空氣採樣監測專用託架的製作方法
2023-06-15 09:23:16 1
空氣採樣監測專用託架的製作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種空氣採樣監測專用託架，包括：豎直布置的主杆，連接於主杆底部的伸縮支架，連接於主杆上的卡口，連接於所述卡口上的瓶託，以及設置於主杆上的採樣泵連接口。上述空氣採樣監測專用託架，具有佔用空間小，結構穩固，攜帶方便的優點；在任何環境下都可以用規範的條件進行空氣的採樣，使氛圍氣採樣更有效，更規範；並且結構簡單，造價低。
【專利說明】空氣採樣監測專用託架
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及空氣的採樣監測【技術領域】，尤其是一種空氣採樣監測專用託架，該專用託架適用於半導體生產的潔淨室。
【背景技術】
[0002]隨著IC 生產的飛速發展,空氣中的 AMC(Airborne Molecular Contamination,氣態分子汙染)問題越來越受到重視。其結果已直接影響到產品的成品率和可靠性，所以應加以控制。
[0003]針對AMC監控，目前所採取的是濃縮採樣法:即用採樣泵使得大量的空氣樣品通過兩個串聯的採樣瓶，將空氣樣品中的酸性和/或鹼性的氣態汙染物採集在採樣瓶中，之後分析陰陽離子濃度得到監測結果。採樣溶液為純水；採樣時間一般為24小時；採樣高度離地面1.2米高。在採樣時，樣品的穩定、時間控制、流量設置、放置的高度及空間位置擺放決定了數據的可靠性及真實性。
[0004]從目前的實際工作看，潔淨室空氣監測的採樣無標準的專用託架置放。通常為就地取材，隨意性較大，採樣受到區域的限制，而且不方便，不規範，不安全，甚至發生樣品碰撞，導致採樣實驗的結束，無法及時獲取有效數據。本實用新型針對此情況而設計一種監測專用採樣託架，以解決上述的問題。
實用新型內容
[0005]本實用新型所要解決的是設計一種監測專用採樣託架，以解決目前潔淨室空氣監測無標準的專用託架的問題。
[0006]本實用新型所採用的技術方案是:一種空氣採樣監測專用託架，包括:豎直布置的主杆，連接於主杆底部的伸縮支架，連接於主杆上的卡口，連接於所述卡口上的瓶託，以及設置於主杆上的採樣泵連接口。
[0007]優選的，所述伸縮支架為圍繞主杆均勻布置的三根；所述伸縮支架與主杆轉動連接。
[0008]優選的，所述卡口能夠沿著主杆的延伸方向進行位置調節；所述卡口的側面形成多個沿著圓弧形分布的插槽，每個插槽中能夠插入一個所述瓶託。
[0009]本實用新型提出的空氣採樣監測專用託架，具有佔用空間小，結構穩固，攜帶方便的優點；在任何環境下都可以用規範的條件進行空氣的採樣，使氛圍氣採樣更有效，更規範；並且結構簡單，造價低。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0010]通過附圖中所示的本實用新型的優選實施例的更具體說明，本實用新型的上述及其它目的、特徵和優勢將更加清晰。在全部附圖中相同的附圖標記指示相同的部分。並未刻意按實際尺寸等比例縮放繪製附圖，重點在於示出本實用新型的主旨。[0011]圖1是本實用新型所提出的一種空氣採樣監測專用託架立體圖；
[0012]圖2是圖1中卡口與瓶託配合結構的放大圖。
【具體實施方式】
[0013]下面結合附圖對本實用新型的實施例作詳細說明:本實施例在以本實用新型技術方案為前提下進行實施，給出了詳細的實施方式，但本實用新型的保護範圍不限於下述的實施例。
[0014]參見圖1，本實施例的空氣採樣監測專用託架包括豎直布置的主杆1，連接於主杆I底部的伸縮支架2，連接於主杆I上的卡口 3，連接於所述卡口 3上的瓶託4，以及設置於主杆I上的採樣泵連接口 5。
[0015]其中，伸縮支架2為圍繞主杆I均勻布置的三根，使得該託架的底部呈三腳架設計，因而託架放置更加穩固。且所述伸縮支架2與主杆I轉動連接，在託架不使用的狀態下，可以將伸縮支架2收攏，減小佔地面積。
[0016]所述卡口 3能夠沿著主杆I的延伸方向進行位置調節，以滿足各種採樣高度的要求。所述卡口 3的側面形成多個沿著圓弧形分布的插槽30,每個插槽30中能夠插入一個瓶託4，因此每個卡口 3中可以同時插入多個瓶託4，解決採樣時多個瓶子的放置。
[0017]在實際進行空氣採樣監測時，將伸縮支架2展開，使得主杆I穩固地位於地面。調節卡口 3在主杆I上的位置至合適高度。在卡口 3上插入兩個瓶託4，每個瓶託4內分別放置一隻採樣瓶6。在採樣泵連接口 5上連接一隻採樣泵7，採用導管將兩隻採樣瓶6與採樣泵7如圖1所示串聯，開啟採樣泵7即能開始進行採樣。
[0018]由於在潔淨室內進行氛圍氣採樣時，樣品的穩定保障、時間控制、流量設置及空間位置擺放等關鍵要素決定了採樣分析所得數據的可靠性及真實性。
[0019]採用上述專用託架可以解決現有技術中的缺點，該專用託架的優點如下:
[0020]I)佔用的空間小。與原先的推車相比，此託架可以適用在空間更狹小的區域，適用的範圍更廣。
[0021]2)多功能的卡口是此託架的關鍵。上下移動的功能可以改善採樣高度的需求，卡口上的插槽，可以同時插入多個瓶託，解決採樣時多個瓶子的放置。
[0022]3)瓶託的設計，使樣品的放置更有靈活性。
[0023]4)底部三角架的設計，使此託架放置起來更穩固。
[0024]本實用新型雖然以較佳實施例公開如上，但其並不是用來限定權利要求，任何本領域技術人員在不脫離本實用新型的精神和範圍內，都可以做出可能的變動和修改，因此本實用新型的保護範圍應當以本實用新型權利要求所界定的範圍為準。
【權利要求】
1.一種空氣採樣監測專用託架，其特徵在於包括:豎直布置的主杆，連接於主杆底部的伸縮支架，連接於主杆上的卡口，連接於所述卡口上的瓶託，以及設置於主杆上的採樣泵連接口。
2.如權利要求1所述的空氣採樣監測專用託架，其特徵在於:所述伸縮支架為圍繞主杆均勻布置的三根。
3.如權利要求1或者2所述的空氣採樣監測專用託架，其特徵在於:所述伸縮支架與主杆轉動連接。
4.如權利要求1所述的空氣採樣監測專用託架，其特徵在於:所述卡口能夠沿著主杆的延伸方向進行位置調節。
5.如權利要求1或4所述的空氣採樣監測專用託架，其特徵在於:所述卡口的側面形成多個沿著圓弧形分布的插槽，每個插槽中能夠插入一個所述瓶託。
【文檔編號】G01N1/14GK203490109SQ201320646150
【公開日】2014年3月19日 申請日期:2013年10月18日 優先權日:2013年10月18日
【發明者】潘軍花, 王祺, 陳蓉 申請人:上海華力微電子有限公司