潔淨空氣吹出供給用的箱形單元裝置的製作方法

2023-05-30 19:58:31 2

專利名稱：潔淨空氣吹出供給用的箱形單元裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種用於從頂棚面向安裝有精密儀器等的潔淨 室內吹出供給潔淨空氣的箱形單元裝置。
背景技術：
以往用於從頂棚面向潔淨室內吹出供給潔淨空氣的箱形單 元，與安裝在潔淨室內的半導體製造裝置等設備的大小和排列 以及頂棚背面的結構相對應，將各種大小的箱形單元配設在頂 棚背面的整個面上，以便於向潔淨室內吹出供給潔淨空氣。各
個箱形單元的代表性夕卜形尺寸為610mmx 1220mm 、 750mmxl500mm 、 900mmxl500mm 、 750mmxl,mm 、 1200mmxl200mm的縱橫比，重量較重。
但是，由於多數情況下將用於吹出供給潔淨空氣的許多箱 形單元排列在安裝於潔淨室內的大小不同的生產設備或者半成 品暫時保管處的正上方，但也需要配合頂棚背面的箱形單元的 支撐框結構進行配設，因此，構成單元的外箱除了上述代表性 的大小之外，還必須製作比上述代表性箱形單元的大小大或小 幾毫米至幾釐米的外箱，並且根據各個外箱的大小分別安裝吹 出輸出大小不同的空氣吹出設備，因此非常費時費力，因此， 為了形成多個箱形單元需要很多的時間，而且還不能預先作好， 因此存在屢次發生延期將箱形單元配設在頂板背面上這樣的問 題。
此外，由於在大小不同的多個外箱的內部根據其大小安裝 輸出容量大小不同的交流電動機、控制器、大小不同的風扇， 因此出現了安裝構件也很多種、安裝作業人員的負擔也很大逸樣的問題。
此外，由於大小不同的各種箱形單元的出廠前的性能試驗 也需要與其匹配的大型的試驗裝置，因此出現了難以處理這樣
的問題。

發明內容
本發明通過在頂棚背面的整個面上配設用於吹出潔淨空氣 的大小不同的多個箱形單元而向該頂棚下的潔淨室內吹出供給 潔淨空氣，在該箱形單元裝置中形成有可安裝在構成該箱形單 元的大小不同的各種外箱內的潔淨空氣吹出設備的通用型組 件，利用安裝構件將該組件安裝在大小不同的各種外箱內而形 成大小不同的各種箱形單元，從而解決了上述問題。
本發明由於形成有不降低吹出效率而能夠將潔淨空氣吹出 設備安裝在全部各種大小的外箱內的通用型組件，因此，能夠 簡單且快速地將吹出設備安裝在大小不同的各種外箱內，從而 產生了消除延期的問題的效果。
由於組件是通用型的，因此也減少了作業人員的勞力負擔， 產生了高效率地將組件安裝在外箱內的效果。
由於潔淨空氣吹出供給用的箱形單元可以在組件安裝在內 部之前以組件狀態對組件進行出廠前的性能試驗，因此產生了 能夠使試驗設備小型化並且容易處理的效果。此外，還產生了 能夠以組件為單位保管大小不同的許多箱形單元的效果。
由於潔淨空氣吹出供給用的箱形單元將內部的吹出設備作 為通用型的組件，因此，可以與外箱同時地進行沒有損失的庫 存生產，從而產生了能夠大幅度地降低成本的效果。
通過使組件內的電動機為具有帶轉速可變功能的控制設備 的直流電動機，^v而產生了無論是否是通用型都不會降低潔淨空氣吹出效率的效果。


