吸附劑材料和碳吸附劑，在優先選用的碳吸附劑材料中，有高度均勻的球面形狀，顆粒尺寸在直徑大約為0.1毫米至1釐米之間，更理想的直徑從約0.25毫米至2毫米的珠狀活性碳材料是最優選選用的。在另一方面，再次用砷化氫作為參考氣體來測定特性，在本發明的流體貯藏和分送系統中有用的吸附劑材料包括在25℃時每升吸附劑吸附的砷化氫克數隨以乇為單位的壓力而變化的砷化氫氣體吸附等溫線有如下吸附容量特性的材料壓力(乇)最小吸附容量(克砷化氧/升吸附劑)25305062100105200145300168400177500185550188650～192。儘管在本發明的貯藏和分送系統中採用的吸附劑材料對貯藏在其上並且隨後從吸附劑上分送的吸附流體儘可能有較高的吸附特性一般是比較理想的，但是就貯藏和分送系統的製造而言，十分高的吸附劑吸附容量從吸附熱的觀點來看在某些情況下是不利的。吸附流體吸附在吸附劑上是典型的放熱過程。對於象砷化氫和磷化氫這樣的氣體，取決於氣體在吸附劑上的填充速率的放熱可以引起溫度升高大約100βC或更高。因此，採用有高的吸附容量，但該吸附容量在吸附劑介質初始充填將貯藏在吸附劑上用於隨後分送的流體的過程中不會引起較大的吸附熱作用的範圍內的吸附劑介質是合乎需要的。因此，在本發明的實踐中有用的吸附劑材料包括在25℃對砷化氫氣體的吸附等溫線位於圖1中曲線G0和G1確定的吸附等溫線範圍內的材料，吸附等溫線是以每升吸附劑上吸附的砷化氫克數隨以乇為單位的壓力變化而測定的。這些吸附劑材料有如下吸附劑吸附容量特性壓力(乇)吸附容量(克砷化氫/升吸附劑)2530-1065062-138100105-185200145-232300168-263400177-288500185-308550188-315650192-330。本發明的流體貯藏和分送系統中使用的吸附劑可以是以由以上描述的不同特性的吸附劑結合或取代的吸附劑。在本發明的流體貯藏和分送系統中合適的碳吸附劑材料，例如在25℃，可以有如下吸附容量特性壓力(乇)吸附容量(克砷化氫/升吸附劑)2535-605075-100100100-115200160-175300200-220400225-245500240-260550250-275650260-300。在本發明的廣泛實踐中最優先選用的有用吸附劑材料包括在25℃時，對砷化氫氣體有圖1中曲線A特徵的吸附等溫線的材料，吸附等溫線是根據每升吸附劑吸附的砷化氫克數隨以乇為單位的壓力變化而測定得到的。(由於吸附等溫線將隨著溫度範圍的變化而在X和Y軸方向變動，但它一般的形狀大體是相同的，因此，所謂的吸附等溫線特性就是指圖1的吸附等溫線的大體形狀。)在本發明的氣體貯藏和分送裝置中採用的碳吸附劑可以是以由以上描述的不同特性的吸附劑混合或取代的吸附劑。在一方面，本發明考慮一種緊湊的，便攜的、在小空間使用的流體貯藏和分送吸附—解吸裝置，用於貯藏和分送流體，它包括一個貯藏和分送容器，作成用於容納固相物理吸附劑介質，以及用於選擇性地使流體流進或流出容器；一種在低於1200乇的內部流體壓力下放置在貯藏和分送容器中的吸附劑材料；一種物理吸附在吸附劑材料上的吸附流體；一個與貯藏和分送容器氣體流動相通連接的分送裝置，它製作成在通過加熱和/或壓力差從吸附劑材料上解吸流體後，根據需要選擇性地分送被解吸的流體；分送裝置被製作成用於(I)在上述貯藏和分送容器的外部，提供一低於上述內部壓力的壓力以使流體從吸附劑材料上解吸，並使來自容器的被解吸流體流過分送裝置，以及/或(II)使熱解吸的流體通過這裡流出，並且包括用於加熱吸附劑材料以使流體從其上解吸的裝置，以便於被解吸的流體從容器中流進分送裝置。在另一方面，本發明考慮一種用於貯藏和分送氣體的吸附—解吸裝置，它包括一個貯藏和分送容器，作成用於容納固相物理吸附劑介質，以及用於選擇地使氣體流進或流出容器；一種在內部氣體壓力下放置在上述貯藏和分送容器中的吸附劑材料；一種物理吸附在上述吸附劑材料上的吸附流體；一個與貯藏和分送容器氣體流動相通連接的分送裝置，它製作成在通過加熱和/或壓力差從吸附劑材料上解吸流體後，根據需要選擇性地分送被解吸的流體；分送裝置被製作成用於(I)在上述貯藏和分送容器的外部，提供一低於上述內部壓力的壓力，以使流體從吸附劑材料上解吸，並使來自容器的被解吸流體流過分送裝置；以及/或；(II)使熱解吸的流體通過這裡流出，並且包括用於加熱吸附劑材料以使流體從其上解吸的裝置，以便於被解吸的流體從容器中流進分送裝置。理想的吸附劑材料不含有濃度足夠分解上述貯藏和分送容器中的吸附流體的痕量組分，諸如選自於由水，金屬以及氧化的過渡金屬物質(例如氧化物，亞硫酸鹽和/或硝酸鹽)組成的群組。在本發明的貯藏和分送系統中，選自於由水和氧化的過渡金屬物質組成的群組的痕量組分在吸附劑材料上的濃度最好是在25℃和上述內部壓力下，經過1年時間，不足以分解吸附流體重量的5％以上，不足以分解1％以上更好。對吸附劑的這種限制可以保證，避免大量在有水、金屬、氧化的過渡金屬物質(例如氧化物，亞硫酸鹽和/或硝酸鹽)存在的情況下易分解的吸附流體，諸如氫化物氣體，例如砷化氫、磷化氫等，暴露在這些物質之中，從而可以避免吸附氣體的大量分解以及壓力升高問題。最好，選自於由水、金屬以及氧化的過渡金屬物質組成的群組的痕量組分基於吸附劑材料重量的濃度，在25℃經過1周時間後，在貯藏和分送容器中不足以引起吸附流體分解而導致內部壓力上升25％以上，不引起內部壓力上升10％以上更好。在本發明的實踐中有效使用的碳吸附劑材料包括碳材料，其包含的選自於由水和氧化的過渡金屬物質組成的群組的痕量組分的重量與吸附劑介質的重量相比按要求要小於百萬分之350，小於百萬分之100較好，小於百萬分之10更好，小於百萬分之1最好。在本發明的實踐中優先選用的碳吸附劑也要規定灰粉含量。優先選用的碳灰粉含量小於大約7％，小於大約5％更好，小於大約0.1％最好，不同的碳吸附劑灰粉含量可以高達15％，灰粉含量隨著具體的碳吸附劑材料來源不同而有較大變化。灰粉是無機材料，包括諸如二氧化矽的組分，在涉及諸如氟化氫和三氟化硼的吸附流體的應用場合，二氧化矽是有害的，這些吸附流體將不可逆地化學吸附在這類化合物上。這類化學吸附是十分不利的，因為這將導致損失被化學吸附的化合物。因此，低灰粉含量的碳吸附劑在實踐中尤其被優先選用。以上討論的使用高灰粉含量的碳吸附劑帶來的問題在有氟化物的情況下是尤其的嚴重。由高灰粉含量碳吸附劑引起的氟化物吸收將導致貯藏和分送容器內部壓力隨著吸附物和高灰粉吸附劑中的雜質之間的反應產生不揮發的產品而下降。選自於由水、金屬以及氧化的過渡金屬物質組成的群組的痕量組分基於吸附劑材料重量的濃度，較好的情況是在25℃經過1周時間後，在貯藏和分送容器中不足以引起吸附流體分解而導致內部壓力上升25％以上，不引起內部壓力上升10％以上更好。在本發明的實踐中有效使用的吸附劑材料包括碳材料，其包含的選自於由水和氧化的過渡金屬物質組成的群組的痕量組分的重量與吸附劑介質的重量相比按要求要小於百萬分之350，小於百萬分之100較好，小於百萬分之10更好，小於百萬分之1最好。儘管本發明的流體貯藏和分送系統此後主要就通過壓力差從容器中分送流體加以描述，但應認識到，本發明的貯藏和分送系統可以僅僅通過吸附流體壓力差解吸也可通過熱解吸先前吸附在吸附劑材料上的流體而引起分送。此外，從吸附劑介質上解吸吸附在其上的吸附流體可以採用壓力差和中間加熱共同來完成實現從吸附劑介質上釋放吸附物。根據吸附劑材料，具體的吸附流體以及解吸的流體特定的最終用途場合的性質，熟練技術人員不需過多的試驗，就可選擇和確定具體的解吸方式(壓力差和/或加熱)和合適的工藝條件。當本發明的流體貯藏和分送系統製作成用於從容器中吸附劑材料上熱解吸流體時，加熱裝置相對於貯藏和分送容器而言必須在工作中布置成用於選擇性地加熱吸附劑材料，以便實現吸附氣體從吸附劑材料上的熱解吸。加熱裝置可以包括電阻加熱絲部件，延伸的熱傳導平面部件、輻射加熱部件、或放置在貯藏和分送容器的吸附劑床中的其它熱工作部件、或其它的製作成向吸附劑材料傳導或就地產生熱量的部件，以使得吸附劑溫度升高從而使得吸附流體解吸。在本發明的實踐中採用的吸附劑材料可以進行適當加工或處理以保證它不含有諸如以上討論的痕量組分或雜質，就吸附流體而言，這些組分或雜質將有害地影響氣體貯藏和分送系統的性能。例如，可對吸附劑進行清洗，即用氫氟酸使它充分地除去諸如金屬或氧化的過渡金屬物質的痕量組分。也可對吸附劑材料進行不同的處理以提高吸附劑的吸附能力和/或其它性能特性。例如，可用化學物品對吸附劑進行處理或反應以加強吸附劑表面功能，這將有助於或提高(1)在吸附劑最初吸附隨後將分送的流體時，特定的流體在吸附劑介質上的吸附，和/或(2)在吸附劑處於從貯藏和分送容器中分送流體的工藝條件時，流體的解吸。此外，通過處理可以改善解吸物純度。例如，表面氧化物的還原處理可用於減少解吸物中CO，CO2的含量以及碳氫化合物雜質。再有，在脫氣過程中，可以採用不同的溫度範圍。儘管可採用更高的溫度處理，但通常碳材料脫氣溫度最高到500℃。在本發明的廣泛實踐中，可用於改進吸附劑材料的另外辦法是將提高吸附性的材料施加在吸附劑的表面包括吸附劑的內部孔表面上。例如，提高吸附性的液體、固體或半固體材料，諸如聚乙二醇，可施加在吸附劑上，以促進流體在吸附劑表面的固體吸附格點上的物理吸附，以及在已經作用在吸附劑表面上的提高吸附性的材料上的吸附或增溶。另外，本發明的貯藏和分送系統可以在貯藏和分送容器中包括吸附劑材料以及對雜質，例如容器中的吸附氣體的分解產物有親和力的化學吸附劑材料。這類化學吸附劑例如可由對非惰性的大氣氣體有化學吸附親和力的固體吸附劑成分組成。可能合適的化學吸附劑材料包括清除劑，該清除劑選自於(A)清除劑，它包括一個與其相連但不是共價鍵連結的載體；一種在有這種雜質的情況下提供一種陰離子以除去這種雜質的化合物，上述化合物選自於(i)陰碳離子源化合物，對應的質子化的陰碳離子化合物pKa值從大約22至大約36；和(ii)由上述陰碳離子源化合物與吸附氣體反應形成的陰離子源化合物；以及(B)清除劑，它包括(i)一種表面積在大約50至大約100米2/克範圍內，並且加熱至少到大約250℃時仍保持熱穩定性的惰性載體；和(ii)一種活性的清除物質，它以每升載體上大約有0.01至大約1摩爾的濃度存在於載體上，並且是由選自於鈉、鉀、銣和銫的IA族金屬和它們的混合物、合金、以及它們在上述載體上的高溫分解而沉積在載體上形成的。