三色有機發光材料圖形化的製作技術的製作方法

2023-05-31 05:03:46

專利名稱：三色有機發光材料圖形化的製作技術的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種在彩色有機發光顯示屏的製作中蒸鍍三基色有機物發光層的技術。
與液晶顯示器相比有機電致發光器件具有自發光、視角寬、響應速度快、低能耗、低成本等優點，是很有競爭力的下一代平板顯示器件。對於單色有機小分子矩陣發光顯示屏，有機物可均勻地蒸鍍在整個顯示區域，靠相互垂直分布正負電極進行尋址顯示。而彩色有機小分子矩陣顯示屏的製作有多種方法，有機白光加濾色片是方法之一，但是長壽命的高亮度有機白光目前還沒有很好地解決；三基色疊層結構是製作高分辨彩色有機小分子矩陣顯示屏的一種有前途的方法，但該方法工藝複雜，電極的引出較困難。另一種方法是將三基色的有機發光材料分別蒸鍍在襯底相應的電極位置上，彩色象素或成「一」字形排列，或成「品」字形排列。該方法工藝簡單，且與單色有機小分子矩陣發光顯示屏的製作工藝基本兼容，只需稍做改進。
本發明的目的是提供一種在真空室內採用掩模板與襯底相對移動技術使三基色的有機發光材料分別蒸鍍在襯底相應的電極位置上，從而在襯底上形成三基色有機發光材料的圖形，實現有機發光屏的彩色顯示。此種方法利用單倍解析度的掩模板獲得了三倍亞象素解析度的三基色有機發光材料圖形。
本發明的目的是這樣實現的首先利用薄的金屬板製作單倍解析度的掩模板，然後利用光刻的方法將銦錫氧化物(ITO)透明導電玻璃刻蝕成三倍分辯率的電極圖形，將掩模板的第一條線與ITO圖形的第一條線對準，將掩模板的第二條線與ITO圖形的第四條線對準，依此類推。此位置即可蒸鍍第一種顏色的有機發光材料。待蒸鍍第二種顏色的有機發光材料時，利用真空室中的機械臂，在真空條件下原位調節掩模板定位框一端上的微動螺絲，使掩模板平行ITO襯底移動一定距離，使得掩模板的第一條線與ITO圖形的第二條線對準，掩模板的第二條線與ITO圖形的第五條線對準，依此類推，此位置即可蒸鍍第二種顏色的有機發光材料。同樣，當掩模板的第一條線與ITO圖形的第三條線對準，掩模板的第二條線與ITO圖形的第六條線對準，依此類推，該位置即可蒸鍍第三種顏色的有機發光材料。這樣，三種顏色的有機發光材料便被分別蒸鍍到相應的電極位置上。
採用上述方案，三種顏色的有機發光材料的蒸鍍可在真空室內原位完成，不必打開真空室進行掩模板的定位，利用單倍解析度的掩模板獲得了三倍亞象素解析度的三基色有機發光材料圖形。
下面結合附圖和實施例對本發明作進一步詳細說明。
以彩色象素成「一」字形直線排列為例。


圖1是薄的金屬板製作的單倍解析度的掩模板。
圖2是在銦錫氧化物(ITO)透明導電玻璃上刻蝕成的三倍分辯率的電極圖形。
圖3是蒸鍍第一種顏色有機發光材料的位置。
圖4是蒸鍍第二種顏色有機發光材料的位置。
圖5是蒸鍍第三種顏色有機發光材料的位置。
在圖1中，1是薄的金屬片；2是鏤空部分，用於蒸鍍時形成有機物圖形，其形狀、大小、間距以及個數由所設計的器件圖形決定。
在圖2中，3是玻璃襯底，4是刻蝕出的ITO圖形，ITO條寬應與掩模板的鏤空部分寬度相一致，其解析度是掩模板的三倍。
在圖3中，將圖1的掩模板置於圖2的ITO電極圖形上方並可沿掩模板定位框5平行於ITO圖形移動，其位置可由微動螺絲6調節。將掩模板左邊的第一條線與ITO圖形左邊的第一條線對準，掩模板左邊的第二條線與ITO圖形左邊的第四條線對準，依此類推，此位置即可蒸鍍第一種顏色的有機發光材料。
在圖4中，利用真空室中的機械臂，在真空條件下原位調節微動螺絲6至確定位置，使掩模板左邊的第一條線與ITO圖形左邊的第二條線對準，掩模板左邊的第二條線與ITO圖形左邊的第五條線對準，依此類推，此位置即可蒸鍍第二種顏色的有機發光材料。
在圖5中，同樣利用真空室中的機械臂，在真空條件下原位調節微動螺絲6至確定位置，使掩模板左邊的第一條線與ITO圖形左邊的第三條線對準，掩模板左邊的第二條線與ITO圖形左邊的第六條線對準，依此類推，此位置即可蒸鍍第三種顏色的有機發光材料。
這樣，利用單倍解析度的掩模板獲得了三倍亞象素解析度的三基色有機發光材料圖形。
只要是採用掩模板與襯底相對移動(襯底不動而掩模板移動或掩模板不動而襯底移動)在襯底上獲得三色有機發光材料圖形的技術均屬於本發明的保護範圍之內。
權利要求
1.一種在彩色有機發光顯示屏的製作中採用掩模板與襯底相對移動依次蒸鍍三基色有機物發光層的技術，其特徵是採用金屬掩模板實現有機發光材料的圖形化，並且利用真空室內的微移動裝置，在真空條件下使掩模板與襯底之間發生相對的定量移動，完成三基色有機發光材料的定位蒸鍍。
2.根據權利要求1所述的三色有機發光材料圖形化的製作技術，其特徵是將掩模板指定的第一條線依次與銦錫氧化物(ITO)圖形指定的第一、二、三條線對準，同時掩模板指定的第二條線將依次與ITO圖形指定的四、五、六條線對準，依此類推。這樣，三基色有機發光材料便可被依次蒸鍍到襯底的指定位置上。
全文摘要
一種在彩色有機發光顯示屏的製作中採用掩模板與襯底相對移動依次蒸鍍三基色有機物發光層的技術。它是利用薄的金屬板作為掩模板,採用在真空室內掩模板與襯底的相對移動將掩模板的第一條線依次與銦錫氧化物(ITO)圖形的第一、二、三條線對準,同時掩模板的第二條線將依次與ITO圖形的四、五、六條線對準,依此類推。這樣,三基色有機發光材料便可被依次蒸鍍到襯底的指定位置上。
文檔編號G02F1/23GK1326176SQ0111414
公開日2001年12月12日 申請日期2001年6月26日 優先權日2001年6月26日
發明者趙毅, 魯少昕, 程剛, 高文寶, 李傳南, 侯晶瑩, 劉式墉 申請人:吉林大學