一種ALD多晶鑄錠爐棒式加熱器的製作方法

2023-05-31 05:04:51 2

本實用新型涉及一種ALD多晶鑄錠爐棒式加熱器，屬於ALD多晶鑄錠爐技術領域。

背景技術：

ALD多晶鑄錠爐結構分別為頂底加熱、頂側加熱及頂側底加熱，鑄錠工藝為熔化、長晶、退火、冷卻四個階段，影響矽片質量的關鍵在長晶階段，即加熱器結構及均勻性直接影響矽片質量。現有ALD多晶鑄錠爐採用頂底加熱方式進行鑄錠，其加熱器採用棒式結構，加熱棒通過長短石墨連接塊連接而成，採用兩組並聯再串聯的方式形成電流迴路，加熱塊並聯後再串聯而成，串聯處形成電流匯集點，導致此區域發熱量較大，從而對矽錠質量產生不利影響，首先表現在鑄錠過程中此區域對應的籽晶無法完全保留，矽液不能在籽晶上形核，使得形核初期位錯等缺陷顯著增加。其次是導致長晶過程中橫向溫度梯度不均勻，影響熱對流及雜質分布，從而使長晶過程中的位錯、雜質等缺陷增加，影響矽片質量。

技術實現要素：

本實用新型要解決的技術問題是提供一種ALD多晶鑄錠爐棒式加熱器，可以改善ALD多晶鑄錠爐加熱器局部過熱問題。

為了解決上述技術問題，本實用新型的技術方案為：一種ALD多晶鑄錠爐棒式加熱器，包括長石墨連接塊和兩根短石墨連接塊，長石墨連接塊與兩根短石墨連接塊之間通過多根石墨加熱棒連接，各根石墨加熱棒是相互平行排列，長石墨連接塊的中部較粗、兩端較細；連接在長石墨連接塊中部的石墨加熱棒電阻值較小，連接在長石墨連接塊兩端的石墨加熱棒電阻值較大。

本實用新型的有益效果為：通過改變加熱棒電阻及石墨連接塊尺寸形狀，使加熱器電阻分布更合理，消除加熱器局部發熱量過大問題，使加熱器各部分溫度分布更均勻，有利於保留籽晶，同時形成均勻的橫向溫度梯度，從而減少矽片的位錯等缺陷，提高矽片的電池轉換效率。

附圖說明

下面結合附圖對本實用新型做進一步的說明：

圖1為本實用新型的結構示意圖。

具體實施方式

如圖1所示，一種ALD多晶鑄錠爐棒式加熱器，包括長石墨連接塊1和兩根短石墨連接塊2，長石墨連接塊1與兩根短石墨連接塊2之間通過多根石墨加熱棒3連接，短石墨連接塊2與石墨電極柱相連以接通電源，各根石墨加熱棒3是相互平行排列，長石墨連接塊1的中部較粗、兩端較細；連接在長石墨連接塊1中部的石墨加熱棒3電阻值較小，連接在長石墨連接塊1兩端的石墨加熱棒3電阻值較大，長石墨連接塊1中部電阻小於兩端電阻，接通電源後中間電流匯集區域發熱量會減小，長石墨連接塊1中部石墨加熱棒3的電阻值大於兩端石墨加熱棒3的電阻值可使得各加熱棒功率差異接近，從而消除局部過熱問題。

所述長石墨連接塊1的尺寸為：長在780到800毫米之間、寬在45到55毫米之間、高在45到55毫米之間；長石墨連接塊1較粗中部的尺寸為：長在350到400毫米之間、寬在45到55毫米之間、高在100到120毫米之間。

所述石墨加熱棒3具有8根，其中的4根石墨加熱棒3連接在長石墨連接塊1的中部，另外4根石墨加熱棒3兩根為一組分別連接在長石墨連接塊1的兩端，連接在長石墨連接塊1的中部的4根石墨加熱棒3的電阻值在61毫歐到63毫歐之間；位於長石墨連接塊1最外側的兩根石墨加熱棒3的電阻值在66毫歐到68毫歐之間；另外2根石墨加熱棒3的電阻值在64毫歐到66毫歐之間。

綜上所述：通過改變加熱棒電阻及石墨連接塊尺寸形狀，使加熱器電阻分布更合理，消除加熱器局部發熱量過大問題，使加熱器各部分溫度分布更均勻，有利於保留籽晶，同時形成均勻的橫向溫度梯度，從而減少矽片的位錯等缺陷，提高矽片的電池轉換效率。