作為更進一步的舉例，化學吸附劑材料可以包括選自於三苯甲基鋰和砷化鉀的清除劑組分。關於使用這種化學吸附劑材料以除去將被分送的吸附流體中的雜質，有許多清除劑或化學吸附劑材料可以使用，包括1988年8月2日授予GlennM.Tom，等的美國專利No.4,761,395以及1994年6月29日以GlennM.Tom和JamesV.McManus名義提出的08/084,414號美國專利申請中公開或要求的那些類型的清除劑合成物，專利中的公開內容在這裡通過參考而引入本發明。被使用的化學吸附劑材料可以與吸附劑材料床流體流動相通連接作成一個單獨的床，或者將化學吸附劑隨機地或選擇性地分散在貯藏和分送容器中的吸附劑材料床中。本發明也考慮提供流體試劑的方法，這種方法包括提供一個貯藏和分送容器，它包含有對上述流體試劑有物理吸附親和力的吸附劑材料；使流體試劑物理吸附在吸附劑材料上，以形成吸附有吸附流體的吸附劑材料；通過減壓(壓力差)解吸和/或加熱吸附劑材料，使吸附流體從吸附有吸附流體的吸附劑材料上解吸；以及將被解吸的流體從貯藏和分送容器中分送出去。在進一步優先選用方面，吸附劑材料可以有任何特定結構類型(例如珠狀、粒狀、丸狀、粉末狀、擠壓物等)並且可擁有以上描述的不同的吸附劑特性的任何一種。被有效的貯藏並隨後從本發明的貯藏和分送系統中分送的流體包括任何合適的流體，例如，氣體、蒸汽、液體、多相流體和流體混合物，這些流體對吸附劑材料有吸附親和力。例子包括酸和氫化物氣體、滷化物氣體、汽相金屬有機化合物、氧化性氣體等等。在本發明的實踐中可被貯藏和分送的有用的吸附氣體物質具體例子包括矽烷、鍺烷、砷化氫、磷化氫、碳醯氯、乙硼烷、鍺烷、氨、銻化氫、硫化氫、硒化氫、碲化氫、一氧化二氮、氰化氫、環氧乙烷、氘化的氫化物(thedeuteratedhydrides)、滷素(氯、溴、氟和碘)化合物，包括諸如F2、SiF4，Cl2，ClF3，GeF4，SiF4，滷化硼等化合物，以及諸如金屬鋁、鋇、鍶、鎵、銦、鎢、銻、銀、金、鈀、釓等的金屬有機化合物。在另一具體方面，本發明涉及上述通用型的貯藏和分送系統，它用三氟化硼作吸附流體，其中從貯藏和分送系統中分送的三氟化硼與氫化作用試劑接觸以使三氟化硼轉變成乙硼烷。氫化作用試劑可以包括任何能引起這種轉變的有用的合適氫化作用試劑，例如，氫化鎂。在另一方面，本發明涉及一種吸附—解吸裝置，用於貯藏和分送吸附在碳吸附劑材料上的流體，這種裝置包括一個貯藏和分送容器，作成用於容納碳吸附劑材料，並用於使流體選擇性地流進或流出容器；在內部流體壓力下放置在貯藏和分送容器中的碳吸附劑材料；物理吸附在碳吸附劑材料上的吸附流體；一個與貯藏和分送容器流體流動相通連接的分送裝置，它作成在貯藏和分送容器的外部提供一低於上述內部壓力的壓力，以使吸附氣體從碳吸附劑材料上解吸並使解吸氣體的氣流通過分送裝置；以及一個與分送裝置相連接的低溫抽吸泵，用於對被解吸的氣體加壓並把被加壓的氣體排出。更進一步的方法方面，本發明涉及一種用於貯藏和分送吸附在碳吸附劑材料上的流體的方法，它包括提供一個容納碳吸附劑材料的貯藏和分送容器；把這種流體吸附在碳吸附劑材料上；在貯藏和分送容器的外部形成一低於內部壓力的壓力，以使吸附流體從碳吸附劑材料上解吸，並使被解吸的流體從貯藏和分送容器中流出。本發明的貯藏和分送系統可用在許多最終用途場合，包括離子注入、矽導體生產、化合物半導體生產、製造平面顯示儀、用於有機合成的氣體供應、滅菌氣體，例如，ethyleneoxide，的分送、燻蒸消毒和害蟲控制、麻醉氣體運輸、水和涉及氣—液接觸的其它流體的處理、焊接、園藝和莊稼防護藥劑的分送、燃氣供應，宇宙空間應用場合、大量化學物品和氣體的運送、用作呼吸氣體的氧氣供應場合以及O2試劑的應用場合等。通過結合附圖，詳細描述本發明的優選實施例，本發明的特徵和其它情況將更加明顯，附圖中圖1顯示了砷化氫的吸附等溫線圖，圖中顯示了對碳吸附劑(曲線A)和5A沸石(曲線B)每升吸附劑吸附的砷化氫克數隨著以乇為單位的壓力的變化，圖中的等溫範圍G0和G1，它在某一方面限定了本發明實踐中的等溫範圍；圖2顯示了在本發明的廣泛實踐中一些例證性的有用活性碳吸附劑以立方釐米/克為單位的累積孔體積隨著孔尺寸的變化；圖3是根據本發明的一個實施例的貯藏和分送系統的示意圖；圖4是以乇為單位的氣瓶壓力隨著以小時為單位的時間的變化曲線圖，圖中顯示了根據圖3中的實施例，在砷化氫的填充作業結束後，在貯藏和分送系統中的碳吸附劑上的砷化氫氣體的壓力衰減；圖5顯示了根據本發明的砷化氫貯藏和分送系統的以乇/小時為單位的壓力衰減速率隨著以小時為單位的時間變化曲線圖，該系統填充後的壓力特徵如圖4所示；圖6是砷化氫的吸附等溫線，圖示了在珠狀碳吸附劑材料上，以克/升為單位的砷化氫吸附容量隨著以乇為單位的貯藏和分送容器的壓力的變化；圖7是根據本發明的另外一個實施例的貯藏和分送系統的立體圖；圖8是根據本發明的一個實施例的生產系統，它包括用於氣體分送的貯藏和分送裝置，分送的氣體供離子注入使用；圖9是圖8的貯藏和分送容器的橫截面圖，顯示了這種容器的內部結構；圖10是根據本發明的另一實施例的低溫抽吸貯藏和分送系統的立體圖；圖11是根據本發明的用於提高貯藏和分送系統性能的分送測定裝置的示意圖例；圖12是包含用5A分子篩作吸附劑材料(曲線M，數據點符號Δ)的貯藏和分送系統和包含用珠狀活性碳作吸附劑材料(曲線N，數據點符號□)的貯藏和分送系統的性能圖，圖中顯示了在每分鐘1標準立方釐米砷化氫的流速的作業下以乇為單位的貯藏和分送容器中的壓力隨著時間的變化。1995年10月13日提交的美國為其一個指定國並於1996年4月25日公布的國際專利申請No.PCT/US95/13040；1994年10月13日提交的08/322,224號美國專利申請，並於1996年5月21日授予5,518,528號美國專利；1996年5月20日提交的08/650,634號美國專利申請以及1996年5月20日提交的08/650,633號美國專利申請全部作為本發明的參考文獻。本發明提供了一種新的低壓貯藏和分送系統作為一個流體源供應裝置，用於象氫化物和滷化物氣體以及V族金屬有機化合物的離子注入。前述的實例包括砷化氫、磷化氫、鍺烷、氯氣、NF3、BF3、BCl3、乙硼烷(B2H6和它的重氫類似物，B2D6)，HCl，HBr，HF，HI，六氟化鋁，以及(CH3)3Sb。本發明也提供一種新的低壓貯藏和分送系統，該系統是一個緊湊的、便攜的，能在較小空間使用的流體供應裝置。在這裡使用的「低壓」這個詞，意指不大大地超過1大氣壓，例如壓力≤1.25大氣壓，更好地是壓力≤1.0大氣壓，最好的是壓力處於從大約0.15到大約0.8大氣壓的範圍內。應該認識到，在本發明的廣泛實踐中，本發明的貯藏和分送系統可以在比上述低壓範圍更高的壓力下運轉，然而這種貯藏和分送系統在流體處於負壓下使用的場合，例如在離子注入應用場合，有特定的用途。在這種最終應用中，本發明的系統使流體以較低的壓力貯藏和分送。通過這種低壓作業，本發明系統在許多應用場合就可以不需要已在這種場合使用的現有技術的高壓流體容器。尤其是在涉及危險氣體的地方，相對於本發明的低壓系統，使用高壓容器將引起洩漏危險增大以及對人和/或財產的危害，而在該低壓系統中，流體介質在接近外界壓力狀態下被貯藏並以一種簡便和可控制的方式被分送。本發明的流體源系統包括一個密封容器，諸如氣瓶，它包含將被分送的、吸附在由物理吸附劑材料組成的吸附劑材料上的流體。在有氣體吸附物的情況下，諸如砷化氫和磷化氫，吸附劑使吸附氣體的蒸汽壓減少到≤1大氣壓。儘管以後主要就砷化氫和磷化氫氣體的貯藏和分送對本發明加以討論，但應認識到本發明的使用不局限於此，而是可延伸並包括許多其它氣體以及液體，液—汽混合物等。實例包括矽烷，乙硼烷，砷化氫，磷化氫、碳醯氯、氯氣，BCl3、BF3、B2D6，六氟化鎢、氟化氫、氯化氫、碘化氫、溴化氫、鍺烷、氨、銻化氫、硫化氫、氰化氫、硒化氫、碲化氫、氘化的氫化物(deuteratedhydrides)、滷素(氯、溴、碘和氟)氣體化合物諸如NF3、ClF3、GeF4、SiF4，有機化合物以及V族金屬有機化合物諸如(CH3)3Sb。本發明的用於在小於等於0表壓(pisg)時貯藏和分送流體的新穎裝置和方法將大大減少了由那些流體造成的危險。這項有創造性的技術包括將那些流體吸附到碳質物理吸附劑中。通過把流體吸附到碳質固體物理吸附劑中，流體蒸汽壓減少到≤0表壓(pisg)。隨著壓力驅動力的消除，從系統中釋放的潛能將大大地減少。在本發明的廣泛實踐中採用的吸附劑可以是對本發明的實踐中貯藏在吸附劑上並從吸附劑上分送的流體有吸附親和力的任何合適類型。吸附劑例如可包括多孔矽材料，磷酸鋁、粘土、沸石、聚合物(包括多孔聚四氟乙烯、大網狀聚合物以及玻璃質聚合物)，磷矽酸鋁(aluminumphosphosilicate)，碳材料等。在本發明的實踐中優先選用的吸附劑材料包括沸石和碳吸附劑。碳吸附劑材料優先選用的形式包括由諸如聚丙烯腈、SulfonatedPolystryrene-divinylbenzene等合成碳氫化合物樹脂的高溫分解而形成的碳，纖維素碳；木炭；由諸如CoConut殼、瀝青、木材、石油，煤等自然資源材料形成的活性碳等。儘管已經在本質上了解了碳吸附劑材料，並且已用於諸如處理許多工業生產中的溢出氣流，例如在半導體生產中，通過把VOC從溢出氣流中吸附到非常大的碳床上以除去VOC，然而還沒有一個基於碳吸附材料的貯藏和分送系統最初就用於供應流體試劑和生產氣體。因此，通過採用有多種大小、形狀、表面積、組成並且可大批獲得的碳吸附劑材料，以提供一種可排除供應生產氣體和流體試劑的現在技術實踐中來自加壓氣瓶的危險、缺陷和缺點的有效的流體供應系統，本發明代表了在現有技術中的一個相當大的進展。