腔體工件氦測治具的製作方法

2023-05-31 09:45:11

本實用新型屬於腔體工件密封性測試技術領域，涉及一種腔體工件氦測治具，用於腔體工件氨測過程中密封面密封，特別是用於半導體零件小型腔體工件的密封面密封性測試。

背景技術：

氨測是檢測半導體零件小型腔體工件的密封性的工藝，治具設計是測試工藝的重要環節,尤其是密封面測試治具是工藝中的重點，現有腔體工件類密封性檢測裝置通用性差，成本高。

技術實現要素：

本實用新型為了克服現有腔體工件類似件密封性檢測裝置通用性差，成本高的不足，提供了一種結構簡單，成本低，通用性強的腔體工件氦測治具，用作腔體工件密封性檢測的輔助裝置。

本實用新型通過下述技術方案來實現。一種腔體工件氦測治具，包括若干孔口密封蓋和孔口密封圈，側面腰槽密封圈和側面腰槽密封板，主通道孔密封圈和主通道孔密封蓋、斜面密封圈和斜面密封板，基準面內圈密封圈、基準面外圈密封圈和基準面密封板，正面密封蓋板密封圈和正面密封蓋板，第一孔口密封法蘭，第二孔口密封法蘭；腔體工件設有貫通腔體工件正面和背面的主通道孔，腔體工件設有若干副通道孔，腔體工件的一個側面作為基準面，與基準面相對的另一個側面為斜面，基準面和斜面均開有槽孔，另外一個側面開有腰槽；第一孔口密封法蘭連接其中一個副通道孔，第二孔口密封法蘭連接其中一個副通道孔，其餘副通道孔通過孔口密封蓋和孔口密封圈密封；主通道孔密封圈和主通道孔密封蓋密封腔體工件背面的主通道孔；

正面密封蓋板密封圈和正面密封蓋板密封腔體工件正面的主通道孔；

基準面內圈密封圈、基準面外圈密封圈和基準面密封板密封腔體工件基準面的槽孔；

斜面密封圈和斜面密封板密封腔體工件斜面的槽孔；

側面腰槽密封圈和側面腰槽密封板密封腔體工件側面的腰槽。

作為優選技術方案，副通道孔的數量為四個，所述孔口密封蓋包括第一孔口密封蓋和第二孔口密封蓋，所述孔口密封圈包括第一孔口密封圈和第二孔口密封圈；第一孔口密封蓋和第一孔口密封圈密封腔體工件背面的其中一個副通道孔，第二孔口密封圈和第二孔口密封蓋也密封腔體工件背面的其中一個副通道孔。

第一孔口密封蓋通過螺釘與腔體工件固定在一起，並且所述螺釘套設螺絲橡膠墊圈。

所述第二孔口密封蓋通過螺釘與腔體工件固定在一起，並且所述螺釘套設螺絲橡膠墊圈。

作為優選技術方案，主通道孔密封圈和主通道孔密封蓋自腔體工件的正面放入腔體工件內，主通道孔密封蓋通過螺釘緊固在腔體工件背面，主通道孔密封圈槽設於腔體工件背面的內側，主通道孔密封圈嵌入主通道孔密封圈槽中，主通道孔密封蓋通過螺釘固定有把手。

作為優選技術方案，所述基準面密封板開設有基準面內圈密封圈槽和基準面外圈密封圈槽，基準面內圈密封圈嵌入基準面內圈密封圈槽，基準面外圈密封圈嵌入準面外圈密封圈槽，基準面密封板通過螺釘固定在腔體工件的基準面上。

作為優選技術方案，所述斜面密封板開有斜面密封圈槽，斜面密封圈嵌入斜面密封圈槽，所述斜面密封板螺釘固定在腔體工件的斜面上。

作為優選技術方案，所述側面腰槽密封板開設側面腰槽密封圈槽，側面腰槽密封圈嵌入側面腰槽密封圈槽，所述側面腰槽密封板通過螺釘固定在開設腰槽的腔體工件側面上。

作為優選技術方案，腔體工件正面的主通道孔口開設正面密封蓋板密封圈槽，正面密封蓋板密封圈嵌入正面密封蓋板密封圈槽內，所述正面密封蓋板通過螺釘與腔體工件正面緊固，所述螺釘套裝螺絲橡膠墊圈。

作為優選技術方案，第一孔口密封法蘭的連接面設置密封圈槽並內嵌密封圈，第一孔口密封法蘭通過密封卡扣組件連接氦測裝置的出氣管道，第二孔口密封法蘭的連接面設置密封圈槽並內嵌密封圈，第二孔口密封法蘭連接氦測裝置的進氣管道並在連接處設法蘭連接墊圈。

本實用新型採用對應各通道孔的密封蓋、對應各個面的密封板對腔體工件的孔和槽密封，並結合各種密封圈，通過螺絲緊固，使腔體工件形成密閉工件，並選擇兩個密封法蘭連接腔體工件的兩個孔口，以此作為氨測試驗的進氣口和出氣口，測量進氣口和出氣口的氨氣壓力即可得到腔體工件的密封性數據,達到測試的效果。

