感光性樹脂組合物、結構體的製造方法和液體排出頭的製作方法
2023-06-09 13:23:46 3
專利名稱：感光性樹脂組合物、結構體的製造方法和液體排出頭的製作方法
技術領域：
本發明涉及負型感光性樹脂組合物。具體地，本發明涉及適於並可用於製造液體排出頭的負型感光性樹脂組合物，所述液體排出頭用於產生用於液體排出記錄系統的液滴如小墨滴。本發明涉及使用負型感光性樹脂組合物的液體排出頭。
背景技術：
光刻技術迄今已知為微細加工技術之一。在光刻技術中，將負型感光性樹脂曝光並顯影從而形成圖案和結構。該技術廣泛用於製造用途如半導體集成電路、半導體曝光掩膜和各種MEMS (微機電系統)中。作為MEMS的製造用途的實例，該技術應用於製造液體排出頭的噴嘴。例如，具有i線作為光源的步進器廣泛用作曝光裝置。近年來，在該技術領域，需要更複雜和高精細的構造物的製造。因此，需要對來自光源的光顯示高感光性和成型精度的負型感光性樹脂組合物。作為負型感光性樹脂組合物的實例，日本專利申請特開2008-256980公開了包含多官能環氧樹脂和光酸產生劑的感光性樹脂組合物。源自此處使用的光酸產生劑的陰離子部分結構的酸具有強的酸強度，並且與六氟銻酸相比改進感光性樹脂組合物的感光度。作為液體排出頭的實例，US2004/0072107A1和US2006/0071971A1公開了液體排出頭及其製造方法。液體排出頭加熱發熱電阻器從而使墨發泡，由此排出墨滴。在液體排出頭的製造中，高溫處理在200°C下在感光性樹脂組合物的固化工序中進行。引用列表專利文獻PTL I :日本專利申請特開2008-256980PTL 2 US 2004/0072107A1PTL 3 US 2006/0071971A
發明內容
如上所述，在液體排出頭的製造方法中負型感光性樹脂組合物的固化產物可在200°C以上加熱處理。當液體排出頭使用包含具有六氟銻酸結構作為陰離子部分的光酸產生劑的感光性樹脂組合物來製造時，即使加熱處理固化產物也未觀察到樹脂固化產物的劣化。然而，當為了實現較高的感光性和成型精度而使用日本專利申請特開2008-256980中記載的光酸產生劑時，樹脂固化產物劣化從而引起耐墨性降低的問題。因而，日本專利申請特開2008-256980中記載的負型感光性樹脂組合物用於液體排出頭會引起耐熱性的問題。因此，本發明的目的在於提供具有高感光度、良好成型精度和高耐熱性的負型感光性樹脂組合物。本發明的另一目的在於獲得具有使用負型感光性樹脂組合物形成的流路形成層的液體排出頭。作為本發明實例的感光性樹脂組合物包括陽離子可聚合化合物；
具有由化學式I表示的陰離子部分和陽離子部分的光酸產生劑
權利要求
1.ー種感光性樹脂組合物，其包括 陽離子可聚合化合物；和 具有由式I表示的陰離子部分和陽離子部分的光酸產生劑
2.根據權利要求I所述的感光性樹脂組合物，其中在所述感光性樹脂中所述第二光酸產生劑的摩爾數是所述第一光酸產生劑的摩爾數的3倍以上。
3.根據權利要求I所述的感光性樹脂組合物，其中所述陽離子可聚合化合物具有環氧基和氧雜環丁燒基團之一。
4.根據權利要求I所述的感光性樹脂組合物，其中所述陽離子可聚合化合物是線型酚醛環氧樹脂。
5.根據權利要求I所述的感光性樹脂組合物，其中所述陽離子可聚合化合物是具有脂環族骨架的多官能環氧樹脂。
6.根據權利要求I所述的感光性樹脂組合物，其中所述光酸產生劑的陰離子部分具有由下式表示的結構
7.根據權利要求I所述的感光性樹脂組合物，其中所述光酸產生劑的陰離子部分具有由下式表示的結構
8.—種結構體的製造方法，其依次包括以下步驟製備設置有權利要求I所述的感光性樹脂組合物的基板，所述感光性樹脂組合物構成所述結構體； 使所述感光性樹脂組合物曝光從而固化其曝光的部分，由此形成其固化產物，並除去未固化部分；和 加熱所述固化產物至160°C以上。
9.一種液體排出頭,其包括 具有排出液體用排出口的排出口構件， 其中所述排出口構件包括樹脂組合物的固化產物， 所述樹脂組合物包括 陽離子可聚合化合物； 具有由式I表示的陰離子部分和陽離子部分的光酸產生劑
10.根據權利要求9所述的液體排出頭，其中在所述感光性樹脂中所述第二光酸產生劑的摩爾數是所述第一光酸產生劑的摩爾數的3倍以上。
11.根據權利要求9所述的液體排出頭，其中所述陽離子可聚合化合物具有環氧基和氧雜環丁烷基團之一。
12.根據權利要求9所述的液體排出頭，其中所述陽離子可聚合化合物是線型酚醛環氧樹脂。
13.根據權利要求9所述的液體排出頭，其中所述陽離子可聚合化合物是具有脂環族骨架的多官能環氧樹脂。
14.根據權利要求9所述的液體排出頭，其中所述光酸產生劑的陰離子部分具有由下式表示的結構
15.根據權利要求9所述的液體排出頭，其中所述光酸產生劑的陰離子部分具有由下式表示的結構
全文摘要
一種感光性樹脂組合物，其包括陽離子可聚合化合物；具有由式1表示的陰離子部分和陽離子部分的光酸產生劑，其中R表示可用氟原子取代並且總碳數為1-30的烴基；X選自由碳原子和磷原子組成的組；Y選自由-S(=O)2-、-O-CF2-、-C(=O)-CF2-、-O-C(=O)-CF2-、-C(=O)-O-CF2-和單鍵組成的組；當Y為-S(=O)2-或單鍵時，R具有至少一個氟原子；當X為碳原子時，m和n為選自由m+n=3和n=0、1和2組成的組的整數；當X為磷原子時，m和n為選自由m+n=6和n=0-5組成的組的整數；以及當m等於或大於2時，R和Y可以彼此不同；和陰離子部分和陽離子部分的鹽，其中源自所述陰離子部分的酸的酸強度等於或大於六氟磷酸的酸強度，並且等於或小於六氟銻酸的酸強度。
文檔編號C08G65/18GK102754029SQ201180008169
公開日2012年10月24日 申請日期2011年1月31日 優先權日2010年2月5日
發明者下村雅子, 池龜健, 高橋表 申請人:佳能株式會社