現有技術廣泛採用氣瓶用於提供焊接氣體、麻醉氣體、氧氣、化學生產試劑氣體等，並使用有很厚的壁的氣瓶容器來承載涉及的高壓，因為氣瓶的供應量(可分送的流體量)是隨氣瓶內的壓力大小而變化，隨著壓力增大，氣瓶分送量也對應增加。通過採用吸附劑介質，即碳質的吸附劑，本發明避免了操作中的困難(包括高壓氣瓶破裂的危險；由於氣體就地分解的超壓危險；監測和控制高壓氣體的困難；在有危險氣體的情況下，所需的與所涉及的危險相對應的具體安全和處理措施)。本發明的吸附劑介質可使流體易於貯藏並且很容易地實現壓力差和/或熱解吸分送。此處使用的與本發明的物理吸附劑材料有關的「碳質的」這個詞意味著吸附劑材料由單體碳作為吸附劑物質的主要成份。碳吸附劑材料優先選用形式包括諸如聚丙烯腈，Solfonatedpolystryrene-divinylbenzene等的合成碳氫化合物樹脂的高溫分解形成的碳；纖維素碳；木炭；由諸如CoConut殼、瀝青、木材、石油、煤等自然資源材料形成的活性炭。一種優先採用的碳吸附劑材料是活性碳，它是通過加熱粒狀木炭到合適的高溫製得的一種較好的碳吸附劑形式。最優先選用的是所謂的珠狀活性碳形式，其中珠粒，即直徑十分均勻的球面顆粒，其直徑可在從大約0.1到大約1釐米之間的範圍內，直徑從大約0.25到大約2毫米更好。在本發明的廣泛實踐中優先選用的可大量獲得的碳吸附劑材料包括可從在紐約的美國Kureha公司獲得的稱為BAC-MP，BAC-LP以及BAC-G-70R的珠狀碳材料；可從費城RohmHass公司大批獲得的Ambersorb碳質吸附劑，PA牌號為Ambersorb563，Ambersorb564，Ambersorb348F，Ambersorb575，Ambersorb572以及Ambersorb1500；可從Calgon碳公司大批獲得的CalgonFiltrasorb400以及BPLGAC碳吸附劑材料；以及可從德國BlucherGmbH，Erkrath公司大批獲得的珠狀活性碳吸附劑材料。在以上提到的碳吸附劑材料中，Ambersorb材料上大於50埃的孔有較大的孔體積，一般說來，與那些孔尺寸不超過40埃的材料相比，很少選用這類孔較大的材料。在本發明的貯藏和分送系統中使用的吸附劑可以有適合最終應用場合和涉及的具體吸附流體物質的任何合適的大小、形狀和結構。吸附劑材料，例如，可以是珠狀、粒狀、丸狀、片狀、粉末狀、散粒狀、壓出物、編織或網狀形式的材料、蜂窩狀脈石塊、複合物(吸附劑與其它組分的)等形式或上述結構的粉碎或碾碎形式。總結起來說，本發明的貯藏和分送系統由一個標準氣瓶和一個與氣瓶連接的氣瓶閥或其它流體分送裝置(調節器、監測器、傳感器、流體引導裝置、壓力控制器、質量流控制器、導管、閥門、儀表、自動開關裝置等)組成，氣瓶中容納著碳吸附劑材料。在把吸附劑裝入貯藏和分送容器後，隨後，即壓力低於1大氣壓下，用吸附流體充填氣瓶以形成成品貯藏和分送系統。在使用中，通過利用貯藏和分送系統的內部容積的壓力和載有吸附劑的容器的外部低壓之間的壓力差別，可以很容易地通過壓力差解吸，從本發明的貯藏和分送系統中產生流體流。例如，載有吸附劑的容器可以在負壓如600乇下容納反應氣體，諸如磷化氫，用於離子注入工藝，其中用於移植磷組份的離子注入室處於真空狀態或低壓下，如壓力低於100乇，並且該壓力低於貯藏和分送容器的內部容積的壓力。結果，磷化氫氣體將從吸附劑上解吸並流入到離子注入室中，這樣，在離子注入室和載有吸附物磷化氫氣體的貯藏和分送容器之間就建起了氣流流動相通。貯藏和分送系統就產生了穿過連接導管、閥門以及儀表的磷化氫氣體流，並且很容易將其控制在一個所需的流速下。通過採用類似質量流控制器的裝置，就可獲得穩定的氣流，此時吸附劑容器壓力隨著連續分送作業而降低。此外或另一種方法是，本發明的貯藏和分送系統的流體分送裝置可以包括用於加熱吸附劑材料的裝置，以便從吸附劑上熱解吸吸附流體。這種加熱裝置包括任何合適的熱傳導或熱交換裝置或設備，這種裝置有效地與吸附劑材料相毗連以產生熱量用於從吸附劑介質上熱解吸吸附物。因此，本發明考慮從流體貯藏在其上的吸附劑上熱和/或壓力差分送吸附流體。參看附圖，圖1是砷化氫吸附等溫線圖，顯示了對於作為例證的碳吸附劑(曲線A，數據點符號為D)和沸石5A分子篩(曲線B，數據點符號為口)以克砷化氫/升吸附劑為單位的砷化氫吸附容量隨著以乇為單位的壓力的變化，碳吸附劑材料是BAC-G-70R碳材料，其有著如下表1所列的物理性質。表1珠狀碳吸附劑材料關於上述的珠狀碳材料的水分含量的註解，可以通過對銷售者最初提供的碳材料加熱和抽真空，使水分含量減少到0.01％的水平或低於這個水平。碳吸附劑的這種預處理就其它不需要的已吸附在所得到的碳材料中的雜質而言也是有益的。圖2是表1中的珠狀碳吸附劑材料(曲線C)和本發明的廣泛實踐中使用的可大批獲得的其它例證性的活性碳吸附劑(曲線D、E和F)的累積孔體積(單位cm3/克)隨著孔尺寸(單位埃)的變化曲線圖。如圖所示，曲線C的珠狀碳材料在孔尺寸從10到10000埃的範圍內，累積孔體積為大約0.3到0.7。曲線D、E、F的其它碳吸附劑材料有一個更寬的累積孔體積範圍。一般地，使用具有一基本部分，最好是至少50％的孔尺寸在大約10至1000埃範圍內的吸附劑材料是比較理想的。更理想的是，吸附劑材料的孔體積的大部分，即50％以上是由直徑從大約2埃到100埃的孔組成的，更好地是80％，最好地是吸附劑材料的孔體積的大體全部都處在這個範圍。優先選用的吸附劑材料包括平均孔直徑在大約10至20埃範圍內並且孔體積的大部分孔處於這個範圍內的吸附劑，更好地是80％以上，最好是孔體積的大體全部孔都處在這個範圍。理想的吸附劑包括孔體積(累積空隙體積)在大約0.2到2.0cm3孔體積/克吸附劑材料的範圍內的材料。本發明的低壓貯藏和分送系統中的裝有吸附劑的容器內的壓力低於大約1200乇。該壓力低於800乇更好，低於700乇最好。通過給貯藏和分送容中的吸附流體提供一個負壓，就可排除吸附流體向外界環境洩漏和大量擴散的危險，在現有技術實踐中與此相對應的是，流體高壓容器將帶來一個持續的巨大危險以及相應的安全和處理問題。在另一具體方面，本發明涉及一種以上概括描述的流體貯藏和分送系統，它有一個高的吸附劑吸附容量，高的吸附物解吸率和高的吸附劑工作量。理想的是吸附物解吸率至少為大約15％，至少為25％較好，至少為50％更好，至少為60％最好。理想的吸附劑材料應有這種特性在一開始就以較高的速率快速地吸附吸附流體，並在貯藏和分送系統處於流體分送作業狀態時，在(I)當貯藏和分送容器的內部容積和處於較低壓力的外部場所之間有一個壓力差，和/或(2)加熱吸附劑的情況下，以一種較快的方式相應地釋放先前吸附著的流體。在本發明的流體貯藏和分送系統中優先選用的有用的吸附劑材料包括孔體積(累積空隙體積)在大約0.1至5.0立方釐米孔體積/克吸附劑材料的範圍內的材料，在大約0.5至2.0立方釐米孔體積/克吸附劑材料的範圍內更好。最優先選用的材料包括平均孔直徑在大約2至20埃範圍內並且孔體積的大部分處於這個範圍內的吸附劑，更好地是孔體積的80％以上處於這個範圍，最好是孔體積的幾乎全部都處在這個範圍內。在本發明的廣泛實踐中有用的高性能碳吸附劑包括用砷化氫氣體(作為參考流體)在40乇和650乇下測定的以克砷化氫/升吸附劑材料為單位的吸附劑工作量，Cw，至少為50，較好地至少為100，更好地至少為150，以及最好地至少為200的吸附劑。理想的吸附物解吸率為大約至少15％，較好地至少為25％，更好地至少為50％，最好地至少為60％。有著十分均勻的球面形狀並且顆粒尺寸在直徑大約0.1毫米至1釐米範圍內，更好地是在直徑為大約0.25至2毫米範圍內的珠狀活性碳材料在本發明的實踐中有很多優點。應該認識到，為了調整吸附劑顆粒的堆放和吸附劑材料床的裝填密度，吸附劑顆粒尺寸、形狀、以及孔體積分布在本發明的實踐中可以作任意地較大改變。在本發明的流體貯藏和分送系統中有用的吸附劑材料一般可有任何合適的尺寸、形狀、以及結構，包括珠狀、粒狀、丸狀、片狀、粉末狀、散粒狀，壓出物，編織或網狀形式材料、蜂窩狀脈石塊，和複合物(吸附劑與其它組份)以及吸附劑材料的上述結構的粉碎或碾碎形式。吸附劑材料可包括任何合適的材料，包括聚合物(例如多孔聚四氟乙烯、大網狀聚合物、以及玻璃質聚合物等)、亞磷酸鋁、粘土、沸石、多孔矽、蜂窩狀脈石材料、碳材料等。最優先選用的吸附劑材料包括沸石吸附劑材料以及碳吸附劑。在優先選用的碳吸附劑材料中，有著十分均勻的球面形狀並且顆粒尺寸在直徑為大約0.1毫米至1釐米範圍內，更好地是直徑在大約0.25至2毫米範圍內的珠狀活性碳材料是最優先選用的。再次用砷化氫作特性參考氣體，在本發明的流體貯藏和分送系統中尤其有用的吸附劑材料包括在25℃時有如下吸附容量特性的砷化氫氣體吸附等溫線的材料，該等溫線是通過每升吸附劑吸附的砷化氫克數隨以乇為單位的壓力而變化測得的壓力(乇)最少吸附容量(克砷化氫/升吸附劑)25305062100105200145300168400177500185550188650192。儘管在本發明的貯藏和分送系統中採用的吸附劑材料一般要求它對貯藏在吸附劑上並隨後從吸附劑上分送的吸附流體有儘可能高的吸附容量特性，但是就貯藏和分送系統的製造而言，從吸附熱觀點來看，十分高的吸附劑吸附容量在某些情況下是不利的。吸附流體在吸附劑上的吸附是典型的放熱過程，對於諸如砷化氫和磷化氫的氣體，取決於氣體在吸附劑上的填充速率的放熱可引起溫度升高大約100βC或更高。因此，採用有高吸附容量但該吸附容量在將被貯藏在吸附劑上用於隨後分送的流體初始充填吸附劑介質過程中不會帶來大量的吸附熱作用的範圍內的吸附劑介質是必要的。因此，在本發明的實踐中有用的吸附劑材料包括對於砷化氫氣體在25℃時測定的每升吸附劑上吸附的砷化氫克數隨著以乇為單位的壓力變化的吸附等溫線處於圖1中由曲線G1和G0限定的吸附等溫線範圍內的材料。這些吸附劑材料有如下吸附劑容量特性。壓力(乇)吸附容量(克砷化氫/升吸附劑)2530-1065062-138100105-185200145-232300168-263400177-288500185-308550188-315650192-330。