一種製備高純氣體的三塔純化及再生裝置製造方法
2023-06-10 20:34:31 1
一種製備高純氣體的三塔純化及再生裝置製造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種製備高純氣體的三塔純化及再生裝置,包括:至少三組相同結構的反應塔循環裝置,所述反應塔循環裝置包括依次連通的氣液分離器,冷凝器,以及反應塔,所述氣液分離器連接有進氣三通閥,所述反應塔連接有出氣三通閥,所述進氣三通閥的其餘兩個埠分別連接有原料氣體管道和再生半成品氣體管道;所述出氣三通閥的其餘兩個埠分別連接有再生成品氣體管道和成品氣體管道。本實用新型能夠可根據總產氣量的變化達到全自動再生氣體的恆流量調節;可通過再生半成品氣體露點信號與再生塔電加熱器的運行工況連鎖調整,從而達到系統節能運行的目的;設備簡單,易操作,可推廣運用。
【專利說明】
【技術領域】
[0001] 本實用新型屬於氣體生產及製備設備領域,具體涉及一種製備高純氣體的三塔純 化及再生裝置。 -種製備高純氣體的三塔純化及再生裝置
【背景技術】
[0002] 在現代高純度的氣體製備工藝中,常通過三塔純化裝置對氣體中的相關雜質及水 分進行反應。為保證設備的連續運行,其中的三個塔根據閥門的不斷調整,在不同時間段依 次處於再生、反應及正常工作狀態。
[0003] 針對現有高純氣體的三塔純化裝置及工藝中的再生過程,其作用是將已經飽和的 分子篩等反應劑在電加熱的工況下,通過乾燥的成品氣實施再生作用。但是實際生產中存 在生產出的成品總氣量的需求是變化的,無法保證從中分流出來的再生氣體恆量通過再生 反應塔參與再生,將導致反應塔的加熱溫度不穩定及再生效果受到嚴重的影響。
[0004] 長期如此運行的話,將對設備的使用壽命、產品質量及節能降耗等方面都有著嚴 重的影響。 實用新型內容
[0005] 本實用新型要解決的技術問題是提供一種可控的,高效的一種製備高純氣體的三 塔純化及再生裝置。
[0006] 為達到上述目的,本實用新型的技術方案如下:
[0007] -種製備高純氣體的三塔純化及再生裝置,包括:
[0008] 至少三組相同結構的反應塔循環裝置,所述反應塔循環裝置包括依次連通的氣液 分離器,冷凝器,以及反應塔,所述氣液分離器連接有進氣三通閥,所述反應塔連接有出氣 三通閥,
[0009] 所述進氣三通閥的其餘兩個埠分別連接有原料氣體管道和再生半成品氣體管 道;
[0010] 所述出氣三通閥的其餘兩個埠分別連接有再生成品氣體管道和成品氣體管道。
[0011] 在本實用新型的一個優選實施例中,還包括一安裝於成品氣體管道上的氣動調節 閥,和一安裝於再生成品氣體管道的流量計,所述流量計與氣動調節閥聯動,實現再生流量 的控制。
[0012] 在本實用新型的一個優選實施例中,所述再生半成品氣體管上安裝一露點分析 儀,用於實時測量再生半成品氣體管內的氣體露點數據。
[0013] 在本實用新型的一個優選實施例中,所述反應塔包括一塔體,一設置於塔體內部 的電加熱器,所述塔體的進出口管道上設置有三通球閥。
[0014] 通過上述技術方案,本實用新型的有益效果是:
[0015] 1、可根據總產氣量的變化達到全自動再生氣體的恆流量調節。
[0016] 2、可通過再生半成品氣體露點信號與再生塔電加熱器的運行工況連鎖調整,從而 達到系統節能運行的目的。
[0017] 3、設備簡單,易操作,可推廣運用。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0018] 為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案,下面將對實施例 或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅 是本實用新型的一些實施例,對於本領域普通技術人員來講,在不付出創造性勞動的前提 下,還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
[0019] 圖1為本實用新型的結構示意圖。
[0020] 圖2為本實用新型的控制原理圖。
【具體實施方式】
[0021] 為了使本實用新型實現的技術手段、創作特徵、達成目的與功效易於明白了解,下 面結合具體圖示,進一步闡述本實用新型。
