遊星輪的製作方法

2023-06-15 10:35:11 2

專利名稱：遊星輪的製作方法
技術領域：
本實用新型屬於藍寶石加工技術領域，尤其涉及一種藍寶石切片後研磨的載具。
背景技術：
藍寶石是加工藍光二極體的重要材料，在半導體領域具有舉足輕重的地位。在製作客戶需要的藍寶石片之前，要對藍寶石進行切片後研磨。現有技術中，對藍寶石切片後多採用雙面研磨工藝進行加工。加工時，通過研磨粉顆粒對藍寶石片進行研磨。藍寶石襯片的研磨是藍寶石基板製造中非常重要的一項工藝流程，它決定了藍寶石切片後晶片的總厚度變化，翹曲度，表面粗糙度等相關質量。傳統的載具用於對各類非標件的研磨時候，造成成本高，研磨後缺陷多，且容易破片。

實用新型內容針對上述技術問題，本實用新型提供一種良好研磨各類非標藍寶石切片的遊星輪，大大降低了生產成本，有效保證了研磨後晶片的質量。本實用新型解決上述問題所採用的技術方案是:一種遊星輪，所述遊星輪由母輪與子輪組成，所述母輪外圓周上設有與研磨設備匹配的齒，其內開有與所述子輪外徑相匹配的孔；所述子輪內開有容納待加工工件的孔。與現有技術相比，本實用新型遊星輪，研磨作業時子輪在母輪內轉動，從而帶動加工件自轉，使得研磨作業更均勻，研磨後晶片表面的TTV、Warp等指標均能達到的要求，本實用新型遊星輪，設計巧妙合理，解決了對各類非標件研磨時製作多個載具的問題，大幅度降低研磨成本。

圖1是本實用新型遊星輪的裝配示意圖；圖2是本實用新型母輪的結構示意圖；圖3是本實用新型子輪的結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型做出進一步說明。如圖所示，本實用新型一種遊星輪，可適用於對各類藍寶石非標片研磨作業。該遊星輪包括母輪I和子輪2兩部分。所述母輪I跟同研磨設備轉動，轉動過程中帶動子輪2進行自轉及公轉。作為優選，母輪I採用耐磨性好的藍鋼製作，子輪2則因為加工件種類繁多，作為優選，採用價格相對低廉的塑料纖維製作。研磨作業時候先將母輪I按要求放入到研磨設備內，然後將子輪2放入到母輪I中，最後需加工的LED加工件3放入的子輪2內。研磨過程中加工件3會隨著子輪2的自轉及公轉進行相對應的自轉及公轉，與研磨設備形成相對速度，從而達到對晶片的研磨作業。加工件3的自轉大大提高了研磨的質量，從根本上解決了現有技術中研磨非標片質量不過關的問題。以上實施例的描述較為具體、詳細，但並不能因此而理解為對本專利範圍的限制，應當指出的是，對於本領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型構思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬於本實用新型的保護範圍。
權利要求1..一種遊星輪，其特徵在於:所述遊星輪由母輪與子輪組成，所述母輪外圓周上設有與研磨設備匹配的齒，其內開有與所述子輪外徑相匹配的孔；所述子輪內開有容納待加工工件的孔。
2.根據權利要求1所述的遊星輪，其特徵在於:所述母輪材料為藍鋼。
3.根據權利要求1或2所述的遊星輪，其特徵在於:所述子輪材料為塑料纖維。
專利摘要本實用新型公開了一種遊星輪，屬於藍寶石加工技術領域，所述遊星輪由母輪與子輪組成，所述母輪外圓周上設有與研磨設備匹配的齒，其內開有與所述子輪外徑相匹配的孔；所述子輪內開有容納待加工工件的孔。與現有技術相比，本實用新型遊星輪，研磨作業時子輪在母輪內轉動，從而帶動加工件自轉，使得研磨作業更均勻，研磨後晶片表面的TTV、Warp等指標均能達到的要求，本實用新型遊星輪，設計巧妙合理，解決了對各類非標件研磨時製作多個載具的問題，大幅度降低研磨成本。
文檔編號B24B37/27GK203003660SQ20122066827
公開日2013年6月19日 申請日期2012年12月6日 優先權日2012年12月6日
發明者戴磊, 王祿寶 申請人:江蘇吉星新材料有限公司