在本發明的流體貯藏和分送系統中優先採用的碳吸附劑材料包括在25℃時，測定的每升吸附劑上吸附的砷化氫克數隨著以乇為單位的壓力變化的砷化氫氣體吸附等溫線具有如下吸附容量特性的碳材料壓力(乇)最少吸附容量(克砷化氫/升吸附劑)25355075100100200160300200400225500240550250650～300。合適的碳吸附劑材料例如在25℃時可以有如下吸附容量特性壓力(乇)吸附容量(克砷化氫/升吸附劑)2530-605075-100100100-115200160-175300200-220400225-245500240-260550250-275650260-300。在本發明的廣泛實踐中最優先選用的有用的碳吸附劑材料包括在25℃對於砷化氫氣體測定的每升吸附劑上被吸附的砷化氫克數隨著以乇為單位的壓力變化的吸附等溫線具有圖1中曲線A的吸附等溫特性的材料。應該認識到，吸附劑的孔尺寸、孔體積、和表面積特性在本發明的廣泛實踐中可以很大地變化，在不需要用表面積和孔隙度測定的過多實驗，例如用汞孔隙測定技術，以及對將貯藏在具體的被選擇的吸附劑材料上並從其上分送的具體流體的親合力研究的情況下，熟練技術人員對於本發明的貯藏和分送系統給定的最終用途場合可以很容易地確定合適的吸附劑特性。再參看圖1，對於吸附劑材料和具體吸附氣體的等溫線一般在預測給定壓力下可解吸的吸附物量時是有用的。這是由於物理吸附的流體物質的吸附/解吸過程具有可逆性。例如，對於曲線A的珠狀碳吸附劑材料，如果砷化氫流體吸附在其上的吸附劑從650乇的壓力解吸到100乇的壓力，那麼從等溫線可預測每升吸附劑材料有140克(275克-135克＝140克)砷化氫將被解吸。對應地，沸石5A分子篩在相同的壓力差下解吸，只有87.5克(215克-127.5克＝87.5克)吸附流體解吸。因此，通過從650乇到100乇的具體壓力範圍的壓力差解吸，在本發明的貯藏和分送系統中從碳吸附劑上解吸的吸附物量要比現有技術的貯藏和分送系統的沸石5A材料上解吸的吸附物量要高60％。因而，圖1中的曲線A的碳吸附劑材料的性能，作為本發明的廣泛實踐中的碳吸附劑介質的性能的代表，它顯示了在從吸附劑材料上解吸用於分送的吸附流體的能力方面有令人吃驚的和意想不到的改進。圖3是根據本發明的一個實施例的貯藏和分送系統的示意圖。在圖3所示的貯藏和分送系統中，提供了一個氣體貯藏瓶10，它可用於填充合適的物理吸附劑材料床17，例如以上較全面描述的珠狀活性碳物理吸附劑介質。氣瓶10容納著吸附劑材料床17，而吸附劑材料有吸附在其表面(包括吸附劑介質的孔和外部的表面)上的物理吸附的氣體組份，諸如砷化氫和磷化氫。氣瓶10與總管12連接，在總管上安置有一個用於從氣瓶10中可控制地釋放氣體的氣瓶閥14，再向上是氣瓶隔離閥16，它可以有選擇地動作以切斷氣瓶10與總管12的連接。總管上有一個三通接頭18，通過該接頭，總管12與有一惰性氣體清洗隔離閥22在其上的分支清洗管20氣體流動相通連接，因此在從氣瓶10中分送氣體之前，可用惰性氣體對總管進行清洗。在接頭18的下遊，總管有兩個連接的氣體過濾器28和30，在它們之間有一個壓力轉換器32，例如它有從大約0到25(psia)的壓力工作範圍。在氣體過濾器30的下遊，總管12與三通接頭34相連接，該接頭又與有一旁路隔離閥38在其上的支路導管36相連接。總管12的接頭34的下遊有一氣流開關閥40，其下遊又裝有一個質量流控制器42，用於可控制地調節通過總管12的分送氣體的流速。在流速控制器42的末端，總管12通過連接頭44與有流體控制閥48在其上的分送管46相連接，並且還通過連接頭50與支路管36氣體流動相通連接。如圖所示，分送管46又與離子源產生裝置如圖中所示部件52相連接。分送管46的另一端54根據圖3的貯藏和分送系統裝置的特定最終用途場合的需要與另一氣體分送裝置合適地氣體流動相通連接。在圖3的實施例中的貯藏和分送容器的選用特徵在於熱交換通道11，它穿過吸附劑材料床17垂直向上延伸。熱交換通道分別在下端和上端與熱交換流體輸入管13和熱交換流體排出管15相連。在需要從氣瓶10中分送氣體時，熱交換流體輸入管13依次與合適的熱交換流體(未顯示)源相連接，熱交換流體可與用作選擇性地加熱吸附劑材料床17的爐子、電阻加熱器或其它加熱裝置相連接。因此，合適的熱交換流體通過穿過輸入管13，熱交換通道11、和流體排出管15以形成通過熱交換迴路的循環(例如通過泵和貯存裝置，未顯示)從而實現熱解吸。通過這些加熱裝置加熱床17的吸附劑介質使其升高到足夠高的溫度以便發生熱輔助解吸。根據圖3所示的結構，吸附流體的熱輔助解吸和分送可以替代吸附流體的壓力差分送或者和吸附流體的壓力差分送一起作用，本領域的熟練技術人員在不需過多的試驗情況下就可以很容易地選擇和/或確定選用的具體的解吸方式。在本發明的貯藏和分送系統的製造中，如果必要的話，應對貯藏和分送容器進行清洗以保證容器中沒有雜質，包括容器壁上的除氣物質，這些雜質會對貯藏和隨後發生的容器分送作業產生不利影響。為了以上目的，必須採取烘烤、溶劑除油或其它的使容器和它的內表面被清洗、清除或處理的措施，以便給隨後充填的吸附劑材料提供一個相當乾淨的容器。將吸附劑材料充填到貯藏和分送容器的內部容積中，並對容器進行最終的裝配和密封。在吸附劑裝入容器以前，吸附劑材料可以被清洗或加工，以便吸附劑介質的吸附容量達到最大。此外或另一種方法，例如通過烘烤裝有吸附劑的容器到足夠高的溫度和足夠長的時間以解吸和清洗含有外來吸附物的吸附劑材料，吸附劑介質可以在容器內進行清洗或處理以保證最大吸附容量。例如，在一個合適的高溫，如200-400℃，採用合適的真空泵或其它抽真空裝置，對容器進行一段較長時間抽真空(排氣)，如48小時。抽真空後，經過一段適合的時間，如6-12小時，容器被冷卻到室溫。在抽真空/排氣作業後，抽真空後的吸附劑容器與吸附流體充填管相連。應該認識到的是，由於吸附熱作用，流體物質的吸附將引起大量放熱，因此使容器和吸附劑材料維持在合適的溫度是十分必要的，以便吸附流體在被吸附劑材料初始吸附後不會被這種熱作用解吸。為了維持一個近似的等溫狀態，例如可將氣瓶浸在一種熱平衡液體中，如處於25℃穩定溫度下的含水乙二醇混合物中。在吸附流體分送之前，吸附流體填充管可以被抽真空到一個低壓，例如小於10-3乇，以除去可能出現在填充管液體通道中的不可凝氣體。在抽真空後，裝有碳吸附劑材料的容器可以被以合適的速率填充吸附流體直到達到所需的壓力水平。為了提高效率，在充填作業過程中採用合適的壓力監測器或其它(例如轉換器)傳感裝置監測容器的壓力是必要的。在充填作業中，為了工藝控制的目的，容器和熱平衡箱的溫度以及吸附流體溫度可以單獨地監測。監測壓力是為了確定填充作業的終點。吸附流體分階段地填充容器並使系統達到平衡是十分必要的，以便溫度效應最小地散失到外界環境或熱傳遞介質中，諸如上述的熱平衡液體。此外，使容器填充到一個特定的壓力，然後使容器冷卻到吸附劑床和相關的容器的最終溫度和壓力狀態下是合適的。因此，為了在容器中填充用於吸附在吸附劑材料上的吸附流體，吸附流體可以分階段填充或連續地填充。填充作業之後，在容器脫離充填導管後，容器可以被運送、貯存或在分送作業位置通過與導管、接頭和分送線路的連接以供其隨後的分送用途。圖4是以乇為單位的氣瓶壓力隨著以小時為單位的時間的變化曲線圖，圖中顯示了砷化氫填充作業結束後，在本發明的貯藏和分送系統中的碳吸附劑上的砷化氫氣體的壓力衰減。如圖所示，在裝有吸附劑的容器中的壓力經過10個小時從最初的壓力水平750乇(時間為零時)衰減到688乇。圖4中的曲線顯示了在填充作業結束時容器中存在一個非平衡狀態。在這時，吸附作用的熱量產生了一個相當高的壓力(與冷卻後最終平衡壓力水平相比)。隨後的壓力衰減是由於在填充作業結束後吸附劑床和容器的冷卻的原因。因此，在吸附效應的熱已經散失後，緊隨著充填作業對貯藏和分送容器中的壓力水平進行測定是合適的。圖5是對於本發明的砷化氫貯藏和分送系統中以乇/小時為單位的壓力衰減速率隨著以小時為單位的時間的變化圖，其填充後的壓力特性如圖4所示。圖5顯示的衰減速率曲線是根據圖4中的曲線推導而來的。圖5中的速率曲線顯示了在經過2小時後衰減速率接近於零時，貯藏和分送容器中的壓力波動趨於一個穩定水平。另外，圖4和圖5的曲線顯示了在吸附氣體填充後貯藏和分送容器的壓力是在減小而不是增加，從中可以推斷出砷化氫吸附物在容器中沒有分解。這是十分重要的，因為吸附劑材料可能含有雜質或痕量組分，它們能作為引起或促使吸附氣體如砷化氫的分解的媒介。為了保證砷化氫或其它吸附氣體物質不出現不適當的分解，在本發明的實踐中碳吸附劑介質必須不含有選自水、金屬以及氧化的過渡金屬物質(例如，氧化物、亞硫酸鹽和/或硝酸鹽)的痕量組分。這些痕量組分在濃度較高時可以分解上述貯藏和分送容器中的吸附流體。在本發明的貯藏和分送系統中，選自水和氧化的過渡金屬物質的痕量組分在碳吸附劑材料上的濃度(以碳吸附劑材料的重量計)，在25℃和上述內部壓力下經過1年時間，必須不足以分解吸附流體的重量的5％以上，最好是不足以分解1％以上。以上標準可以確保在有水、金屬、氧化的過渡金屬物質(例如氧化物、亞硫酸鹽和/或硝酸鹽)存在的情況下較易分解的諸如氫化物氣體，如砷化氫、磷化氫等的吸附流體不至於大量暴露在那些組分中，因此就可避免吸附氣體的大量分解以及相應的壓力增加問題。選自水、金屬、氧化的過渡金屬物質的痕量組分以碳吸附劑材料重量計的濃度，在25℃經過1周時間，不足以引起吸附流體分解而導致貯藏和分送容器的內部壓力升高25％以上，最好是不足以導致內部壓力升高10％以上。在本發明的實踐中選用的碳吸附劑材料包括選自水和氧化的過渡金屬物質的痕量組分的重量以碳吸附劑介質的重量計必須小於百萬分之350，較好地是小於百萬分之100，更好地是小於百萬分之10，最好是小於百萬分之1的材料。圖6是砷化氫吸附等溫線圖，圖中顯示了在珠狀碳吸附劑材料上的以克/升為單位的砷化氫吸附容量隨著以乇為單位的貯藏和分送容器的壓力的變化。