圖l是表示組件的一個實施例的立體圖以及該組件和大小 不同的外箱的例子的剖面圖。
圖2是表示將組件安裝在外箱內的箱形單元的剖面圖。 圖3的(a)是表示將箱形單元並列配設在潔淨室的頂棚背 面的一個例子的俯視圖，圖3的(b)是潔淨室的剖面圖。
具體實施例方式
本發明在頂棚背面的整個面上配設用於吹出潔淨空氣的大 小不同的多個箱形單元，向該頂棚下的潔淨室內吹出供給潔淨 空氣，在該箱形單元裝置中形成有可安裝在構成該箱形單元的 大小不同的各種外箱內的潔淨空氣吹出設備的通用型組件，利 用安裝構件將該組件安裝在大小不同的各種外箱內而形成大小 不同的各種箱形單元，從而形成了配設在頂棚背面的大小不同 的潔淨空氣吹出供給用的箱形單元。
安裝在大小不同的各種外箱la內的空氣吹出設備由容易 進行內部安裝的做成為側面看為凸形形狀的通用型組件2形 成。附圖標記3是組件內的具有帶轉速可變功能的控制設備的 直流電動機，附圖標記4是安裝在該電動機3的旋轉軸上的水平 旋轉風扇，附圖標記5是電動機的控制器。
在內部組裝了具有帶轉速可變功能的控制設備的直流電動 機3等而形成的組件2，能夠在組件2安裝到外箱la內之前的狀 態下利用小型試驗機進行出廠前的動作確認、風力值的檢驗等 性能試驗，能夠節省空間地保管合格的組件2。
如此這樣，由於通用型的組件2為容易安裝的凸形且小型，因此，用大小單一的安裝零件6通過鉚接固定等簡易作業就能
夠簡單且高效率地將組件2安裝在各種大小的外箱la內，從而 形成大小不同的各種潔淨空氣吹出供給用箱形單元l。附圖標 記7是安裝在箱形單元1的吹出口 lb的、可自由更換的空氣過濾 器。由於完成了的箱形單元1在組件2的階段已經完成了性能試 驗，因此能夠直接打包迅速出廠，不需要保管箱形單元l的空 間。
通過使組件2內的電動機為具有帶轉速可變功能的控制設 備的直流電動才幾3，從而4吏水平旋轉風扇4高效率地工作，也完 全不會降低安裝了通用的組件2的大型外箱單元l的潔淨空氣
特性，也可以直接作為小容量的組件2來使用。
搬送到潔淨室8內的多個大小不同的箱形單元1根據頂棚9 背面的形狀，組合不同的大小配設在整個面上。從配設的所有 單元l向潔淨室8內吹出供給潔淨空氣。
工業實用性
本發明能夠廣泛地應用於製造向潔淨室內吹出供給潔淨 氣的大小不同的箱形單元。
工
權利要求
1.一種潔淨空氣吹出供給用的箱形單元裝置，其特徵在於，在頂棚背面的整個面上配設用於吹出潔淨空氣的大小不同的多個箱形單元，而向該頂棚下的潔淨室內吹出供給潔淨空氣，在該箱形單元裝置中形成有可安裝在構成該箱形單元的大小不同的各種外箱內的潔淨空氣吹出設備的通用型組件，利用安裝構件將該組件安裝在大小不同的各種外箱內而形成大小不同的各種箱形單元。
2. 根據權利要求l所述的潔淨空氣吹出供給用的箱形單元 裝置，其特徵在於，組件內的潔淨空氣吹出設備的電動機是可 對組件單體進行性能試驗的潔淨空氣吹出效率較高的具有帶轉 速可變功能的控制設備的直流電動機。
3. 根據權利要求1或2所述的潔淨空氣吹出供給用的箱形 單元裝置，其特徵在於，組件形成為容易安裝在外箱內的側面 看為凸形的形狀。
全文摘要
本發明提供一種潔淨空氣吹出供給用的箱形單元裝置，其特在於，該潔淨空氣吹出供給用的箱形單元裝置通過將潔淨空氣吹出設備形成為通用型組件，簡單地安裝在大小不同的外箱內，從而能夠高效率地得到多個箱形單元。本發明在頂棚背面的整個面上配設吹出潔淨空氣的大小不同的多個箱形單元而向該頂棚下的潔淨室內吹出供給潔淨空氣，在該箱形單元裝置中形成有可安裝在構成該箱形單元的大小不同的各種外箱內的潔淨空氣吹出設備的通用型組件，利用安裝構件將該組件安裝在大小不同的各種外箱內而形成大小不同的各種箱形單元。
文檔編號F24F3/16GK101614425SQ20081018426
公開日2009年12月30日 申請日期2008年12月8日 優先權日2008年6月27日
發明者上村佳一, 上林篤, 中尾靖, 池內隆一 申請人:株式會社上村工業