一種用於狹縫噴嘴內外壁一體式清潔的裝置製造方法
2023-05-28 20:36:51 2
一種用於狹縫噴嘴內外壁一體式清潔的裝置製造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種用於狹縫噴嘴內外壁一體式清潔的裝置，包括：支撐主體；噴嘴內壁清潔元件及其夾持部；設於支撐主體內的V型噴嘴外壁清潔部；位於V型噴嘴外壁清潔部正下方以供噴嘴內壁清潔元件插入的狹縫通道。清潔狹縫噴嘴時，先將清潔裝置貼合到狹縫噴嘴上，V型外壁清潔元件貼緊噴嘴外壁，將噴嘴內壁清潔元件插入狹縫通道進入噴嘴內部後，移動清潔裝置對狹縫噴嘴內壁及外壁同時進行清潔。本實用新型將噴嘴內壁清潔元件和V型外壁清潔元件合成為一體，可同時對狹縫噴嘴的內外壁清潔，既省時且方便。並且避免手部接觸到噴嘴，同時可以對噴嘴外壁也進行清潔。清潔更方便省時，不會造成二次汙染，清潔效果更好。
【專利說明】一種用於狹縫噴嘴內外壁一體式清潔的裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種清潔裝置，特別涉及一種用於狹縫噴嘴內外壁一體式清潔的裝置。
【背景技術】
[0002]在TFT-1XD領域中，塗布工藝、洗淨工藝、乾燥工藝等常用到狹縫式噴嘴，進行光刻膠塗覆、噴液洗淨、或者噴氣乾燥。實際生產中，噴嘴經常會被堵塞或汙染，需要人工手動使用薄塑料或金屬片對噴嘴內壁進行清潔。由於狹縫寬度通常是微米級的，手動清潔時，難以將薄片插入到噴嘴內部，並且手部無法避免接觸到噴嘴，產生二次汙染，需要耗費大量時間而清潔效果不佳。設備自動清潔裝置通常只能清潔狹縫噴嘴的外壁，對於內壁無法清潔到。
[0003]有鑑於此，特提出本實用新型。
實用新型內容
[0004]本實用新型的目的在於提供一種用於狹縫噴嘴內外壁一體式清潔的裝置，以克服傳統狹縫噴嘴手動清潔所存在的清潔效果欠佳，且容易造成二次汙染的缺陷。
[0005]為實現上述目的，本實用新型採用如下技術方案: [0006]一種用於狹縫噴嘴內外壁一體式清潔的裝置，包括:
[0007]支撐主體；
[0008]噴嘴內壁清潔元件及其夾持部；
[0009]設於支撐主體內的V型噴嘴外壁清潔部；
[0010]位於V型噴嘴外壁清潔部正下方以供噴嘴內壁清潔元件插入的狹縫通道。
[0011]本實用新型利用V型噴嘴外壁清潔部和狹縫通道的設計，可以便利的將清潔薄片插入狹縫噴嘴內部，完成狹縫噴嘴內外壁一體式清潔。
[0012]具體而言，本實用新型所述一體式清潔裝置，所述V型噴嘴外壁清潔部包括相對設置並構成V型槽的支撐件，設置於支撐件上至少一對相對設置的V型外壁清潔元件，以及調節相對設置V型外壁清潔元件間距的螺杆。
[0013]上述調節螺杆與支撐體相連，通過對支撐體的驅動實現對V型外壁清潔元件間距的調整，以滿足不同型號狹縫噴嘴的清潔。
[0014]為了獲得更好的清潔效果，本實用新型所述一體式清潔裝置中，V型外壁清潔元件為2~4組，每組V型外壁清潔元件均相對設置並分布在由支撐體構成的V型槽內。
[0015]作為本實用新型的一種優選實施方式，所述V型外壁清潔元件為3組，依次為溼潤布、清潔塊和乾燥布。對狹縫噴嘴外壁進行清潔時，先後以溼潤布、清潔塊和乾燥布對狹縫噴嘴外壁進行溼潤異物、清潔和擦乾處理，可以潤溼噴嘴，更易於清潔且不產生particle，並可對噴嘴外壁進行乾燥，一次性完成外壁的徹底清潔(傳統手工清潔前後，需要用無塵布對噴嘴進行擦拭)。具體溼潤布、清潔塊和乾燥布的概念及其選擇為本領域技術人員所掌握，如溼潤布和乾燥布可採用無塵海綿布，清潔塊可採用耐磨纖維素系樹脂等，此處不再限定。
[0016]本實用新型所述的一體式清潔裝置，所述噴嘴內壁清潔元件為高分子塑料薄片或金屬薄片。上述高分子塑料薄片或金屬薄片均具備理想的清潔性能，所使用的材料為現有技術，本實用新型對此不作特別限定。噴嘴內壁清潔元件的尺寸可依據待清潔狹縫噴嘴的尺寸來設定。