從這個與圖1中砷化氫吸附等溫線(曲線A)有大致相同形狀的吸附等溫線中，根據Cw＝(在25℃650乇下，每升吸附劑上的砷化氫氣體克數)-(在25℃40乇下，每升吸附劑材料上的砷化氫氣體克數)可以測定在40乇和650乇時對於砷化氫氣體，吸附劑的工作量Cw為(278-70)＝208克砷化氫/升吸附劑。如以上所討論的，在本發明的實踐中優先選用的碳吸附劑介質包括具有與圖1中曲線A的吸附等溫線特性相同形狀的砷化氫(作為測定用的氣體吸附物參考物)吸附等溫線的吸附劑，這個形狀也是圖6所示的吸附等溫線形狀。圖7是根據本發明的另一實施例的貯藏和分送系統200的立體圖。如圖所示，貯藏和分送系統200包括一個貯藏和分送容器204，該容器上端與閥端206相連，閥端206由包括用於調節氣瓶上的閥端的手動調節器208的分送裝置部件組成。閥端通過接頭210與分送導管212連接。分送導管212上有一個壓力轉換器214；一個採用惰性氣體清洗分送裝置的惰性氣體清洗裝置216；一個用於維持分送導管212在分送作業中具有穩定流速的質量流控制器220；以及在分送氣體從分送裝置排出前用於除去分送氣體中的顆粒的過濾器222。分送裝置還包括一個接頭224，用於將分送裝置與下遊的管道、閥門或者解吸流體使用場合有關的其它部件進行配合連接。圖8是根據本發明的一個實施例的流程系統300，它包括一個用於氣體分送的貯藏和分送裝置，分送的氣體供離子注入使用。如圖所示，該裝置包括一個貯藏和分送容器302，在容器302的上部有一個閥端304，閥端與一個手動閥調節輪306連接。閥端與VCR過濾器密封墊308相連，VCR過濾器密封墊又與氣流管312相連。氣流管312與壓力轉換器310，以及止回閥314和氮氣清洗管連接。氮氣清洗管用於引入氮氣或其它清洗氣體對分送裝置的氣流通道進行清洗以便隨後從容器302中分送氣體。氣流管312上還裝有一個氣流控制閥307、一個測量表320、一個氣流控制器322以及氣流控制閥309。氣流管312與支路管325連接形成一個氣流迴路，支路管325上有一旁路閥324。如圖所示，氣流管312的右端連接到氣流多用途管326上。導管326上裝有一個閥311，並且在其與氣流多用途管相連接的相對一端有一個接頭330，該接頭用於將貯藏和分送系統與離子注入室相連。在作業過程中，通過調節氣流控制器322，來自貯藏和分送容器302中的吸附劑床(未顯示)的氣體以可被控制的速度在氣流管312和氣流多用途管326中流動併到達離子注入室。壓力轉換器310可以與氣流控制器322以及氣流流程中的其它部件，如閥門，形成連接關係，以便以合適的方式完成用於離子注入的氣體的分送。圖9是圖8中的貯藏和分送容器302的剖視圖，顯示了這種容器的內部結構。如圖所示，容器302由圍成容器內部容積352並且包含著粒狀吸附劑材料350的壁346組成。在容器的上端，與閥蓋304相連接的出口處，出口可以作成多孔的中心管360，或其它有孔的或其它形狀的可透氣的結構以用於防止分送的氣體中夾雜來自吸附劑材料床的固體顆粒。圖10是根據本發明的另外一個實施例的低溫抽吸貯藏和分送系統裝置的立體圖。儘管以上參照低壓分送應用場合，例如離子注入，對本發明的流體貯藏和分送系統進行了描述，其中解吸的吸附氣體的應用場合處於真空或非常低的壓力水平下，但應認識到本發明的應用不局限於此，本發明也可應用到這些場合，即貯藏和分送容器必須在高於大氣壓力的情況下才能把吸附氣體供應到下遊的應用場合。對於那些需要從貯藏和分送系統中載有吸附劑的容器中提供氣體供在高於排出壓力條件下使用的應用場合，可以採用不同的壓力增加迴路、增壓裝置或其它裝置或方法。例如，在氣瓶蓋上(包含有吸附著將被分送的氣體的吸附劑的氣瓶的)安裝一個文杜裡泵以增加被供應的氣體的壓力到一個選定的壓力水平。儘管這種文杜裡泵裝置可使被分送的氣體處於一個選定的較高壓力水平，但是這種裝置會引起帶有運載氣體的分送氣體的稀釋，因為運載氣體和來自氣瓶的分送氣體夾雜在一起。這種運載氣體的稀釋效應在某些應用場合可能是令人滿意的，但是在有些應用中，例如在需要從貯藏和分送系統中供應高純度的純淨氣體的情況下，這種稀釋效應可能對整個生產系統帶來巨大的制約。可採用機械泵代替文杜裡泵裝置，但是機械泵也帶來了有許多運動部件的缺點，它可能導致與在泵中形成顆粒和/或在氣流中夾雜著潤滑劑相關的問題。因此，在某些應用場合，其附帶結果是可以接受的，但在另一些應用中，被供應的氣體必須保持高純度並且沒有顆粒或其它外來物質。在由貯藏和分送系統供應的氣體必須保證處於較高壓力和高純度，潔淨狀態的情況下，在貯藏和分送系統中提供一個低溫抽吸裝置是有益的。圖10是根據本發明的另一個實施例的這種低溫抽吸貯藏和分送系統裝置400的立體圖。在這個低溫抽吸系統中，主氣瓶402裝有合適的碳吸附劑材料(未顯示)，在吸附劑上吸附著隨後將被分送的合適的吸附氣體物質，氣瓶402上裝有一個包括主氣瓶閥406的閥端裝置404，在分送作業的開始，氣瓶閥處於關閉位置。閥端404與導管408連接，導管408上裝有隔離閥410、質量流控制器412、隔離閥414和低溫抽吸泵416。導管408再與導管409連接，導管409上裝有隔離閥418和422以及成品分送調節器裝置430，成品分送調節器裝置上有一個可連接到下遊生產系統的排氣口434。導管409上還連接著一個中間壓力貯存容器420。與導管408相連的低溫抽吸泵416裝有一個液氮(或其它合適的低溫液體或流體)入口428和一個液氮出口426以及一個安裝在入口428和出口426之間的液體致冷劑流動通道，該通道被限定在如圖所示的加熱部件424的範圍內。低溫抽吸泵的液體致冷劑的入口和出口可以連接到合適的液體致冷劑源上，例如低溫空氣分離裝置或液氮或其它致冷劑的致冷氣瓶源。因此低溫抽吸泵形成了一個低溫冷阱裝置。低溫抽吸泵的出口裝有一個隔離閥422，中間壓力氣瓶420通過隔離閥422被隔離。壓力轉換器411安裝在導管408上並與氣瓶402連接形成壓力監測關係以監測氣瓶中的壓力和靈敏地調節隔離閥418。以下以矽烷作為吸附到氣瓶402中的碳吸附劑上並將在適當的高溫上分送的氣體，氮氣作為致冷劑用作低溫抽吸泵的工作流體，對圖10所示的貯藏和分送系統的運轉進行說明。矽烷的沸點為-111.5℃，熔點為-185℃，氮氣的沸點為-195.8℃。由於在合適的高壓下分送矽烷是十分困難的，因此選擇矽烷用於舉例說明的目的。(相對於其它的有著更高的沸點和凝固點的氫化物氣體例如砷化氫，矽烷在需要較少的低溫冷卻情況下就可以較容易地低溫抽吸)。如果開端的閥410，414和406是打開的，而閥418和422是關閉的，在真空狀態下，低溫泵的溫度降低到液氮溫度，即使在供應氣瓶402中內部壓力相當低，矽烷將在低溫抽吸泵中冷凝和凝固。質量流控制器412用於精確測定被輸送到低溫抽吸泵416的氣體量。因為必須避免低溫抽吸泵的過量加壓，這種精確測定是十分重要的。在這種作業條件下，矽烷溫度將高於其臨界溫度，結果低溫抽吸泵的最終壓力可能變得十分高。在適當量的氣體被輸送到低溫抽吸泵416後，關閉閥門410和414。冷凝的矽烷隨後被升溫到接近外界溫度。加熱過程是由加熱裝置424完成的，在實施例中顯示的加熱裝置是由帶式加熱器組成的，但它可以是任何適合於這種用途的加熱裝置。由於加熱會導致矽烷氣體在純度和穩定性方面降低的不利影響，因此，矽烷氣體不能加熱到高溫，因而將被分送的成品氣體的穩定性和純度得以提高。在低溫抽吸泵中加熱後，矽烷氣體的壓力可能變得十分高，因此氣體被有效的壓縮而處於高純度狀態，並且不會暴露到帶有許多轉動部件的機械泵，使用機械泵可能導致成品氣體中有雜質。在整個系統中的氣體總量在此時可能是十分的少，大部分矽烷在低壓下存在於吸附劑容器氣瓶402中。打開閥418使氣體流入到中間壓力氣瓶420中，如果閥422是打開的，通過與調節器裝置430相連的監測裝置進行監測(例如流動壓力)，成品矽烷氣體將通過排出口434流到下遊作業中，調節器裝置430與壓力轉換器432相連，壓力轉換器可以在整個系統中與其它的閥或低溫抽吸泵部件相連接，以便以選的壓力和容積流速分送成品氣體。對應地，各種閥門、質量流控制器、低溫抽吸泵、轉換器和調節器可以以任何合適的方式，例如與周期計時器和生產安全系統相互連接，以便根據需要以易於控制的和可重複的方式完成矽烷或其它吸附物氣流的分送。相應地，圖10所示的系統的運轉必須按時間協調以避免破壞或幹擾下遊的生產流程。來自質量流控制器和在低溫抽吸泵及中間壓力容器中的壓力轉換器的信號可用於自動操作的生產系統中。低溫抽吸泵可以被循環從而使氣體從貯藏和分送系統流動到中間壓力氣瓶420以便在調節器的出口維持一個穩定的壓力。圖11是根據本發明用於提高貯藏和分送系統502的性能的分送測定裝置500的示意。貯藏和分送系統502由一個裝有吸附劑材料(未顯示)的貯藏和分送容器504和一個流體分送裝置組成。流體分送裝置由排流管512組成，如圖所示，在排流管512上裝有氣瓶閥506、氣瓶隔離閥508、和(0-100乇)壓力轉換閥510。管512通過合適的接頭裝置與帶有T型接頭516的連接管522相連接，T型接頭516與包含惰性氣體清洗隔離閥520的惰性氣體清洗管518相連，隔離閥520又連接到惰性清洗氣體源514。管512上也裝有質量流控制器524用於維持連接管522中穩定的壓力和流速。管512上的氣體開關閥526用於有選擇地使氣體穿過管522流到管530，管530通過接頭裝置與管522連接。管530的一端與真空系統538相連，另一端與液氮冷凝接受容器534相連。在管530兩端之間，如圖所示裝有閥536和閥532。圖11所示的分送測量裝置使得來自貯藏和分送容器504的吸附流體藉助於質量流控制器524以可控的速率流動。通過適當關閉/打開整個系統的各個管上適當的閥，被解吸和分送的氣體穿過管512、522和530到達容器534後，就被收集在液氮冷凝接受容器534中。在液氮溫度時，吸附氣體的蒸汽壓力基本上是0乇，這使得即使在低的貯藏和分送容器壓力下也可從碳吸附劑介質上解吸吸附物。這個試驗一般進行到試驗容器504的壓力在大約50乇時。此時，壓力差別一般不足以維持通過質量流控制器的合適流速(～5sccm)。