石墨舟片的製作方法

2023-06-02 06:10:46

專利名稱：石墨舟片的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種石墨舟片。
背景技術：
太陽能矽片的生產加工中有一道程序叫做PECVD鍍膜，其作用是提高矽片的太陽能轉化率。這個工序就用到石墨舟。把矽片放到石墨舟中，經過一定的條件產生化學反映，在娃片表面鍍上一層膜。 石墨舟作為太陽能電池片鍍減反射膜時的一種載體，其結構和大小直接影響矽片的轉換效率和生產效率，現有石墨舟包括石墨舟片、陶瓷套、陶瓷杆、石墨杆、石墨隔塊等石墨配件。其工作原理為將未鍍膜的矽片放在石墨舟片的卡點上，每個舟片上可放固定數量的矽片，然後，將石墨舟放置在PECVD真空鍍膜設備的牆體內，採用PECVD工藝進行放電鍍膜。鍍膜結束後，取出石墨舟，將矽片從石墨舟上卸取下來。石墨舟片是組成石墨舟的重要組成部分，是用於固定鍍膜矽片的裝置。實際工藝中矽片插在石墨舟片上，完成鍍膜工藝。現有的石墨舟舟片的矽片定位腔為一個個穿孔，是將石墨片挖空形成的，這樣的石墨舟片由於娃片與石墨舟片之間的空隙，存在娃片固定不緊的問題，

實用新型內容本實用新型的目的是解決上述不足，提供一種能夠使矽片的鍍膜均勻、太陽能轉化效率聞的石墨舟片。實現本實用新型目的技術方案是一種石墨舟片，包括石墨舟片本體、位於石墨舟片本體中部的娃片定位腔體，固定在每個娃片定位腔體的周邊石墨舟工藝釘，所述娃片定位腔的橫截面為字母I型。上述石墨舟片，所述矽片定位腔為石墨舟片本體表面的凹腔。上述石墨舟片，所述矽片定位腔在石墨舟片本體正反表面均設有，其為深度為佔石墨舟片本體厚度1/5的不貫穿石墨舟本體的凹腔。上述石墨舟片，所述矽片定位腔在石墨舟片本體正反表面均設有，其為深度為O. 5毫米的不貫穿石墨舟本體的凹腔。上述石墨舟片,所述石墨舟片本體單面有矽片定位腔7 13個。上述石墨舟片，所述矽片定位腔水平中心線與水平面形成5 10度的夾角。上述石墨舟片，所述石墨舟工藝釘設置在每個石墨舟本體的凹腔周邊，每個凹腔周邊有3個石墨舟工藝釘。上述石墨舟片，石墨舟本體的正反面均開有聯通矽片定位腔體的凹槽。本實用新型具有積極的效果(1)結構簡單；(2)在石墨舟片上開設矽片定位腔體，並在石墨舟片上開槽，矽片鍍膜過程中抽真空，使得矽片更加緊密的固定在石墨舟片上；(3)矽片定位腔體與成5 10度的角度，便於矽片的更好的安裝和抽取。
為了使本實用新型的內容更容易被清楚地理解，下面根據具體實施例並結合附圖，對本實用新型作進一步詳細的說明，其中圖I為本實用新型結構示意圖。 其中I石墨舟片本體，2矽片定位腔體，3石墨舟工藝釘，4槽。
具體實施方式
實施例(I)見圖1，本實用新型具有石墨舟片本體I、位於石墨舟片本體I中部的矽片定位腔體2，固定在每個矽片定位腔體2的周邊石墨舟工藝釘3，所述矽片定位腔體2的橫截面為字母I型，在石墨舟片本體I正反表面均設有矽片定位腔體2，其為深度為佔石墨舟片本體I厚度1/5的不貫穿石墨舟本體I的凹腔，石墨舟片本體厚度2. 5毫米，矽片定位腔體深度
O.5毫米，整個矽片定位腔體為正方形，數量為正反面各7個。矽片定位腔體2水平中心線與水平面形成5度的夾角；石墨舟工藝釘3設置在每個石墨舟本體I的凹腔周邊，每個凹腔周邊有3個石墨舟工藝釘3 ;石墨舟本體I的正反面均開有聯通矽片定位腔體2的槽4。以上所述的具體實施例，對本實用新型的目的、技術方案和有益效果進行了進一步詳細說明，所應理解的是，以上所述僅為本實用新型的具體實施例而已，並不用於限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護範圍之內。
權利要求1.一種石墨舟片，包括石墨舟片本體(I)、位於石墨舟片本體(I)中部的矽片定位腔體(2)，固定在每個矽片定位腔體(2)的周邊石墨舟工藝釘(3)，其特徵在於所述矽片定位腔體(2)的橫截面為字母I型。
2.根據權利要求I所述石墨舟片，其特徵在於所述矽片定位腔體(2)為石墨舟片本體(I)表面的凹腔。
3.根據權利要求I或2所述石墨舟片，其特徵在於在石墨舟片本體(I)正反表面均設有矽片定位腔體(2)，其為深度為佔石墨舟片本體(I)厚度1/5的不貫穿石墨舟本體(I)的凹腔。
4.根據權利要求3所述石墨舟片，其特徵在於所述矽片定位腔體(2)在石墨舟片本體 (O正反表面均設有，其為深度為O. 5毫米的不貫穿石墨舟本體(I)的凹腔。
5.根據權利要I所述石墨舟片，其特徵在於所述石墨舟片本體(I)單面有矽片定位腔體(2) 7 13個。
6.根據權利要求I所述石墨舟片，其特徵在於所述矽片定位腔體(2)水平中心線與水平面形成5 10度的夾角。
7.根據權利要求I所述石墨舟片，其特徵在於所述石墨舟工藝釘(3)設置在每個石墨舟本體(I)的凹腔周邊，每個凹腔周邊有3個石墨舟工藝釘(3)。
8.根據權利要求I所述石墨舟片，其特徵在於石墨舟本體(I)正反面均開有聯通矽片定位腔體(2)的凹槽(4)。
專利摘要一種石墨舟片，包括石墨舟片本體(1)、位於石墨舟片本體(1)中部的矽片定位腔體(2)，固定在每個矽片定位腔體(2)的周邊石墨舟工藝釘(3)，其特徵在於所述矽片定位腔體(2)的橫截面為字母I型。
文檔編號H01L21/673GK202796887SQ20122040416
公開日2013年3月13日 申請日期2012年8月15日 優先權日2012年8月15日
發明者吳建洪 申請人:常州市立新石墨有限公司