[0017]本實用新型所述的一體式清潔裝置，噴嘴內壁清潔元件是自支撐主體底部的狹縫通道插入，最後深入狹縫噴嘴內部通過移動一體式清潔裝置來實現的。為了便於噴嘴內壁清潔元件插入，本實用新型所述狹縫通道的底部設有倒V型的引導槽，噴嘴內壁清潔元件夾持部的形狀與倒V型的引導槽相配合。使用時，固定在夾持部上的噴嘴內壁清潔元件可以很方便從倒V型引導槽處插入狹縫通道。
[0018]本實用新型所述的一體式清潔裝置，所述噴嘴內壁清潔元件的夾持部由兩塊三角固定塊組成，三角固定塊支架可拆卸式夾持固定噴嘴內壁清潔元件。方便對噴嘴內壁清潔元件的後續處理。
[0019]同樣，為了配合不同尺寸狹縫噴嘴的清潔需求，本實用新型中，所述支撐主體上還設有調節狹縫通道寬度的調節螺杆。通過調節狹縫通道的寬度，可以完成對多種尺寸狹縫噴嘴內壁的清潔。
[0020]本實用新型所述的一體式清潔裝置，所述噴嘴內壁清潔元件夾持部通過固定插銷固定至支撐主體上，以保持整體結構的穩定性。
[0021]此外，為了方便使用，本實用新型所述的一體式清潔裝置，優選在支撐主體上設有手持部。
[0022]使用時，首先通過調節螺杆使相對設置的V型外壁清潔元件的距離與需要清潔的噴嘴外壁寬度一致，並且使狹縫通道處於V型外壁清潔元件中間，以保證左右外壁清潔片貼緊噴嘴時，狹縫通道與噴嘴口正對。調節螺杆使狹縫通道的寬度略小於噴嘴開口的寬度，且大於噴嘴內壁清潔元件的厚度，以保證噴嘴內壁清潔元件可以順暢進入待清潔噴嘴內部。
[0023]清潔狹縫噴嘴時，先將清潔裝置貼合到狹縫噴嘴上，各組V型外壁清潔元件貼緊噴嘴外壁，狹縫通道與噴嘴口正對。將噴嘴內壁清潔元件由倒V型引導槽處插入狹縫通道，進入噴嘴內部，將插銷固定後，移動清潔裝置對狹縫噴嘴內壁及外壁同時進行清潔。
[0024]本實用新型所述一體式清潔裝置將噴嘴內壁清潔元件和V型外壁清潔元件合成為一體，可同時對狹縫噴嘴的內外壁清潔，既省時且方便。並且避免手部接觸到噴嘴，同時可以對噴嘴外壁也進行清潔。清潔更方便省時，不會造成二次汙染，清潔效果更好。
[0025]本實用新型所述一體式清潔裝置為手持裝置，造價低，移動方便。並可以對狹縫通道寬度及V型外壁清潔元件的距離進行調整，可以適用尺寸不同的噴嘴，可供多臺設備使用，具有較大實用價值。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0026]圖1為本實用新型一體式清潔裝置的側視圖；
[0027]圖2為本實用新型一體式清潔裝置的俯視圖；[0028]圖3為本實用新型一體式清潔裝置的主視圖；
[0029]圖4為本實用新型一體式清潔裝置的使用狀態示意圖；
[0030]其中，I為支撐主體；2為噴嘴內壁清潔元件；3為夾持部；4為狹縫通道；5為支撐件；6為V型外壁清潔元件；6-1為溼潤布；6-2為清潔塊；6-3為乾燥布；7為螺杆；8為引導槽；9為螺杆；10為固定插銷；11為狹縫噴嘴；12為噴嘴內壁；13為噴嘴外壁。
【具體實施方式】
[0031]實施例1
[0032]如圖1所示的用於狹縫噴嘴內外壁一體式清潔的裝置，包括:支撐主體I ;噴嘴內壁清潔元件2及其夾持部3 ;設於支撐主體I內的V型噴嘴外壁清潔部；位於V型噴嘴外壁清潔部正下方以供噴嘴內壁清潔元件2插入的狹縫通道4。
[0033]本實用新型利用V型噴嘴外壁清潔部和狹縫通道的設計，可以便利的將清潔薄片插入狹縫噴嘴內部，完成狹縫噴嘴內外壁一體式清潔。
[0034]其中，V型噴嘴外壁清潔部包括相對設置並構成V型槽的支撐件5，設置於支撐件5上至少一對相對設置的V型外壁清潔元件6，以及調節相對設置V型外壁清潔元件6間距的螺杆7。