從容器504流到冷凝接收容器534的吸附流體量可以通過單獨地合計質量流(用質量流控制器)和通過稱貯藏和分送容器504解吸前和解吸後的重量來測定。在一個採用圖11的分送測定系統的說明性的試驗中，砷化氫氣體從貯藏和分送容器中被分送，該容器裝有具有表I的特性的碳材料作為吸附劑。試驗結果如下表2所示。表2砷化氫從珠狀活性碳上的解吸量通過質量流控制器測定的解吸量132克砷化氫/升吸附劑通過重量差別測定的解吸量166克砷化氫/升吸附劑解吸後的吸附容量167克砷化氫/升吸附劑上述的吸附/解吸量數據反映了對於採用典型的分子篩吸附劑材料例如5A分子篩的相同的貯藏和分送系統。吸附能力提高了兩倍，並且還顯示了本發明相對於現有技術的顯著的和意想不到的特性。圖12是包含用5A分子篩作吸附劑材料(曲線M，數據點符號Δ)的貯藏和分送系統以及包含用珠狀活性碳作吸附劑材料(曲線N，數據點符號口)的貯藏和分送系統的性能圖，圖中顯示了以乇為單位的貯藏和分送容器的壓力，在流速為1標準立方釐米砷化氫/分鐘時，隨著作業的小時的變化。這些曲線顯示了在1sccm穩定的砷化氫分送速率時，包含珠狀活性碳(曲線N)的貯藏和分送系統在分送工作壽命方面有一個改進，它接近於2000小時，而曲線M的貯藏和分送系統的分送工作壽命接近1000小時。本發明提供的貯藏和分送系統裝置與方法是對用於貯藏和分送吸附氣體的當前使用的高壓氣瓶的一種更安全的替代。本發明具有在0磅/英寸2時運輸，貯藏和從氣瓶或其它容器中分送吸附流體的能力。在本發明的實踐中，對吸附劑材料僅僅進行稍微的加熱，即通過所謂的熱輔助解吸，那麼，就很容易獲得大約500sccm或者更高的流速。然而，在本發明的實踐中，氣體分送的高速率也可採用熱絕緣作業實現(沒有熱量或熱能源補充輸入到吸附著吸附物的吸附劑介質)，即僅僅通過在吸附劑容器和壓力降低的外部分送場所例如在半導體或其它工業製造的生產設備中，諸如離子注入室、分子束外延生長裝置或化學物質蒸汽沉積反應器之間存在的壓力差。本發明的裝置可以很容易地做成一體設備形式，例如把本發明的一個或多個貯藏和分送系統安裝在一個氣體箱中。在這種包含多個吸附劑容器的氣體箱裝置中，每個容器通過安裝支管連在一起以便從一個或多個這種容器中選擇性地分送吸附流體。在氣體箱中還可以包含單獨的熱電偶或者其它溫度傳感/監測裝置和部件，以防止容器和/或氣體箱的其它內部部件在使用過程中過分加熱。這種氣源箱還可包括用於選擇性地加熱容器和容器中的吸附劑的熔絲加熱器部件；一個灑水滅火系統；一個廢氣回熱傳感器；一個毒氣傳感器，在檢測到有毒氣時，該傳感器可使裝置停止運轉；一個滌氣器或容積吸附裝置；以及備用的壓力和溫度控制裝置。採用這種貯藏和分送系統裝置，在15磅/英寸2時，500sccm的氣體分送速率是很容易達到的。在本發明的優選實施例中，固相碳物理吸附劑介質含有的選自水、金屬，氧化的過渡金屬物質的痕量組分的濃度不足以分解貯藏和分送容器中的吸附流體。在這點上應該注意的是，任何水、金屬、過渡金屬的氧化物在吸附劑材料中的大量存在會促進不希望有的吸附氣體的大量分解。在本發明的優選實施例中，固相碳物理吸附劑介質包含的選自水、氧化的過渡金屬物質的痕量組分的重量以物理吸附劑介質的重量計少於百萬分之350，較好地是少於百萬分之100，更好地是小於百萬分之10，最好地是不超過百萬分之1。對應地，固相碳物理吸附劑介質選自水、氧化的過渡金屬物質(例如氧化物，亞硫酸鹽和硝酸鹽)的痕量組分以物理吸附劑介質的重量計的濃度，在25℃和內部壓力條件下經過1年時間，最好不足以分解吸附流體重量的5％以上。通過如下非限定性的實例，可以更充分地顯示本發明的特點和優點。例I將74.7克(130ml)Kureha碳裝入乾淨的150mlHook不鏽鋼樣品氣瓶中。氣瓶上裝有一個NuproDS系列隔膜閥。閥的輸入口進行調整以便安裝一個30微米的Mott冶金燒結金屬聚合物過濾器。聚合物過濾器用作抑制樣品氣瓶中的碳顆粒。然後氣瓶在300℃的溫度被抽真空(脫氣)48小時。用作脫氣的真空泵(AlcatelMolecularDragPump)最終壓強為1×10-6乇。脫氣過程後，氣瓶在室溫下冷卻約6小時。採用的Kureha碳的一般特性如以上表1所示。脫氣作業的結果如下表3所示表3碳吸附劑脫氣特性氣瓶皮重1195.4克氣瓶+碳的重量1270.1克脫氣後氣瓶+碳的重量1268.1克通過脫氣除去的揮發物質量2.0克碳的溼重74.7克碳的乾重72.7克碳的溼體積130毫升例II經過例I的脫氣作業後，將抽真空後的碳樣品氣瓶連接到砷化氫填充管的砷化氫填充部分上。為維持一個近似的等溫狀態，把氣瓶浸入裝有溫度恆定在25℃的乙二醇混合物的杜瓦瓶中。採用NeslabRTE-100循環恆定溫度池使流體在杜瓦瓶中循環。整個管道被抽真空到壓力小於10-3乇以除去不可凝氣體。抽真空後，碳樣品上以25sccm的速率填充砷化氫直到達到760乇的壓力。用MKS0-1000乇的Baratron壓力轉換器對壓力進行監測。在填充作業中，對杜瓦瓶的溫度、含碳的氣瓶壓力和外部通風櫥的溫度(填充進行的通風櫥環境的溫度)採用Fluke電子數據記錄儀進行監測和記錄。填充速率選為25sccm是為了縮短用於測定吸附量所需的時間。然而，由於吸附效應的熱量，不可能實現真正的等溫。即使將氣瓶浸入在恆定溫度的流體中，在流體和吸附劑之間的熱量交換的速率不是足夠的快，也會導致充填作業中人為的高壓。圖4中顯示了這種情況，它表明緊隨著充填作業的是一個非平衡狀態。在結束充填砷化氫後，壓力衰減有助於吸附床的冷卻。在充填作業中，吸附劑床上包含的熱量是由於吸附熱引起的。一般地，通過在達到一個壓力數據點以前使吸附作業達到平衡，可實現真正的等溫。圖5顯示的是從圖4推導出的曲經，它給出了壓力衰減速率。速率曲線表明當2小時後衰減速率接近於0時，壓力變動趨於一個穩定的水平。重要的是壓力沒有增加，這表明砷化氫沒有分解。由此形成了一個近似的等溫狀態並如圖4所示。通過把試驗期間砷化氫的質量流速率合計起來就可確定吸附量。吸附測量的結束點是在壓力為760乇或1大氣壓時。吸附量也可通過質量來驗證，即在未填充的氣瓶的皮重和760乇的砷化氫吸附量時的整個氣瓶的重量之間的差別。吸附量測定的結果如表4所示。表4吸附量結果空吸附氣瓶皮重1268.1克充填砷化氫到760乇時氣瓶重量1307.3克每升碳吸附劑吸附的砷化氫克數301.5克通過總計質量流得到的每升碳吸附劑吸附的砷化氫克數290.63克基於現有技術中的砷化氫在沸石分子篩吸附劑上的吸附的砷化氫貯藏和分送系統技術已經被證實具有每天5乇的氫氣生成速率。本發明採用在組成和性能上與沸石分子篩材料有區別的碳吸附劑材料，並且本發明已經被證實其吸附物有著較高的穩定性和不會發生分解。對應地，和本發明的貯藏和分送系統中的碳吸附劑的提高的工作量、解吸和其它功能特性相一致，很顯然，相對於基於沸石的貯藏和分送系統以及從高壓氣瓶中分送氣體物質的現有技術，本發明在本領域取得了一個顯著的進展。本發明的貯藏和分送系統可操作地連接到任何合適的下遊工序以便利用分送氣體。例如，貯藏和分送系統可以以流體供應關係與離子注入室、矽半導體生產設備、化合物半導體生產設備、平板顯示儀生產設備、有機合成裝備、藥品生產設備、麻醉氣體分送罩和空氣處理或水汙染處理設備、燃氣爐或燃燒器、或者任何其它合適的下遊裝置或生產設備相連接，以便最終利用從本發明的貯藏和分送系統中分送的氣體。本發明的貯藏和分送系統可採用許多吸附劑材料進行實踐，吸附劑材料可以有不同的孔尺寸、疏鬆度、形狀和化學組成。本發明的貯藏和分送系統可用於液體以及氣體、蒸汽、多組分和多相流體流等的分送。貯藏和分送系統也可用於分送可升華的固體，貯藏和分送系統還可與用作與被分送流體起反應以形成中間或最終產品以便最終利用的反應容器連接。例如，貯藏和分送系統可把三氟硼烷氣體分送到下遊的氫化作用室；在氫化作用室中，三氟硼烷與氫化試劑例如氫化鎂接觸，在合適的反應條件下產生乙硼烷供隨後的應用，如離子注入、半導體中攙雜或其它用途。離子注入是尤其優先採用本發明的貯藏和分送系統的場合，並用於分送乙硼烷、鍺烷、四氟化矽以及含銻的氣體。對於吸附流體從本發明的貯藏和分送容器中的吸附劑床上的熱輔助解吸，任何合適的能源都可用於完成這種加熱，包括RF(射頻)、IR(紅外線)和UV(紫外線)輻射、超音波和微波輻射以及通過其它的直接和間接的裝置和方法的加熱，諸如電阻加熱或在吸附劑床中採用延伸的熱傳導平面或熱交換通道等。本發明可用於半導體材料和裝置的製造以及其它的消耗氣體的生產作業中；在這些作業中，本發明提供了一個可靠的「—經要求就可供氣的」氣體源，這些氣體如氫化物氣體、滷化物氣體、氣態的V族金屬有機化合物等，例如包括矽烷、乙矽烷、鍺烷、氟、氨、磷化氫、砷化氫、銻化氫、硫化氫、硒化氫、銻化氫、三氟化硼、六氟化鎢、氯氣、氯化氫、溴化氫、碘化氫以及氟化氫。通過提供一個經濟的和可靠的氣源，其中氣體以相對低的壓力安全地吸附在碳吸附劑介質上並隨後很容易地分送到氣體應用地點，本發明避免了使用傳統高壓氣瓶帶來的危險和氣體運輸問題。權利要求1.一種吸附一解吸裝置，用於貯藏和分送吸附流體，所述裝置包括一個貯藏和分送容器，製作成用於容納固相碳物理吸附劑介質，並選擇性地使流體流入或流出所述容器；一種在內部壓力下放置於所述貯藏和分送容器內的固相碳物理吸附劑介質；一種物理吸附在所述固相碳物理吸附劑介質上的吸附流體；以及一個與貯藏和分送容器氣體流動相通連接的分送裝置，它製作成用於(I)在所述貯藏和分送容器的外部提供一低於所述內部壓力的壓力，以使吸附流體從固相碳物理吸附劑介質上解吸並使被解吸的流體流過分送裝置；和/或(II)使熱解吸的流體流過，並且包括用於加熱碳吸附劑材料以使流體從其上解吸的裝置，結果被解吸的流體從容器流入分送裝置。2.如權利要求1所述的裝置，其特徵在於，碳吸附劑材料有一在25℃時隨壓力而變化的砷化氫氣體吸附等溫線，該等溫線具有圖1中曲線A的等溫吸附特性。3.如權利要求1所述的裝置，其特徵在於，碳吸附劑材料有一在25℃時隨壓力而變化的砷化氫氣體吸附等溫線，它具有下述的吸附容量特性壓力(乇)最少吸附容量(克砷化氫/升吸附劑)25355075100100200160300200400225500240550250650～300。