附圖說明

圖1為本實用新型的整體圖A；

圖2為本實用新型的整體圖B；

圖3為本實用新型的組裝示意圖A；

圖4為本實用新型的組裝示意圖B。

圖中：1.腔體工件、2.第一孔口密封蓋、3.第一孔口密封圈、4.第二孔口密封圈、5.第二孔口密封蓋、6.側面腰槽密封圈、7.側面腰槽密封板、8.主通道孔密封圈、9.主通道孔密封蓋、10.螺絲橡膠墊圈、11.密封卡扣組件、12.把手、13.斜面密封圈、14.斜面密封板、15.基準面內圈密封圈、16.基準面外圈密封圈、17.基準面密封板、18.正面密封蓋板密封圈、19.正面密封蓋板、20.第一孔口密封法蘭、21.第二孔口密封法蘭、22.法蘭連接墊圈、23.基準面外圈密封圈槽。

具體實施方式

下面結合附圖詳細說明本實用新型。

一種腔體工件氦測治具，如圖1-4所示，包括第一孔口密封蓋2和第一孔口密封圈3，第二孔口密封圈4和第二孔口密封蓋5，側面腰槽密封圈6和側面腰槽密封板7，主通道孔密封圈8和主通道孔密封蓋9、斜面密封圈13和斜面密封板14，基準面內圈密封圈15、基準面外圈密封圈16和基準面密封板17，正面密封蓋板密封圈18和正面密封蓋板19，第一孔口密封法蘭20，第二孔口密封法蘭21；如圖3和圖4所示，所示腔體工件1設有貫通腔體工件正面和背面的主通道孔，腔體工件1的背面還設有四個副通道孔，腔體工件1的一個側面作為基準面，與基準面相對的另一個側面為斜面，基準面和斜面均開有槽孔，另外一個側面開有腰槽。第一孔口密封蓋2和第一孔口密封圈3密封腔體工件1背面的其中一個副通道孔孔口，第二孔口密封圈4和第二孔口密封蓋5也密封腔體工件1背面的其中一個副通道孔孔口，第一孔口密封法蘭20連接其中一個副通道孔，第二孔口密封法蘭21連接其中一個副通道孔；主通道孔密封圈8和主通道孔密封蓋9密封腔體工件背面的主通道孔；正面密封蓋板密封圈18和正面密封蓋板19密封腔體工件正面的主通道孔；基準面內圈密封圈15、基準面外圈密封圈16和基準面密封板17密封腔體工件基準面的槽孔；斜面密封圈13和斜面密封板14密封腔體工件斜面的槽孔；側面腰槽密封圈6和側面腰槽密封板7密封腔體工件側面的腰槽。

為了保證密封效果，第一孔口密封蓋2通過螺釘與腔體工件1固定在一起，並且所述螺釘套設螺絲橡膠墊圈10。

為了保證密封效果，所述第二孔口密封蓋5通過螺釘與腔體工件1固定在一起，並且所述螺釘套設螺絲橡膠墊圈10。

為了保證密封效果，主通道孔密封圈8和主通道孔密封蓋9自腔體工件1的正面放入腔體工件1內，主通道孔密封蓋9通過螺釘緊固在腔體工件背面，主通道孔密封圈槽設於腔體工件背面的內側，主通道孔密封圈8嵌入主通道孔密封圈槽中。主通道孔密封蓋9通過螺釘固定有把手12，方便安裝時，取放主通道孔密封蓋9。

為了保證密封效果，所述基準面密封板17開設有基準面內圈密封圈槽和基準面外圈密封圈槽23，基準面內圈密封圈15嵌入基準面內圈密封圈槽，基準面外圈密封圈16嵌入準面外圈密封圈槽23，基準面密封板17通過螺釘固定在腔體工件1的基準面上。

為了保證密封效果，所述斜面密封板14開有斜面密封圈槽，斜面密封圈13嵌入斜面密封圈槽，所述斜面密封板14螺釘固定在腔體工件1的斜面上。

為了保證密封效果，所述側面腰槽密封板7開設側面腰槽密封圈槽，側面腰槽密封圈6嵌入側面腰槽密封圈槽，所述側面腰槽密封板7通過螺釘固定在開設腰槽的腔體工件側面上。

為了保證密封效果，腔體工件正面的主通道孔口開設正面密封蓋板密封圈槽，正面密封蓋板密封圈18嵌入正面密封蓋板密封圈槽內，所述正面密封蓋板19通過螺釘與腔體工件正面緊固，所述螺釘套裝螺絲橡膠墊圈10。

為了保證密封效果，第一孔口密封法蘭20的連接面設置密封圈槽並內嵌密封圈，第一孔口密封法蘭20通過密封卡扣組件11連接氦測裝置的出氣管道，第二孔口密封法蘭21的連接面設置密封圈槽並內嵌密封圈，第二孔口密封法蘭21連接氦測裝置的進氣管道並在連接處設法蘭連接墊圈22。氦測裝置通過測定第一孔口密封法蘭20處的氨氣出氣壓力和第二孔口密封法蘭21處的氨氣進氣壓力來判斷腔體工件1的密封性。本實用新型採用對應各通道孔的密封蓋、對應各個面的密封板對腔體工件的孔和槽密封，並結合各種密封圈，通過螺絲緊固，使腔體工件形成密閉工件，並選擇兩個密封法蘭連接腔體工件的兩個孔口，以此作為氨測試驗的進氣口和出氣口，測量進氣口和出氣口的氨氣壓力即可得到腔體工件的密封性數據。