[0035]為了獲得更好的清潔效果，如圖2所示，本實施例中，V型外壁清潔元件6為3組，依次為溼潤布6-1、清潔塊6-2和乾燥布6-3。對狹縫噴嘴外壁進行清潔時，先後以溼潤布6-1、清潔塊6-2和乾燥布6-3對狹縫噴嘴外壁進行溼潤異物、清潔和擦乾處理，可以潤溼噴嘴，更易於清潔且不產生particle，並可對噴嘴外壁進行乾燥，一次性完成外壁的徹底清潔(傳統手工清潔前後，需要用無塵布對噴嘴進行擦拭)。溼潤布6-1和乾燥布6-3採用無塵海綿布，清潔塊6-2採用耐磨纖維素系樹脂。
[0036]本實施例中，噴嘴內壁清潔元件為高分子塑料薄片或金屬薄片。其厚度與清潔狹縫噴嘴的尺寸相配合。噴嘴內壁清潔元件夾持部3通過固定插銷10固定至支撐主體上，以保持整體結構的穩定性。
[0037]此外，本實施例支撐主體I上還設有調節狹縫通道4寬度的螺杆9。通過調節狹縫通道4的寬度，可以完成對多種尺寸狹縫噴嘴內壁的清潔。
[0038]如圖3和圖4所示，清潔狹縫噴嘴時，先將清潔裝置貼合到狹縫噴嘴11上，各組V型外壁清潔元件6貼緊噴嘴外壁13，狹縫通道4與噴嘴口正對。將噴嘴內壁清潔元件2由倒V型引導槽8處插入狹縫通道4，進入噴嘴內部，將固定插銷10固定後，移動清潔裝置對狹縫噴嘴內壁12及外壁13同時進行清潔。
[0039]實施例2
[0040]本實施例在實施例1結構的基礎上，在狹縫通道4的底部設有倒V型的引導槽8，噴嘴內壁清潔元件夾持部3的形狀與倒V型的引導槽8相配合。使用時，固定在夾持部3上的噴嘴內壁清潔元件2可以很方便從倒V型引導槽處8插入狹縫通道4。
[0041]其中，夾持部3由兩塊三角固定塊組成，三角固定塊支架可拆卸式夾持固定噴嘴內壁清潔元件2。方便對噴嘴內壁清潔元件2的後續處理。
[0042]實施例3
[0043]本實施例在實施例2結構的基礎上，為了方便使用，在支撐主體I上設有手持部(圖中未標示)。
[0044]實施例4
[0045]與實施例1相比，區別點僅在於，本實施例中，V型外壁清潔元件6為兩組，分別為溼潤布6-1及清潔塊6-2。
[0046]實施例5
[0047]與實施例1相比，區別點僅在於，本實施例中，V型外壁清潔元件6僅為一組溼潤布 6-1。
【權利要求】
1.一種用於狹縫噴嘴內外壁一體式清潔的裝置，包括: 支撐主體； 噴嘴內壁清潔元件及其夾持部； 設於支撐主體內的V型噴嘴外壁清潔部； 位於V型噴嘴外壁清潔部正下方以供噴嘴內壁清潔元件插入的狹縫通道。
2.根據權利要求1所述的裝置，其特徵在於:所述V型噴嘴外壁清潔部包括相對設置並構成V型槽的支撐件，設置於支撐件上至少一對相對設置的V型外壁清潔元件，以及調節相對設置V型外壁清潔元件間距的螺杆。
3.根據權利要求1或2所述的裝置，其特徵在於:所述V型外壁清潔元件為2?4組。
4.根據權利要求3所述的裝置，其特徵在於:所述V型外壁清潔元件為3組，依次為溼潤布、清潔塊和乾燥布。
5.根據權利要求1所述的裝置，其特徵在於:所述噴嘴內壁清潔元件為高分子塑料薄片或金屬薄片。
6.根據權利要求1或2或5所述的裝置，其特徵在於:所述狹縫通道的底部設有倒V型的引導槽，噴嘴內壁清潔元件夾持部的形狀與倒V型的引導槽相配合。
7.根據權利要求1或2或5所述的裝置，其特徵在於，所述噴嘴內壁清潔元件的夾持部由兩塊三角固定塊組成，三角固定塊支架可拆卸式夾持固定噴嘴內壁清潔元件。
8.根據權利要求1或2或5所述的裝置，其特徵在於:所述支撐主體上還設有調節狹縫通道寬度的螺杆。
9.根據權利要求1或2或5所述的裝置，其特徵在於:所述噴嘴內壁清潔元件夾持部通過固定插銷固定至支撐主體上。
10.根據權利要求1或2或5所述的裝置，其特徵在於，所述支撐主體上設有手持部。
【文檔編號】B05B15/02GK203591909SQ201320829060
【公開日】2014年5月14日 申請日期:2013年12月13日 優先權日:2013年12月13日
【發明者】陳中明, 尹鎮鎬, 孟祥明, 李康, 羅祝義, 吳利峰, 張磊 申請人:合肥京東方光電科技有限公司, 京東方科技集團股份有限公司