4.如權利要求1所述的裝置，其特徵在於，碳吸附劑材料有一在25℃時隨壓力而變化的砷化氫氣體吸附等溫線，它具有下述的吸附容量特性壓力(乇)最少吸附容量(克砷化氫/升吸附劑)2535-605075-100100100-115200160-175300200-220400225-245500240-260550250-275650260～300。5.如權利要求1所述的裝置，其特徵在於，碳吸附劑材料的孔體積在每克吸附劑材料有從大約0.2至大約2.0立方釐米的孔體積的範圍內。6.如權利要求1所述的裝置，其特徵在於，碳吸附劑材料的大部分孔體積，即50％以上的孔體積是由直徑在大約2埃至大約100埃的範圍內的孔組成的。7.如權利要求6所述的裝置，其特徵在於，碳吸附劑材料的孔體積的80％以上是由直徑在大約2埃至大約100埃的範圍內的孔組成的。8.如權利要求6所述的裝置，其特徵在於，碳吸附劑材料的孔體積大體全部是由直徑在大約2埃至大約100埃的範圍內的孔組成的。9.如權利要求1所述的裝置，其特徵在於，碳吸附劑材料的平均孔直徑在從大約2埃至大約20埃的範圍內。10.如權利要求9所述的裝置，其特徵在於，碳吸附劑材料的孔體積的大部分位於所述從2埃至20埃的範圍內。11.如權利要求9所述的裝置，其特徵在於碳吸附劑材料至少80％的孔體積位於所述從大約2埃至大約20埃的範圍內。12.如權利要求9所述的裝置，其特徵在於，碳吸附劑材料的孔體積大體全部位於所述從大約2埃至大約20埃的範圍內。13.如權利要求1所述的裝置，其特徵在於，碳吸附劑材料有至少為100的吸附劑工作量Cw，它是用砷化氫氣體在40乇和650乇下測定的。14.如權利要求1所述的裝置，其特徵在於，碳吸附劑材料有至少為180的吸附劑工作量Cw，它是用砷化氫氣體在40乇和650乇下測定的。15.如權利要求1所述的裝置，其特徵在於，碳吸附劑材料有至少為200的吸附劑工作量Cw，它是用砷化氫氣體在40乇和650乇下測定的。16.如權利要求1所述的裝置，其特徵在於，碳吸附劑材料的形態選自於由珠狀、粒狀、丸狀、片狀、粉末狀、顆粒狀、壓出物、編織物、網狀形式材料、蜂窩狀脈石塊、碳吸附劑與其它組分的複合物、以及碳吸附劑材料的所述形態的粉碎和碾碎形式組成的群組。17.如權利要求1所述的裝置，其特徵在於，碳吸附劑材料是由珠狀活性碳材料組成的。18.如權利要求1所述的裝置，其特徵在於，碳吸附劑材料是由顆粒尺寸在直徑從大約0.1毫米到1釐米的範圍內的珠狀活性碳材料組成的。19.如權利要求1所述的裝置，其特徵在於，碳吸附劑材料是由顆粒尺寸在直徑從大約0.25至大約2毫米的範圍內的珠狀活性碳材料組成。20.一種用於貯藏和分送氣體的吸附—解吸裝置，它包括一個貯藏和分送容器，製作成用於容納固相物理吸附劑介質，以及選擇性地使氣體流入或流出所述容器；在內部壓力下放置於所述貯藏和分送容器內的碳吸附劑材料；物理吸附在所述碳吸附劑材料上的吸附物流體；一個與貯藏和分送容器氣體流動相通連接的分送裝置，它製作成，用於經過熱解析和/或壓力差解析從碳吸附劑材料上解吸流體後，選擇性地按需分送被解吸的流體，分送裝置被製作成(I)在所述貯藏和分送容器的外部提供低於所述內部壓力的壓力，以使流體從碳吸附劑材料上解吸並使被解吸的流體流過分送裝置；和/或(II)使熱解吸的流體通過這裡流出，並且包含用於加熱碳吸附劑材料以使流體從其上解吸的裝置，以便於解吸的流體從所述容器流入到所述分送裝置。其特徵在於，碳吸附劑材料不含有濃度足以分解所述貯藏和分送容器中的吸附物流體的痕量組分，所述痕量組分選自於由水、金屬和氧化的過渡金屬物質組成的群組。21.如權利要求20所述的裝置，其特徵在於，選自於水和氧化的過渡金屬物質的痕量組分在碳吸附劑材料上的濃度在25℃和所述內部壓力下經過1年時間不足以分解按重量計的吸附物流體的5％以上。22.如權利要求20所述的裝置，其特徵在於，選自於水和氧化的過渡金屬物質的痕量組分在碳吸附劑材料上的濃度在25℃和所述內部壓力下經過1年時間不足以分解按重量計的吸附物流體的1％以上。23.如權利要求20所述的裝置，其特徵在於，選自於水、金屬和氧化的過渡金屬物質的痕量組分在碳吸附劑材料上基於碳吸附劑材料的重量的濃度在25℃經過1周的時間不足以引起吸附物流體的分解而導致在貯藏和分送容器中的內部壓力上升25％以上。24.如權利要求20所述的裝置，其特徵在於，選自於水、金屬和氧化的過渡金屬物質的痕量組分在碳吸附材料上基於碳吸附劑材料的重量的濃度在25℃經過1周的時間不足以引起吸附物流體的分解而導致在貯藏和分送容器中的內部壓力上升10％以上。25.如權利要求20所述的裝置，其特徵在於碳吸附劑材料中含有的選自於水和氧化的過渡金屬物質的痕量組分的重量與碳吸附劑材料的重量相比，其比例小於百萬分之350。26.如權利要求20所述的裝置，其特徵在於，碳吸附劑材料中含有的選自於水和氧化的過渡金屬物質的痕量組分的重量與碳吸附劑材料的重量相比，其比例小於百萬分之100。27.如權利要求20所述的裝置，其特徵在於，碳吸附劑材料中含有的選自於水和氧化的過渡金屬物質的痕量組分的重量與碳吸附劑材料的重量相比，其比例小於百萬分之10。28.如權利要求20所述的裝置，其特徵在於，碳吸附劑材料中含有的選自於水和氧化的過渡金屬物質的痕量組分的重量與碳吸附劑材料的重量相比，其比例小於百萬分之1。29.如權利要求20所述的裝置，其特徵在於，吸附物氣體選自於由矽烷、乙硼烷、砷化氫、磷化氫、氯氣、BCl3、BF3、B2D6、六氟化鎢、(CH3)3Sb、氟化氫、氯化氫、GeF4、SiF4、氘化氫化物(deuteratedhydrides)、碘化氫、溴化氫、鍺烷、氨、銻化氫、硫化氫、硒化氫、銻化氫和NF3組成的群組。30.如權利要求20所述的裝置，其特徵在於，所述碳吸附劑材料經過處理以提高其吸附特性。31.如權利要求30所述的裝置，其特徵在於，用化學物品對碳吸附劑材料進行處理以加強吸附劑表面的功能，從而能(1)在吸附劑初始吸附隨後將被分送的流體時，促進特定的流體在吸附劑介質上的吸附，和/或(2)在吸附劑處於從貯藏和分送容器中分送流體的工藝條件下，增強流體的解吸。32.如權利要求20所述的裝置，其特徵在於，碳吸附劑材料通過在其表面塗覆增強吸附性能的材料而對碳吸附劑材料進行處理。33.如權利要求20所述的裝置，其特徵在於，在貯藏和分送容器中還包含對雜質有親合力的化學吸附劑材料，所述雜質對吸附劑材料的吸附功效不利。34.如權利要求33所述的裝置，其特徵在於，所述化學吸附劑選自於(A)清除劑，包括一種與其相連但不是共價健連結的載體；一種在有這種雜質存在的情況下提供一種陰離子以除去這種雜質的化合物，所述化合物選自於(i)陰碳離子源化合物，它對應的質子化的陰碳離子化合物pKa值從大約22至大約36；和(ii)由所述陰碳離子源化合物與吸附氣體反應形成的陰離子源化合物；以及(B)清除劑，包括(i)一種表面積在大約50至大約100平方米/克範圍內並且加熱到至少250℃時保持熱穩定性的惰性載體；和(ii)一種活性的清除物質，它以每升載體上大約0.01至大約1摩爾的濃度存在於載體上，並且是選自於鈉、鉀、銣和銫的IA族金屬和它們的混合物、合金以及它們在所述載體上的高溫分解而沉積在載體上形成的。35.如權利要求33所述的裝置，其特徵在於，所述化學吸附劑選自於由三苯甲基鋰和砷化鉀組成的群組。36.如權利要求33所述的裝置，其特徵在於，所述化學吸附劑作為一個與碳吸附劑材料流體流動相通的化學吸附劑材料的獨立床存在於所述貯藏和分送容器內。37.如權利要求33所述的裝置，其特徵在於，所述化學吸附劑分散在貯藏和分送容器內的碳吸附劑材料上。38.一種吸附一解吸裝置，用於貯藏和分送吸附流體，所述裝置包括一個貯藏和分送容器，製作成用於容納固相物理吸附劑介質並選擇性地使流體流入或流出所述容器；在內部氣體壓力下放置於所述貯藏和分送容器內的固相物理吸附劑介質；物理吸附在所述固相物理吸附劑介質上的吸附流體；以及一個與貯藏和分送容器氣體流動相通連接的分送裝置，它製作成(I)在所述貯藏和分送容器的外部提供低於所述內部壓力的壓力，以使吸附流體從固相物理吸附劑介質上解吸並使被解吸的流體流過分送裝置；和/或(II)使熱解吸的流體通過這裡流出，並且包括用於加熱吸附劑材料以使流體從其上解吸的裝置，以便於被解吸的流體從所述容器流入到所述分送裝置；其特徵在於，該裝置至少具有如下的(i)-(iii)特性中的一個特性(i)吸附劑材料對砷化氫氣體的吸附物解吸率至少是15％；(ii)在40乇和650乇下對於砷化氫氣體測定的吸附劑的吸附劑工作量至少為50；和(iii)該裝置由緊湊的、便攜的、能在較小空間使用的流體源貯藏和分送系統組成，以及所述內部氣體壓力小於1200乇。39.如權利要求38所述的吸附—解吸裝置，其特徵在於，所述吸附流體選自於由氣體、蒸汽、液體、多相流體和流體混合物組成的群組。40.如權利要求38所述的吸附—解吸裝置，其特徵在於，所述吸附劑材料的形式選自於由珠狀、粒狀、丸狀、片狀、粉末狀、顆粒狀、壓出物、編織或網狀形式材料、蜂窩狀脈石塊、吸附劑與其它組份的複合物、所述形式的粉碎和碾碎的形式組成的群組。41.如權利要求38所述的吸附—解吸裝置，其特徵在於，所述吸附劑材料選自於由聚合物、磷矽酸鋁(duminumphosphosilicate)、粘土、沸石、多孔矽、蜂窩狀脈石材料和碳材料組成的群組。42.如權利要求38所述的吸附—解吸裝置，其特徵在於，所述吸附流體選自於由矽烷、乙硼烷、砷化氫、磷化氫、碳醯氯、氯氣、BCl3、BF3、B2D6、六氟化鎢、氟化氫、氯化氫、碘化氫、溴化氫、鍺烷、氨、銻化氫、硫化氫、氰化氫、硒化氫、碲化氫、氘化的氫化物(deuteratedhydrides)、滷素氣態化合物、有機化合物和金屬有機化合物組成的群組。43.如權利要求38所述的吸附—解吸裝置，其特徵在於，所述吸附劑材料選自於由沸石和碳吸附劑組成的群組。44.如權利要求38所述的吸附—解吸裝置，其特徵在於，所述吸附劑材料由活性碳組成。