一種熔體長晶用真空爐的製作方法

2023-06-10 01:07:31

一種熔體長晶用真空爐的製作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種熔體長晶用的真空爐，主要是為解決現有的熔體長晶用真空爐生產的產品成品率低，質量不穩定的問題而設計的。它包括爐體、大爐蓋、電極、小爐蓋、單晶提拉機構、單晶旋轉機構、單晶提拉杆、坩堝、坩堝託盤、託盤頂柱、坩堝蓋、上隔熱屏、加熱器、下隔熱屏、側隔熱屏；在下隔熱屏下面設下保溫磚層，在側隔熱屏的外面設側保溫磚層，在上隔熱屏上方有內保溫磚蓋，在側隔熱屏和側保溫磚層上面有外保溫磚蓋，在側保溫磚層和爐體之間設不鏽鋼護網，在不鏽鋼護網與側保溫磚層之間填充氧化鋁空心球，在爐體和不鏽鋼護網之間填充適量的氧化鋁空心球。優點是熔體長晶產品成品率高，質量穩定。
【專利說明】一種熔體長晶用真空爐
【技術領域】:
[0001 ] 本實用新型涉及一種熔體長晶用的真空爐。
【背景技術】:
[0002]現有的熔體長晶用的真空爐溫場都採用鎢片和鑰片做隔熱屏，缺點是價格高，隔熱效果差，易變形，溫度梯度大，且溫場易發生變化，不易控制，增加熔體熱擾動機率和晶體製備的難度，導致生產的產品成品率低，質量不穩定。

【發明內容】
:
[0003]本實用新型所要解決的技術問題是提供一種隔熱屏價格低，隔熱效果好，溫場穩定的熔體長晶用真空爐。
[0004]上述目的是這樣實現的:與現有技術相同的是它也包括設有真空系統的爐體，爐體上有大爐蓋，電極裝在大爐蓋上，大爐蓋上裝有小爐蓋，單晶提拉機構上裝有單晶旋轉機構，單晶旋轉機構固定在小爐蓋上，單晶旋轉機構下面裝有單晶提拉杆；爐體內有坩堝，坩堝置於坩堝託盤上，坩堝託盤置於託盤頂柱上，託盤頂柱立在爐底上，坩堝的上方有坩堝蓋，坩堝蓋上面有上隔熱屏，坩堝的外面有加熱器，加熱器與大爐蓋上的電極連接，加熱器的下面和四周有用鎢片或鑰片製作的下隔熱屏和側隔熱屏；與現有技術不同的是:在下隔熱屏下面設下保溫磚層，在側隔熱屏的外面設側保溫磚層，在上隔熱屏上方有內保溫磚蓋，在側隔熱屏和側保溫磚層上面有外保溫磚蓋，在側保溫磚層和爐體之間設不鏽鋼護網，在不鏽鋼護網與側保溫磚層之間填充氧化鋁空心球，在爐體和不鏽鋼護網之間填充適量的氧化鋁空心球，一般填至爐體高的1/3-2/3即可。
[0005]本實用新型的優點是由於溫場的隔熱系統採用複合方式，內外採用不同材料進行隔熱，靠近發熱體的高溫部分採用鎢片或鑰片隔熱屏進行隔熱，在鎢片或鑰片隔熱屏外面的低溫部分採用保溫磚進行隔熱，在保溫磚外面填充氧化鋁空心球進行隔熱，不僅費用低，而且隔熱效果好，溫場穩定，用於熔體長晶產品成品率高，質量穩定。
【專利附圖】

【附圖說明】:
[0006]附圖是本實用新型的結構示意圖，圖中23為晶體，24為子晶。
【具體實施方式】:
[0007]參照附圖，它包括設有真空系統22的爐體8，爐體上有大爐蓋6，電極5裝在大爐蓋上，大爐蓋上裝有小爐蓋4，單晶提拉機構I上裝有單晶旋轉機構2，單晶旋轉機構固定在小爐蓋上，單晶旋轉機構下面裝有單晶提拉杆3 ;爐體內有坩堝19，坩堝置於坩堝託盤18上，坩堝託盤置於託盤頂柱16上，託盤頂柱立在爐底上，坩堝的上方有坩堝蓋20，坩堝蓋上面有上隔熱屏21，坩堝的外面有加熱器14，加熱器與大爐蓋上的電極5連接，加熱器的下面和四周有用鎢片或鑰片製作的下隔熱屏15和側隔熱屏12 ;在下隔熱屏下面設下保溫磚層17，在側隔熱屏的外面設側保溫磚層11，在上隔熱屏上方有內保溫磚蓋13，在側隔熱屏和側保溫磚層上面有外保溫磚蓋7，在側保溫磚層和爐體8之間設不鏽鋼護網9，在不鏽鋼護網與側保溫磚層之間填充氧化鋁空心球10，在爐體和不鏽鋼護網之間填充適量的氧化鋁空心球，一般填至爐體高的1/3-2/3即可。
【權利要求】
1.一種熔體長晶用真空爐，包括設有真空系統(22)的爐體(8)，爐體上有大爐蓋(6)，電極(5)裝在大爐蓋上，大爐蓋上裝有小爐蓋(4)，單晶提拉機構(I)上裝有單晶旋轉機構(2)，單晶旋轉機構固定在小爐蓋上，單晶旋轉機構下面裝有單晶提拉杆(3);爐體內有坩堝(19)，坩堝置於坩堝託盤(18)上，坩堝託盤置於託盤頂柱(16)上，託盤頂柱立在爐底上，坩堝的上方有坩堝蓋(20)，坩堝蓋上面有上隔熱屏(21)，坩堝的外面有加熱器(14)，加熱器與大爐蓋上的電極(5)連接，加熱器的下面和四周有用鎢片或鑰片製作的下隔熱屏(15)和側隔熱屏(12);其特徵是:在下隔熱屏下面設下保溫磚層(17)，在側隔熱屏的外面設側保溫磚層(11)，在上隔熱屏上方有內保溫磚蓋(13)，在側隔熱屏和側保溫磚層上面有外保溫磚蓋(7)，在側保溫磚層和爐體(8)之間設不鏽鋼護網(9)，在不鏽鋼護網與側保溫磚層之間填充氧化鋁空心球(10)，在爐體和不鏽鋼護網之間填充適量的氧化鋁空心球，一般填至爐體高的1/3-2/3即可。
【文檔編號】C30B15/00GK203420008SQ201320436604
【公開日】2014年2月5日 申請日期:2013年7月15日 優先權日:2013年7月15日
【發明者】姚泰, 於永澔, 韓傑才, 張宇民 申請人:哈爾濱工業大學