一種pecvd承載盤傳動軸密封裝置的製作方法

2023-06-11 04:17:21 2

專利名稱：一種pecvd承載盤傳動軸密封裝置的製作方法
—種PECVD承載盤傳動軸密封裝置技術領域
本發明關於一種PECVD承載盤傳動軸密封裝置的方法。
背景技術：
當前，PECVD承載盤傳動軸密封方式皆採用外購磁流體密封軸進行轉軸密封，磁流體內部圓環形永久磁鐵，極靴和轉軸所構成的磁性迴路，在磁鐵產生的磁場作用下，把放置在軸與極靴頂端縫隙間的磁流體加以集中，使其形成一個所謂的「O」形環，將縫隙通道堵死而達到密封的目的。此結構複雜，外購單價高，通常一整條PECVD產線需要4(Γ50具磁流體軸密封傳動軸,如此一來建置成本相對增加,且磁流體密封傳動軸會有退磁的風險,屆時需要全部更新，對後續的維護保養上也增加相當大的成本。發明內容
本發明在於提供一種便捷密封的方式取代磁流體密封傳動軸，節省建置成本，同時後續保養為後也相當簡單。為了達到上述目的，本發明所採用的技術方案是一種PECVD承載盤傳動軸密封裝置，其包括一腔壁鳩尾槽內坎O型密封圈，傳動軸凹型結構，以及傳動軸外罩及外蓋組成，傳動軸外罩與外蓋接觸面上設有鳩尾槽內坎O型密封圈進行密封。組裝時傳動軸套上O型密封圈插入凹型結構內進行第一階段密封，傳動軸外罩及外蓋組合上後形成第二階段密封，同時外罩下方開有DN40抽氣口連接真空幫浦進行抽氣，使傳動軸腔室內的氣體被排出形成一定程度的壓力完成傳動軸密封功能。·
本發明有益效果為1.本發明利用二階段密封結構進行傳動軸密封，結構簡單， 不需要安裝市售磁流體密封軸。2.本發明利用O型密封圈進行密封，後續維護保養只需更換O型密封圈即可，節省保養成本。
具體實施方式
下面結合附圖
對本發明做進一步說明。
請參閱第一圖所示，一種PECVD承載盤傳動軸密封裝置，其包括腔壁鳩尾槽內坎O 型密封圈11及傳動軸凹型結構12，傳動軸套入O型密封圈後插入傳動軸凹型結構12，形成第一階段的密封。請參閱第二圖所示，傳動軸外罩22設有鳩尾槽內坎O型密封圈21，同時外罩下方開有DN40抽氣口 23連接真空幫浦進行抽氣。請參閱第三圖所示，傳動軸外蓋31 用以所固在傳動軸外罩22上使其封合。傳動軸外罩22安裝置腔壁上與腔壁鳩尾槽內坎O 型密封圈11結合進行第二階段密封，外蓋在組合至傳動軸外罩22並與鳩尾槽內坎O型密封圈21結合進行第三階段密封，同時傳動軸外罩22下方開有DN40抽氣口 23與真空幫浦連接，將傳動軸腔室內的氣體排出形成一定壓力。
綜上所述，本發明在突破先前之技術結構下，確實已達到所欲增進之功效，且也非熟悉該項技藝者所易於思及，其所具之進步性、實用性，顯已符合發明專利之申請要件，惟上列詳細說明系針對本發明之一可行實施例之具體說明，該實施例並非用以限制本發明之 專利範圍，而凡未脫離本發明技藝精神所為之等效實施或變更，均應包含於本案之專利範 圍中。
主要組件符號說明11..腔壁鳩尾槽內坎O型密封圈12..傳動軸凹型結構21..鳩尾槽內坎O型密封圈22..傳動軸外罩23..DN40抽氣口31..傳動軸外蓋。
權利要求
1.一種PECVD承載盤傳動軸密封裝置，其特徵在於設置的腔壁鳩尾槽內坎O型密封圈以及傳動軸外罩和外蓋。
2.根據權利要求1所述之傳動軸外罩，其特徵在傳動軸外罩與外蓋接觸面設有鳩尾槽內坎O型密封圈，同時下方開有DN40抽氣口連接真空幫浦。
3.根據權利要求1所述之外蓋，其特徵在於鋁合金制表面精密拋光處理。
全文摘要
本發明系提供一種PECVD承載盤傳動軸密封裝置，通過腔壁鳩尾槽內坎O型密封圈及傳動軸外罩及外蓋，同時外罩及外蓋的接觸面也設有鳩尾槽內坎O型密封圈，形成一密閉小腔室，外罩下方開有DN40抽氣口，用以連接真空幫浦，以排出傳動軸小腔室內的氣體，形成一定程度的壓力。本發明可完全取代真空用磁流體密封軸的使用，大幅減少PECVD建置成本，且結構簡單，安裝容易，對於後續的維修保養時間也可以大幅縮減。
文檔編號F16J15/16GK102996796SQ20111027047
公開日2013年3月27日 申請日期2011年9月14日 優先權日2011年9月14日
發明者周文彬, 劉幼海, 劉吉人 申請人:吉富新能源科技(上海)有限公司