45.如權利要求38所述的吸附—解吸裝置，其特徵在於，所述吸附劑材料由珠狀活性碳組成。46.如權利要求45所述的吸附—解吸裝置，其特徵在於，所述珠狀活性碳的直徑在從大約0.1釐米至大約1釐米的範圍內。47.如權利要求38所述的吸附—解吸裝置，其特徵在於，所述吸附劑材料的孔體積的大部分是由直徑在2埃至100埃範圍內的孔組成的。48.如權利要求38所述的吸附—解吸裝置，其特徵在於，所述吸附劑材料有一在25℃下測量的每升吸附劑吸附的砷化氫克數隨壓力(單位乇)而變化的砷化氫氣體吸附等溫線，它具有如下的吸附容量特性壓力(乇)最少吸附容量(克砷化氫/升吸附劑)25305062100105200145300168400177500185550188650192。49.如權利要求38所述的吸附—解吸裝置，其特徵在於，所述吸附劑材料有一在25℃時測量的每升吸附劑吸附的砷化氫克數隨壓力(單位乇)而變化的砷化氫氣體吸附等溫線，它具有如下的吸附容量特性壓力(乇)吸附容量(克砷化氫/升吸附劑)2530-1065062-138100105-185200145-232300168-263400177-288500185-308550188-315650192-330。50.一種吸附—解吸裝置，用於貯藏和分送吸附流體，所述裝置包括一個貯藏和分送容器，製作成用於容納固相物理吸附劑介質，並選擇性地使流體流入和流出所述容器；在內部氣體壓力下放置在所述貯藏和分送容器內的固相物理吸附劑介質；物理吸附在所述固相物理吸附劑介質上的吸附流體；以及一個與貯藏和分送容器氣體流動相通連接的分送裝置，它製作成(I)在所述貯藏和分送容器的外部提供一低於所述內部壓力的壓力，以使吸附流體從固相物理吸附劑介質上解吸並使被解吸的流體流過分送裝置；和/或(II)使熱解吸的流體通過這裡流出，並且包括用於加熱吸附劑材料以使流體從其上解吸的裝置，以便於被解吸的流體從所述容器流入到所述分送裝置；其特徵在於，對於砷化氫氣體吸附劑材料的吸附物解吸率至少為15％。51.一種吸附—解吸裝置，用於貯藏和分送吸附流體，所述裝置包括一個貯藏和分送容器，製作成用於容納固相物理吸附劑介質並選擇性地使流體流入和流出所述容器；在內部氣體壓力下放置在所述貯藏和分送容器內的固相物理吸附劑介質；物理吸附在所述固相物理吸附劑介質上的吸附流體；以及一個與貯藏和分送容器氣體流動相通連接的分送裝置，它製作成(I)在所述貯藏和分送容器的外部，提供一低於所述內部壓力的壓力，以使吸附流體從固相物理吸附劑介質上解吸並使被解吸的流體流過分送裝置；和/或(II)使熱解吸的流體通過這裡流出，並包括用於加熱吸附劑材料以使流體從其上解吸的裝置，以便於被解吸的流體從所述容器流入到所述分送裝置；其特徵在於，用砷化氫氣體在40乇和650乇下測定的吸附劑工作量至少為50。52.一種緊湊的，便攜的、可在較小空間使用的吸附—解吸裝置，用於貯藏和分送吸附流體，所述裝置包括一個貯藏和分送容器，製作成用於容納固相物理吸附劑介質並選擇性地使流體流入或流出所述容器；在不超過1200乇的內部氣體壓力下放置在所述貯藏和分送容器內的固相物理吸附劑介質；物理吸附在所述固相物理吸附劑介質上的吸附流體；以及一個與貯藏和分送容器氣體流動相通連接的分送裝置，它製作成(I)在所述貯藏和分送容器的外部，提供一低於所述內部壓力的壓力，以使吸附流體從固相物理吸附劑介質上解吸並使被解吸的流體流過分送裝置；和/或(II)使熱解吸的流體通過這裡流出，並且包括用於加熱吸附劑材料以使流體從其上解析並使得被解吸的流體從容器流入到分送裝置的裝置。53.如權利要求52所述的吸附—解吸裝置，其特徵在於，所述吸附流體選自於氣體、蒸汽、液體、多相流體和流體混合物組成的物組。54.如權利要求52所述的吸附—解吸裝置，其特徵在於，所述吸附劑材料的形式選自於由珠狀、粒狀、丸狀、片狀、粉末狀、顆粒狀、壓出物、編織或網狀形式材料、蜂窩狀脈石塊、吸附劑和其它組份的複合物、所述形態的粉碎或碾碎的形態組成的群組。55.如權利要求52所述的吸附—解吸裝置，其特徵在於，所述吸附劑材料選自於由聚合物、磷矽酸鋁(aluminumphosphosilicate)、粘土、沸石、多孔矽、蜂窩狀脈石材料和碳材料組成的物組。56.如權利要求52所述的吸附—解吸裝置，其特徵在於，所述吸附流體選自於由矽烷、乙硼烷、砷化氫、磷化氫、碳醯氯、氯氣、BCl3、BF3、B2D6、六氟化鎢、氟化氫、氯化氫、碘化氫、溴化氫、鍺烷、氨、銻化氫、硫化氫、氰化氫、硒化氫、碲化氫、氘化的氫化物(deuteratedhydrides)、滷素氣態化合物、有機化合物和金屬有機化合物組成的群組。57.如權利要求52所述的吸附—解吸裝置，其特徵在於，所述吸附劑材料選自於由沸石和碳吸附劑組成的群組。58.如權利要求52所述的吸附—解吸裝置，其特徵在於，所述吸附劑材料由活性碳組成。59.如權利要求52所述的吸附—解吸裝置，其特徵在於，所述吸附劑材料由珠狀活性碳組成。60.如權利要求59所述的吸附—解吸裝置，其特徵在於所述珠狀活性碳的直徑在從大約0.1釐米至大約1釐米的範圍內。61.如權利要求52所述的吸附—解吸裝置，其特徵在於，所述吸附劑材料的孔體積的大部分是由直徑在大約2埃至100埃的範圍內的孔組成的。62.如權利要求52所述的吸附—解吸裝置，其特徵在於，所述吸附劑材料有一在25℃時測定的每升吸附劑吸附的砷化氫克數隨壓力(單位乇)變化的吸附等溫線，它具有下述吸附容量特性壓力(乇)最少吸附容量(克砷化氫/升吸附劑)25305062100105200145300168400177500185550188650192。63.如權利要求52所述的吸附—解吸裝置，其特徵在於，所述吸附劑材料有一在25℃時測定的每升吸附劑吸附的砷化氫克數隨壓力(單位乇)變化的吸附等溫線，它具有下述吸附容量特性壓力(乇)吸附容量(克砷化氫/升吸附劑)2530-1065062-138100105-185200145-232300168-263400177-288500185-308550188-315650192-330。65.一種用於供應流體試劑的方法，這種方法包括提供一個裝有碳吸附劑材料的貯藏和分送容器，所述碳吸附劑材料對所述流體試劑有物理吸附親合力；使流體試劑物理吸附在碳吸附劑材料上以形成吸附有吸附流體的碳吸附劑材料；通過減壓(壓力差)解吸和/或加熱吸附劑材料，使吸附流體從吸附有吸附流體的碳吸附劑材料上解吸；以及分送來自貯藏和分送容器中的被解吸的流體。66.如權利要求65所述的方法，其特徵在於，所述流體試劑選自於由矽烷、乙硼烷、砷化氫、磷化氫、氯氣、BCl3、BF3、B2D6、六氟化鎢、(CH3)3Sb、氟化氫、氯化氫、氘化的氫化物(deuteratedhydrides)、GeF4、SiF4、碘化氫、溴化氫、鍺烷、氨、銻化氫、硫化氫、硒化氫、碲化氫、NF3以及它們的混合物組成的群組。67.如權利要求66所述的方法，其特徵在於，金屬有機化合物包含的金屬部分選自於由鋁、鋇、鍶、鎵、銦、鎢、銻、銀、金、鈀、釓、鈣、鋰、鉀、銫、鈦、釔、鋯、鉛、鈦、鈮、釩、鉑、鉈、鉍、錫、碲、硒、鎳、鋅、鎢、錳、鐵、鈷、鉬、鎂、鈧、鉻、銅、鎘、鑭、鈰組成的群組。68.一種吸附—解吸裝置，用於貯藏和分送可吸附在碳吸附劑材料上的流體，它包括一個貯藏和分送容器，它製作成用於容納碳吸附劑材料並選擇性地使流體流入或流出所述容器；在內部流體壓力下放置在貯藏和分送容器內的碳吸附劑材料；物理吸附在碳吸附劑材料上的吸附流體；一個與貯藏和分送容器流體流動相通連接的分送裝置，它製作成用於在貯藏和分送容器的外部，提供一低於所述內部壓力的壓力，以使吸附氣體從碳吸附劑材料上解吸並使被解吸的氣體流過分送裝置；以及一個與分送裝置連接的低溫抽吸泵，用於給被解吸的氣體加壓並排出相應被加壓的氣體。69.一種用於貯藏和分送可吸附在碳吸附劑材料上的流體的方法，它包括下述步驟提供一個用於容納碳吸附劑材料的貯藏和分送容器；使這種流體吸附在碳吸附劑材料上；在貯藏和分送容器的外部建立一低於內部壓力的壓力，以使吸附流體從碳吸附劑材料上解吸並使被解吸的流體流出貯藏和分送容器；以及將來自貯藏和分送容器的解吸流體低溫抽吸到一個預定的壓力，其特徵在於這個預定壓力要高於從貯藏和分送容器中流出的解吸流體的壓力。70.一種離子注入系統，它包括一個試劑源和一個與所述試劑源氣體流動相通連接的離子注入裝置，其特徵在於，所述試劑源包括一吸附—解吸裝置，用於貯藏和分送氣體，所述裝置包括一個貯藏和分送容器，它製作成用於容納固相物理吸附劑介質並選擇性地使氣體流入或流出所述容器；在內部氣體壓力下放置在所述貯藏和分送容器內的固相碳物理吸附劑介質；物理吸附在所述固相碳物理吸附劑介質上的吸附氣體；以及一個把貯藏和分送容器與所述離子注入裝置相互氣體流動相通連接的分送裝置，它製作成用於在所述貯藏和分送容器的外部提供一低於所述內部壓力的壓力，以使吸附氣體從固相物理吸附劑介質上解吸並使被解吸的氣體流過分送裝置到達離子注入裝置。71.一種用於向離子注入區供應氣體試劑的方法，它包括提供一個裝有固相碳物理吸附劑介質的貯藏和分進容器，該固相碳物理吸附劑介質對所述氣體試劑具有物理吸附親合力；使吸附氣體物理吸附在所述固相碳物理吸附劑介質上以形成吸附有吸附氣體的碳物理吸附劑介質；可選擇性地通過減壓解吸從吸附有吸附氣體的碳物理吸附劑介質上解吸吸附氣體，以便於將其分送；以及使被解吸的吸附氣體從貯藏和分送容器流到離子注入區。全文摘要一種用於貯藏和分送吸附氣體的吸附一解吸裝置,其特徵在於,物理吸附劑介質上吸附的氣體可以通過壓力解吸和/或熱解吸而被解析,然後分送。吸附劑材料最好由對於砷化氫在40乇和650乇下測定的吸附劑工作量至少為100克砷化氫/升吸附劑材料的材料組成,即具有圖1中曲線A的吸附等溫線特性的吸附劑材料組成。文檔編號F17C11/00GK1181716SQ97190176公開日1998年5月13日申請日期1997年5月20日優先權日1996年5月20日發明者格倫·M·湯姆,W·卡爾·奧蘭德,詹姆斯·V·麥克曼那斯申請人:高級技術材料公司