[0022] 參照圖1,一種製備高純氣體的三塔純化及再生裝置,包括:至少三組相同結構的 反應塔循環裝置,所述反應塔循環裝置包括依次連通的氣液分離器,冷凝器,以及反應塔, 所述氣液分離器連接有進氣三通閥,所述反應塔連接有出氣三通閥;其中反應塔根據功能 可以分為正常工作、再生和反應功能;
[0023] 反應塔包括一塔體,一設置於塔體內部的電加熱器,所述塔體的進出口管道上設 置有三通球閥。
[0024] 其中進氣三通閥的其餘兩個埠分別連接有原料氣體管道和再生半成品氣體管 道;其中出氣三通閥的其餘兩個埠分別連接有再生成品氣體管道和成品氣體管道。
[0025] 具體過程為原料氣體通過管道18接到進氣三通球閥(10、11、12)的右側,進氣三 通球閥(10、11、12)的上側接到氣液分離器(7、8、9)上,並通過冷凝器(4、5、6)和反應塔 (1、2、3)接至出氣三通球閥(13、14、15)的下側就製成了合格的產品氣體。
[0026] 產品氣體通過出氣三通球閥(13、14、15)的調整,部分成品氣(再生氣體)回至反 應塔(1、2、3)完成系統反應塔的再生及反應工作;再生半成品氣體管17上裝有露點分析 儀20,可控制再生過程中的電熱器的啟停,達到節能運行的目的。反應塔中在出氣三通球閥 (13、14、15)的右側接到再生成品氣體管道19上送給用戶。
[0027] 成品氣體管道20上裝有氣動調節閥16,他的工作主要是通過再生成品氣體管道 19上裝有流量計21的信號,根據設定值給予調整再生氣體的恆流量控制,具體的參數可根 據調試結果給予設置及控制。
[0028] 參照圖2,根據實際需要,也可以增加 PLC控制器22,通過設定PLC控制器,實現三 塔進出口三通球閥的更換;
[0029] 同時流量計17將再生氣量的情況反饋到PLC控制器22,並通過氣量調節閥16來 調整氣量,達到再生氣流量的恆定;
[0030] 露點測試儀20的信號反饋PLC控制器22內,控制反應塔(1,2, 3)電加熱器的開 停。
[0031] 本實用新型能夠可根據總產氣量的變化達到全自動再生氣體的恆流量調節;可通 過再生半成品氣體露點信號與再生塔電加 熱器的運行工況連鎖調整,從而達到系統節能運 行的目的;設備簡單,易操作,可推廣運用。
[0032] 以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特徵和本實用新型的優點。本行 業的技術人員應該了解,本實用新型不受上述實施例的限制,上述實施例和說明書中描述 的只是說明本實用新型的原理,在不脫離本實用新型精神和範圍的前提下,本實用新型還 會有各種變化和改進,這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型範圍內。本實用新型 要求保護範圍由所附的權利要求書及其等效物界定。
【權利要求】
1. 一種製備高純氣體的三塔純化及再生裝置,其特徵在於,包括: 至少三組相同結構的反應塔循環裝置,所述反應塔循環裝置包括依次連通的氣液分離 器,冷凝器,以及反應塔,所述氣液分離器連接有進氣三通閥,所述反應塔連接有出氣三通 閥, 所述進氣三通閥的其餘兩個埠分別連接有原料氣體管道和再生半成品氣體管道; 所述出氣三通閥的其餘兩個埠分別連接有再生成品氣體管道和成品氣體管道。
2. 根據權利要求1所述的一種製備高純氣體的三塔純化及再生裝置,其特徵在於,還 包括一安裝於成品氣體管道上的氣動調節閥,和一安裝於再生成品氣體管道的流量計,所 述流量計與氣動調節閥聯動,實現再生流量的控制。
3. 根據權利要求1所述的一種製備高純氣體的三塔純化及再生裝置,其特徵在於,所 述再生半成品氣體管上安裝一露點分析儀,用於實時測量再生半成品氣體管內的氣體露點 數據。
4. 根據權利要求1所述的一種製備高純氣體的三塔純化及再生裝置,其特徵在於,所 述反應塔包括一塔體,一設置於塔體內部的電加熱器,所述塔體的進出口管道上設置有三 通球閥。
【文檔編號】B01D53/74GK203899428SQ201420310382
【公開日】2014年10月29日 申請日期:2014年6月11日 優先權日:2014年6月11日
【發明者】李為, 方正興, 郭銀明, 張 傑, 田庚, 李元豐 申請人:陝西天宏矽材料有限責任公司